MEMS振动测量的创新式解决方案
随着微机电系统（MEMS）的快速发展，Polytec推出了一系列创新的显微式激光测振仪。借助该系列产品，您可对微系统的动力学特性与形貌进行精准表征。Polytec不仅提供用于传递函数测试的成熟设备，也提供专为（真空）探针台集成设计的一体化仪器，可对微系统进行静态与动态三维分析。
MSA-650 IRIS显微式激光测振仪
这款创新且已获专利的MSA-650 IRIS显微式激光测振仪具备红外（IR）功能，可通过硅封装对面内和面外运动进行表征，无需接触即可测量高达25 MHz的真实MEMS动态特性，且无需对器件进行预处理或去封装。
MSA-600显微式激光测振仪
MSA-600显微式激光测振仪专为MEMS与微结构测量打造，集成三维静态与动态特性测试能力，是一款一体化光学测量解决方案。其在加速产品研发流程、强化质量管控方面表现出色，并可集成至商用探针台用于晶圆级测试。目前测量频率已扩展至8 GHz。
MSA-100-3D显微式激光测振仪
3D显微式激光测振仪可同时记录三个空间方向上的振动分量。其光学测量系统能够对平面内和平面外的振动分量进行高分辨率的三维振动分析，频率范围从直流到25 MHz，振幅分辨率可达亚皮米量级。
MSA-060显微式激光测振仪
使用MSA-060显微式激光测振仪，踏入微系统振动分析领域。该设备能够以激光级精度，对小型组件和微系统的振动及动力学特性进行全表面范围的记录和可视化，测量频率范围从直流（DC）到24 MHz。微系统分析仪利用测量激光，以完全非接触、非侵入的方式揭示小型组件的真实动力学特性。