尋找合適的表面粗糙度測量技術
网络研讨会：轻松实现粗糙度测量
研讨会内容：从基于 ISO 21920 线粗糙度参数 Ra、Rq、Rz，到基于 ISO 25178 面粗糙度参数 Sa、Sq、Sz，更有实用技巧与方法…… 没时间参会？没关系 —— 立即注册观看回放！
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表面粗糙度是一個廣泛的領域，可透過不同方式進行測量——主要採用觸覺式探針或非接觸式光學方法。
正確的選擇取決於以下因素：基於輪廓的參數是否足夠、表面能否接觸，以及功能、外觀或製程控制是否需要區域性三維資訊。
即使面對最具挑戰性的表面，仍能提供面積粗糙度參數
轮廓仪基於多重優勢，Polytec的表面粗糙度儀器採用現代白光干涉技術，能最大化跨材料與特徵尺度的可用數據。特別是面對極深色或高反射/精細拋光表面時，客戶過去常受限於既有技術。因此我們建議採用WLI進行表面粗糙度測量，其非接觸式特性、表面獨立性及高精度區域分析能力皆為關鍵優勢。
除測量技術外，光學配置亦需納入考量。Polytec針對粗糙度測量開發了兩種不同配置：
- Micro.View® line — 微觀系統專為小面積與微細結構設計，當橫向解析度與視覺細節至關重要時適用。其光學系統可聚焦於狹窄區域，從而深入探測奈米級細節。
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Optical profilometers are increasingly replacing tactile measuring systems. Eventually in the near future, 2D parameters will only endure where their informative value is sufficient.
A comprehensive and full 3D characterization of the entire sample surface e.g. by using optical surface metrology like TopMap whitelight intefereometers offers an intuitive visualization of measurement data while permiting extensive evaluation options for a deeper analysis and feedback on the production process.
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計量任務與系統適配的實例
下表列出若干特定測量任務及其最適合的系統推薦方案。
任務情境 | 任務需求 | 最佳匹配 | 適用原因 |
| 微紋理塗層、MEMS元件、貫孔、焊盤 | 高橫向解析度；局部分析／微小區域；豐富的3D文件記錄 | Micro.View | 針對感興趣區域（ROI）匹配的物鏡可呈現細節豐富的區域粗糙度；適用於極窄感興趣區域的研發與失效分析 |
| 光學元件、精密拋光痕跡、微細刮痕 | 偵測細微紋理；將地形與外觀相關聯 | Micro.View | 提供高解析度微觀區域數據與優質視覺化呈現，清晰呈現缺陷證據 |
| 精密加工金屬表面（研磨、珩磨、研磨） | 大視野範圍；長Z軸行程；可重複的SPC/GR&R；形狀與粗糙度一體檢測 | Pro.Surf+ | 配備同軸光學系統與製程控制的多感測器WLI，適用於品質控制 |
| 深凹/隱蔽或難以觸及的表面 | 同軸透鏡接入；穩定夾具；綜合評估 | Pro.Surf+ | 大工作距離與同軸鏡頭確保凹陷結構測量精度 |
| 單次檢測多件零件，線上即時檢測 | 產能；操作員獨立的合格/不合格判定；數據匯出 | Pro.Surf+ | 基於製程的常規檢測流程，整合統計製程控制與托盤夾具系統 |
我們的表面粗糙度轮廓仪 - 從微觀到宏觀
Micro.View
TopMap Micro.View® is an easy to use optical profiler in a compact table-top setup. Choose Micro.View® as the cost-effective inspection tool for examining precision-engineered surfaces down to the sub-nm range, for inspecting roughness, microstructures and more surface details.
Micro.View+
Advanced microscope-based surface profiler with automation and color imaging. Micro.View+ enables repeatable, operator-independent roughness and texture analysis—ready for lab and production use.
Pro.Surf+
多传感器光学轮廓仪，集大面积形状测量与集成粗糙度分析于一体。Pro.Surf+系统可在单一生产就绪设备中快速提供可追溯的形状与粗糙度测量结果。
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相關測量任務
Maintain form and position tolerances
Verify form and position tolerances such as waviness, flatness, parallelism and tilt. Optical 3D surface metrology delivers reliable results—even in bores.
微結構表面測量技術
微結構與納米技術的地形學與動力學。三維幾何結構、粗糙度與時間解析運動。
平整度、厚度與平行度
平面度、厚度與平行度（FTP）測量技術，可於單次操作中同步完成頂部與底部的表面形貌測量。
塗層與層厚
三維塗層品質控制。評估預塗層紋理、後塗層缺陷及薄膜厚度
摩擦學分析
採用三維表面輪廓儀進行摩擦學分析。評估摩擦、磨損及潤滑性能。
合格/不合格分析
WLIs 提供快速、客觀且易於使用的區域性 3D 資料合格/不合格反饋。亞奈米級 Z 軸與配方驅動的工作流程支援線上 SPC。
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ISO 21920 粗糙度
ISO 21920 is the new standard for mechanical engineering, design and roughness specifications
形狀偏差與粗糙度
Characterize entire workpiece surfaces, calculate volume and exactly determine peaks and valleys on behalf of the examined distance parameters.
表面粗糙度
Measurement of surface roughness, evaluation of profile & surface roughness.
