Pro.Surf - 3D optical profilometer

Pro.Surf 家族——大视场3D轮廓仪,适用于生产环境

快速完成大面积地形、形状与平面度测量。远心光学系统具备大Z轴范围,可深入探测深孔结构;宽广视场配合真拼接精度,实现高效的多样本测量。可选配表面粗糙度测量功能。

在产线上实现快速、可靠的合格/不合格判定

Polytec Pro.Surf大视场3D轮廓仪为质量工程师、生产管理人员及计量团队而设计,帮助他们在工业环境中对大型或复杂组件做出可靠的合格/不合格判定。当传统轮廓仪在面对深孔、凹陷结构或大型料盘时力不从心,Pro.Surf 凭借远心光学系统与宽广视场,在整个测量区域内始终保持高精度。

Pro.Surf大视场3D轮廓仪将远心白光干涉工作原理与宽光学 Z 轴范围相结合,专为严苛的形状与平面度测量任务而设计:

  • 超大的单次成像视场(高达 44 × 33 mm) — 更少的拼接次数、更短的测量周期、更低的累积误差
  • 专为难测几何结构设计的远心光学系统 — 在传统显微测量系统受限的深孔、凹槽及凹陷区域内,依然实现精准测量
  • 真拼接技术,独立验证 — 在德国一所顶尖大学的六方对比测试中荣获最高评价
  • 生产级坚固设计 — 专利 ECT 补偿技术,无外部运动部件,出厂即具备自动化能力
  • 形状+粗糙度二合一测量(Pro.Surf+) — 集成色差共焦传感器,省去二次装夹的麻烦

工业级大视场3D轮廓仪核心优势

大幅面检测
同级别最大视场:高达 44 × 33 mm

远心光学系统
测量他人无法触及之处——即便是凹陷区域或深孔内部

CST连续扫描技术
沿 70 mm Z 轴全程保持全垂直分辨率(< 1.45 nm)

真拼接技术
大范围测量,依然保持高精度

防碰撞设计
无外部运动部件 → 零镜头碰撞风险

Dual View 选配
单次测量即可同时检测双侧形状参数

灵活获取方式
购买、租赁——或由我们代为测量

四年保修
包含免费软件升级及光学轮廓仪升级计划

产品选型指南

为您的测量任务选择合适的大视场光学轮廓仪

所有 Pro.Surf 系列系统均采用统一的远心光学平台,具备大视场(FoV)、70 mm Z轴范围及真拼接技术。您可根据实际需求进行选择:

  • 形状、平面度与粗糙度一站式测量 → Pro.Surf+,适用于精密加工、模具制造及表面质量综合管控
  • 形状与平面度检测(不含粗糙度) → Pro.Surf,适用于铸件、冲压件及机械结构件的几何尺寸与平面度评估
  • 紧凑型抽检轮廓仪,适用于取样检测 → Metro.Lab,适用于来料检验、实验室抽样及现场快速验证

Pro.Surf大视场光学轮廓仪

远心大视场光学轮廓仪,适用于快速、可重复的形状与平面度测量。是高通量质量控制、生产计量及大型精密部件形状检测的理想之选。

  • 超大单次成像视场:适用于料盘测量及多工件同步检测
  • 70 mm Z轴范围:轻松应对大台阶及凹陷结构
  • 全量程纳米级分辨率:在整个Z轴范围内保持高精度
  • 真拼接技术:实现大面积高精度扫描
  • 出厂即备自动化能力:支持配方控制及条码触发启动

Pro.Surf+大视场光学轮廓仪

在大型区域形状检测的基础上,集成粗糙度测量功能——一切尽在同一系统。当形状与表面粗糙度需要同步评估,且希望避免更换工装或切换测量工位时,Pro.Surf+ 是您的理想之选。

