显微式激光测振仪

由于微机电系统（简称为 MEMS）的快速进一步发展，Polytec 展示了一个创新的显微镜系统产品系列，您可以使用它来验证微系统的动力学和形貌。您可以在 Polytec 找到用于确定传递函数的完美设备，以及用于集成在（真空）探测站的微系统静态和动态 3D 表征的独特一体化仪器。