Micro.View 用于3D轮廓测量

Micro.View – 紧凑型三维表面粗糙度轮廓仪

以亚纳米级精度实现高清晰度的表面粗糙度、纹理与微结构分析,模块化方案兼顾性能与性价比。

凭借扩展至 100 mm 的 Z 轴测量范围与连续扫描技术(CST),Micro.View 可对复杂(微)形貌进行纳米级分辨率测量。这款桌面式设备集成电子单元,内置对焦辅助(Focus Finder)可简化并加速测量流程。

具备亚纳米级精度的灵活型3D表面轮廓仪

  • 凭借智能扫描技术(SST),在各类材料上实现亚纳米级精度的可靠表面粗糙度分析
  • 宽广且可变的视场范围(从0.07 mm 扩展至 15.5 × 11.7 mm),满足多样化的粗糙度分析需求
  • 真拼接(True Stitching)技术,确保大尺寸部件的测量精度
  • CST连续扫描技术在 100 mm 宽 Z 轴测量范围内始终保持全分辨率
  • 基于配方的测量流程,轻松应对重复性作业
  • 符合现行国际标准(ISO 21920、ISO 25178 等)

Micro.View 专精于高分辨率的粗糙度与纹理分析,无论是经典的线轮廓测量(Ra、Rz 等)还是面域分析(Sa、Sq 等)均可胜任。若您的应用对自动化、连续测量或无人值守工作流有更高要求,我们推荐配备电动转塔、焦点追踪(Focus Tracker)及进阶自动化功能的 Micro.View+

0.01
nm
卓越的垂直分辨率
100
mm
可用Z轴行程与扫描范围
0.05-100
%
样品反射率
亮点

轻松分析几乎任何材料,从细致的表面粗糙度到形状与微观结构

放心选择适合您的表面轮廓仪,尽享“先试后买”服务

Use our try before buy offer for surface profiler
应用行业领域

Micro.View 三维表面粗糙度测量实例

以下为标准测量任务的真实测试结果,涵盖常见工程材料的表面粗糙度(Ra、Rz、Sa、Sq 等)及形状参数测量。这些案例均来自我们的应用中心,该中心长期为客户提供可行性研究及合约测量服务。

高精度三维表面粗糙度检测图,显示光学元件与精密加工表面的纳米级划痕及微观形貌。
检测划痕、分析光学元件与精密加工表面的粗糙度
亚纳米级抛光研磨表面纹理三维色彩图,展示微细结构与表面光洁度分析数据。
抛光、研磨表面的亚纳米级纹理与表面光洁度分析
晶圆表面台阶结构三维形貌图,展示高精度纳米级表面粗糙度和微结构分析
晶圆的台阶状表面
彩色三维热图展示微结构表面高度变化,适用于微电子元件和表面粗糙度分析。
放大检视微结构与微电子元件
DOE衍射光学元件表面三维高度图,展示纳米级精细形貌及颜色渐变,适用于高精度表面粗糙度分析。
DOE 衍射光学元件分析
三维表面粗糙度图展示磨损坑洞及摩擦学分析,色彩反映表面高度变化和磨损状态。
摩擦学分析,揭示磨损状况
MEMS芯片表面三维形貌与台阶高度测量,展现微系统纳米级平面度与结构细节
评估 MEMS、芯片与微系统的形状、平面度及台阶高度

放心选用合适的三维光学轮廓仪,即刻体验我们的专业实力。

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技术特性

实验室与生产现场兼备的表面粗糙度功能集

凭借扩展至 100 mm 的 Z 轴测量范围与CST连续扫描技术,Micro.View 可对复杂形貌进行纳米级分辨率测量。这款桌面式设备集成电子单元,内置对焦辅助(Focus Finder)可简化并加速测量流程。

真拼接技术:更大样品,更高精度

由于较大的表面会超出单次拍摄的视场范围,拼接技术会将多个图块整合为单一精准数据集。此类大面积测量的计量质量,取决于光学系统与传感技术、图块数量以及拼接算法。

真拼接(True Stitching)技术通过抑制拼接失真并保留几何结构,实现高保真的大面积测量。

德国一所知名理工大学的独立基准测试比较了六款不同制造商的光学轮廓仪,Polytec 轮廓仪在拼接与测量质量方面表现出色。这源于多项关键特性:

