深入探讨表面检测的特定测量任务
功能性与流程要求通过标准化的表面参数来表达,这些参数能定量描述形貌与纹理特性。以下汇编详述各项参数、推荐的评估方法及兼容的测量系统。

表面粗糙度测量
三维表面纹理分析参数。从Sa/Sq到Str/Sal,用于验证规格与表面特征。

形位公差控制
验证波纹度、平面度、平行度、倾斜度等形位公差。光学3D表面测量即便在孔内也能提供可靠结果。

微结构表面测量技术
微结构与纳米技术的形貌与动态特性分析,涵盖三维几何结构、粗糙度与时间解析运动。

平整度、厚度与平行度
平面度、厚度与平行度(FTP)测量技术,可在单次操作中同步完成顶面与底面的表面形貌测量。

涂层与膜厚
三维涂层质量控制。评估预涂层纹理、涂层后缺陷及薄膜厚度。

摩擦学分析
采用三维表面轮廓仪进行摩擦学分析,评估摩擦、磨损与润滑性能。

合格/不合格分析
白光干涉仪(WLI)提供快速、客观且易于使用的区域性3D数据合格/不合格反馈。亚纳米级Z轴与配方驱动的工作流程支持在线SPC。


