表面粗糙度測量

尋找合適的表面粗糙度測量技術

表面粗糙度是一個廣泛的領域，可透過不同方式進行測量——主要採用觸覺式探針或非接觸式光學方法。

正確的選擇取決於以下因素：基於輪廓的參數是否足夠、表面能否接觸，以及功能、外觀或製程控制是否需要區域性三維資訊。

即使面對最具挑戰性的表面，仍能提供面積粗糙度參數

轮廓仪基於多重優勢，Polytec的表面粗糙度儀器採用現代白光干涉技術，能最大化跨材料與特徵尺度的可用數據。特別是面對極深色或高反射/精細拋光表面時，客戶過去常受限於既有技術。因此我們建議採用WLI進行表面粗糙度測量，其非接觸式特性、表面獨立性及高精度區域分析能力皆為關鍵優勢。

除測量技術外，光學配置亦需納入考量。Polytec針對粗糙度測量開發了兩種不同配置：

Micro.View® line — 微觀系統專為小面積與微細結構設計，當橫向解析度與視覺細節至關重要時適用。其光學系統可聚焦於狹窄區域，從而深入探測奈米級細節。
> 了解更多Micro.View
Pro.Surf+ — 配備同軸光學系統的巨觀工作站。光束平行投射覆蓋更廣區域，可實現階梯側緣及孔洞內部測量。
> 深入了解 Pro.Surf+

計量任務與系統適配的實例

下表列出若干特定測量任務及其最適合的系統推薦方案。

任務情境	任務需求	最佳匹配	適用原因
微紋理塗層、MEMS元件、貫孔、焊盤	高橫向解析度；局部分析／微小區域；豐富的3D文件記錄	Micro.View	針對感興趣區域（ROI）匹配的物鏡可呈現細節豐富的區域粗糙度；適用於極窄感興趣區域的研發與失效分析
光學元件、精密拋光痕跡、微細刮痕	偵測細微紋理；將地形與外觀相關聯	Micro.View	提供高解析度微觀區域數據與優質視覺化呈現，清晰呈現缺陷證據
精密加工金屬表面（研磨、珩磨、研磨）	大視野範圍；長Z軸行程；可重複的SPC/GR&R；形狀與粗糙度一體檢測	Pro.Surf+	配備同軸光學系統與製程控制的多感測器WLI，適用於品質控制
深凹/隱蔽或難以觸及的表面	同軸透鏡接入；穩定夾具；綜合評估	Pro.Surf+	大工作距離與同軸鏡頭確保凹陷結構測量精度
單次檢測多件零件，線上即時檢測	產能；操作員獨立的合格/不合格判定；數據匯出	Pro.Surf+	基於製程的常規檢測流程，整合統計製程控制與托盤夾具系統

我們的表面粗糙度轮廓仪 - 從微觀到宏觀

Micro.View

TopMap Micro.View® is an easy to use optical profiler in a compact table-top setup. Choose Micro.View® as the cost-effective inspection tool for examining precision-engineered surfaces down to the sub-nm range, for inspecting roughness, microstructures and more surface details.

Micro.View+

Advanced microscope-based surface profiler with automation and color imaging. Micro.View+ enables repeatable, operator-independent roughness and texture analysis—ready for lab and production use.