  • 大单次曝光视场 → 减少图块数量与接缝,降低累积误差
  • 精密拼接算法 → 可控重叠范围、稳健对位能力,以及能完整保留台阶与边缘的计量级融合技术

由此呈现高保真的大面积形貌图,伪影更少、残差符合审计标准,这正是我们所称的“真拼接”。

大视场下的亚纳米级表面粗糙度检测

宽广视场,可达 15.5 × 11.7 mm

全新的 0.6 倍物镜真正拓展了您的视野:Micro.View 可通过经典的 20 倍至 111 倍放大倍率分析高分辨率的表面粗糙度、纹理或微结构;单键点击即可自动切换至 0.6 倍物镜,无缝转入大面积形状或平面度测量,无需拼接即可检视大尺度微结构。在掌握形状参数、翘曲或大面积台阶的同时,完整呈现所有结构细节。
CSI 相干扫描干涉测量技术:高精度测量的基础

Micro.View 基于 CSI 相干扫描干涉测量技术(亦称白光干涉测量法),这是非接触式面域表面测量领域的行业标准。该技术依据干涉原理,通过垂直扫描宽带光源并分析其干涉图样。

  • 包络评估:在粗糙与低对比表面上表现稳健
  • 相位评估:在光滑平面样品上实现亚纳米级分辨率
  • 相关图分析:充分运用干涉图样,兼顾稳健性与精度

这一技术使同一系统既能测量抛光光学元件,也能测量粗糙的工程零件。

CST连续扫描技术:完整 100 mm Z 轴范围,不牺牲分辨率

CST连续扫描技术将整个 100 mm 行程转化为可用 Z 轴范围,并保持一致的分辨率,不受物镜影响。

  • 支持大型及高型样品,无需重新定位
  • 在整个测量范围内维持精度
  • 减少设置工作量,避免拼接或重新聚焦
ECT 环境补偿技术:稳定可靠的 3D 表面数据,直达生产现场

噪声、振动与温度波动均可能影响测量结果。我们的环境补偿技术(ECT)可抵消此类干扰,确保数据稳定一致,即便在生产现场亦是如此。

  • 提升嘈杂或不稳定环境中的可靠性
  • 无需完全隔振即可实现自动化与在线质量控制
  • 对敏感元件(如 MEMS、薄膜元件)尤为有效
聚焦辅助与配方管理,实现快速可靠的测量

精准对焦对表面测量至关重要。通过内置的聚焦辅助(Focus Finder),系统可自动确定合适的焦点位置,既缩短设置时间,也能实现可靠的工艺参数测量。

通过操作简易的配方管理功能及选配的条码扫描器,可轻松选择并执行可重复的测量程序。

Micro.View 3D轮廓测量系统

ECT 与 CST

环境补偿与连续扫描技术,支持简易且无人值守的测量作业

智能扫描技术(SST)

SST 支持反射性或雾面表面的测量

五物镜转塔

快速切换物镜,以执行不同的测量任务及零件检测

100 mm Z 轴范围(及以上)

100 mm Z 轴范围(等同于测量范围),配备CST连续扫描技术。

技术参数

模块化配置与规格

Z 轴范围100 mm(定位与测量)
垂直分辨率0.01 nm
均方根重复性0.05 nm
样品反射率0.05 至 100 %
测量点 
X-Y 像素
1,352,000(有效像素)
1,352 × 1,000
测量速度100 µm/s
ISO 参数ISO 25178,ASME B46.1 ,ISO 4287 ,ISO 13565 ,ISO 21920
Exploded diagram of Polytec Micro.View 3D surface profiler components including sensor head, base stand, positioning stages, breadboard, and objectives.
Smiling woman with long dark hair in a black shirt, set against a dark, textured industrial or scientific background.

需要可行性研究?

将您的样品交给我们,我们将使用表面轮廓仪进行可行性测试,并与您一同解读测试结果。

这将帮助您精准了解光学轮廓仪在您实际样品上的真实表现。

欢迎与我们的专家探讨您的需求

让我们先简短沟通您的零件、公差要求与工作流程;如有需要,后续可灵活追加可行性研究、PolyMeasure合约测量服务或PolyRent试用方案。

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