白光干涉测量：面型光学三维形貌测量技术
现代白光干涉仪借助样本与高精度参考镜的反射光叠加，产生干涉效应来测量。这种测量基于迈克尔逊干涉原理，光路中的光源相干长度在 μm 量级。
准直光束经分光镜，分为测量、参考两束光，前者射向被测样本，后者射向反射镜。二者的反射光在分光镜处汇聚，随后聚焦到相机上。
测量光路里，物体点光程与参考光路光程相等时，光源各波长发生相长干涉，对应相机像素强度最高。光程不同时，像素强度较低，相机借此记录同一高度的图像点。
远心光路配置的大面积测量系统，单次测量就能快速扫描大面积表面形貌。而参考光路集成于镜头的显微镜式光学轮廓仪，更适合获取整个区域的横向细节。
白光干涉测量法（相干扫描干涉测量法）基本原理
白光干涉技術在表面測量學中的優勢
相較於接觸式/探針法，白光干涉儀（WLI）能依照ISO 25178標準測量真實的平面（3D）粗糙度，透過單次掃描即可捕捉各向異性與複雜紋理，生成數百萬個數據點——因此在生產節拍時間內，您能獲得比線性探針測量更高的空間採樣率與更強的統計效力。
由於採用非接觸式設計，WLI可避免探針卷積與磨損問題（無損軟質或鍍膜光學元件），同時提供可重複的奈米級垂直精度；然而在僅需輪廓規格的應用場景，或生產品質保證中需快速、經濟地檢測Ra與Rz等參數時，探針輪廓儀仍具價值。此外，相較於其他非接觸技術，WLI具備多重優勢。
垂直分辨率与视场无关
使用白光干涉测量法（相干扫描干涉测量法）进行平面测量时，垂直分辨率并不取决于所选的物镜。白光干涉测量法是唯一一种分辨率与视场无关的测量方法。
我們的白光干涉儀產品組合
微型分析儀
Micro.View systems are optimized for ultra-high-resolution measurements in the sub-nanometer range. With focused optics and high vertical resolution they enable detailed analysis of microstructures, surface finish and material distribution where even the smallest deviations matter.
巨觀分析器
Pro.Surf凭借其区域地形扫描技术，能更快地确定形状与平整度。其大Z轴范围的同轴光学系统可探测孔洞与凹陷表面，最大视场与真实拼接功能轻松应对大型样品及多样品测量。升级至Pro.Surf+，更可实现粗糙度分析一体化操作。
Metro.Lab
Metro.Lab是一款紧凑型广域表面轮廓仪。它将卓越的测量性能与小巧的占地面积完美结合，特别适用于空间或预算受限但仍需可靠3D表面数据的应用场景。
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技术指南：光学表面形貌测量方法的优劣势剖析
在本次技术对比环节，您将全面了解四种常用表面测量方法的特性。对比内容涵盖垂直与横向分辨率，在光滑表面测量、粗糙度分析方面的适配场景，以及拼接或非拼接模式下的表现，助您明晰每种方法的优势与短板 。
- 白光干涉测量法
- 共聚焦显微镜技术
- 聚焦变化测量法
- 色散共焦传感器技术
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