MEMS振动测量的创新式解决方案
随着微机电系统（MEMS）的快速发展，Polytec推出了一系列创新的显微式激光测振仪。借助该系列产品，您可对微系统的动力学特性与形貌进行精准表征。Polytec不仅提供用于传递函数测试的成熟设备，也提供专为（真空）探针台集成设计的一体化仪器，可对微系统进行静态与动态三维分析。
MSA-650 IRIS 显微式激光测振仪
Polytec推出的MSA-650 IRIS显微式激光测振仪基于专利技术，能透过硅封装结构（无需拆除硅帽）获取硅器件面内和面外的动态特性，测量带宽覆盖DC至25 MHz。
MSA-600 显微式激光测振仪
MSA-600显微式激光测振仪专为MEMS与微结构测量打造，集成三维静态与动态特性测试能力，是一款一体化光学测量解决方案。其在加速产品研发流程、强化质量管控方面表现出色，还可集成至商用探针台用于晶圆级测试。目前测量频率已扩展至8 GHz。
MSA-100-3D 显微式激光测振仪
MSA-100-3D 三维显微式激光测振仪可同时记录X、Y、Z三个方向的振动分量，测量带宽覆盖DC至25 MHz，各方向振幅分辨率均可达亚皮米级，适用于面内振动测试和面外振动分析。
MSA-060显微式激光测振仪
MSA-060 显微式激光测振仪是一款紧凑型光学测量系统，可全面评估MEMS与微系统的振动特性、精密机械动力学以及电子产品的可靠性，测量带宽覆盖DC至24 MHz。系统以激光为探测手段，通过非接触、无损方式获取被测微型器件的动力学特性。