
MEMS振动测量的创新式解决方案
随着微机电系统(MEMS)的迅猛发展,Polytec 推出了一系列创新的显微式激光测振系统。借助该系列产品,您能够对微系统的动力学特征和形貌进行精准验证。在 Polytec,您不仅能找到用于确定传递函数的理想设备,还能发现专为(真空)探测站集成设计的独特一体化仪器,该仪器可对微系统进行静态和动态的三维表征 。
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MSA-650 IRIS 显微式激光测振仪
Polytec全新的最先进的且已获得专利技术的MSA-650 IRIS显微式激光测振仪,是目前世界上唯一能透过硅封装结构(无需拆除硅帽)获取硅器件面内和面外动态特性的系统,测试带宽覆盖DC~25 MHz。
MSA-600 显微式激光测振仪
MSA-600 显微式激光测振仪专为 MEMS 及显微结构测量而打造,是一款能够获取三维静态与动态特性的一体化光学测量解决方案。它在加速产品开发流程、优化产品质量控制方面表现卓越,甚至可集成至商用探针台,用于晶圆级测试。目前,该仪器的性能已提升至高达 8 GHz。
MSA-100-3D 显微式激光测振仪
3D显微式激光测振仪同时记录XYZ三个方向的振动分量,测试带宽覆盖DC~25 MHz,每向的振幅分辨率均达到亚皮米级,可用于面内和面外振动测试。
MSA-060显微式激光测振仪
MSA-060显微式激光测振仪是一款紧凑型光学测量系统,用于全面评估MEMS和微系统的振动特性、精密机械动力学和电子产品的可靠性,测试带宽覆盖DC~24MHz。 系统采用激光作为探测手段,以非接触、无损检测方式帮助用户获取被测微型元器件的动力学特性。