色散共焦測量原理
用於測量距離與厚度的色散共焦光學測量技術，已確立為表面測量學領域中，產業與研究界可運用的成熟方法之一。入射白光經由色散透鏡成像，沿 z 軸產生連續的單色光，從而對光軸進行「色彩編碼」。當物體位於此色彩場中時，單一波長會固定在物體表面，並反射回光學系統。 後向散射光束通過濾光針孔後，由光譜儀進行偵測。透過計算光束的特定波長，即可精確確定測量場中表面的位置。色散共焦技術能夠以高解析度進行可靠、精確且可重複的尺寸測量。
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- 白光干涉測量法
- 共焦顯微鏡
- 焦距變化
- 色差共焦感測器
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