

显微式激光测振仪
MEMS振动测量的创新式解决方案
由于微机电系统(简称为 MEMS)的快速进一步发展,Polytec 展示了一个创新的显微镜系统产品系列,您可以使用它来验证微系统的动力学和形貌。您可以在 Polytec 找到用于确定传递函数的完美设备,以及用于集成在(真空)探测站的微系统静态和动态 3D 表征的独特一体化仪器。
MSA-650 IRIS Micro System Analyzer
MSA-650 IRIS显微式激光测振仪,拥有创新IR专利技术,无需去掉硅帽,即可非接触式获取硅封装结构的面内和面外振动特性。
MSA-600显微式激光测振仪
MSA-600显微式激光测振仪专用于测量MEMS和显微结构,是获取三维静态特性与动态特性的一体化光学测量解决方案,其有助于加快产品开发进程,优化产品质量控制,甚至可集成至商用探针台上进行晶圆级测试。现在高达 6 GHz。
MSA-100-3D显微式激光测振仪
显微系统分析仪同时记录所有三个空间方向上的振动分量,能高分辨率进行面内和面外3D振动分析,其振幅分辨率在亚皮米范围内。
MSA-060显微式激光测振仪
Use the MSA-060 for entering the world of microsystem analysis. Record and visualize vibrations and dynamics of small components and microsystems with laser precision over an entire surface. Micro System Analyzers use measurement lasers, revealing the true dynamics of small components in a completely non-contact and non-invasive way.