  • 包含 Pro.Surf 全部功能,并额外提供:
  • 集成式色差共焦粗糙度传感器
  • 形状与粗糙度一体化测量流程

Metro.Lab表面轮廓仪

Metro.Lab将大视场光学系统、长 Z 轴扫描范围及符合 ISO标准的软件集成于一台紧凑型设备中,适用于精准、可重复的定点抽检与随机取样检测。

  • 宽广视场:单次成像 37 × 28 mm,拼接后可达 87 × 78 mm
  • 70 mm 垂直扫描范围:全程保持高分辨率
  • 操作辅助功能:支持配方管理及条码扫描器连接

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应用行业领域

产线上的大面积形状、平面度与表面质量检测

Pro.Surf专为那些需要同时满足严苛形状公差、短节拍时间及复杂工件几何结构的应用场景而设计——广泛应用于精密制造、汽车工业、光学元件、半导体生产及工业质量控制等领域。

如果您的生产流程需要在产线速度下检测深孔、凹陷特征或大型多样本料盘,Pro.Surf的远心光学平台及出厂即备的自动化架构,正是为此类环境而量身打造。

Optical profilometer measurement: Sealing surface of piston
可靠的合格/不合格分析——精准识别活塞密封表面的形状偏差
球栅阵列(BGA)纳米级分辨率检测可精确测量焊球高度、凸点形状及引脚区域的翘曲度/平面度
光学与玻璃元件的平面度测量适用于自由曲面光学元件、透镜及反射镜
Optical Profilometer measurement: Flatness parallelism
大面积平面度与平行度测量
Optical Profilometer measurement: Additive manufacturing roughness analysis
3D形状与粗糙度一体化检测
Optical Profilometer measurement: Hard drive disk waviness
硬盘盘片(HDD)的形状偏差、平面度与波纹度测量
Pro.Surf Form and roughness measurement
綜合形狀與粗糙度檢測

放心选择适合您的表面轮廓仪——让我们用您的样品进行可行性测试

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技术特性

大视场计量——业界领先的视场与远心光学系统

粗糙度传感器

共聚焦色差传感器,垂直量程约 400 µm,横向分辨率 2.6 µm,工作距离 10.8 mm。

远心镜头

光路光束平行于光轴,放大倍率恒定不变,可实现工件边缘与深孔内壁精准测量。

配方程序自动化控制

载盘扫描支持样品识别与图案匹配;扫码启动测量,自动记录样品编号与测量配方 ID。

大视场(FoV)

单次成像视场最高可达 44.9 × 33.8 mm(191 万测量点)。设备内置图像拼接功能,可将测量区域拓展至约 228 × 221 mm,适用于料盘及大型工件检测。

大尺寸样品检测量程

定位行程最大可达 200 × 200 × 70 mm,可选电动 XY 平台与倾斜调台模块。

集成式粗糙度传感器(Pro.Surf+ 配置)

→ 单一系统,同时完成大面积形状与粗糙度测量

色差共焦传感器:400 µm 量程,横向分辨率约 2.6 µm,工作距离 10.8 mm,在同一工位实现粗糙度检测

典型粗糙度测量范围:Ra ≥ 100 nm

  • 形状+粗糙度一次走位完成
  • 长工作距离:确保样品操作安全、避免碰撞风险
真拼接技术——大面积样品测量,精度更高

→ 真拼接技术能够在大面积样品扫描时实现最高精度。

当被测表面超出单次成像视野时,拼接技术将多个子图合并为一个完整、精确的测量数据集。此类大面积测量的计量质量,取决于光学与传感技术、拼接子图数量以及拼接算法的综合表现。

真拼接技术通过最小化拼接伪影并保持几何形状的真实性,实现高保真的大面积测量。

在德国一所顶尖技术大学进行的独立基准测试中,来自不同制造商的六款光学轮廓仪参与了对比。Polytec轮廓仪在拼接质量与测量精度方面均表现最优。这得益于以下几项关键特性:

  • 超大单次成像视野 → 更少的拼接子图与接缝,更低的累积误差
  • 先进的拼接算法 → 可控的重叠区域、稳健的配准过程以及保留台阶与边缘的计量级融合技术
  • 针对 Pro.Surf:远心/CSI 光学与干涉图评估 → 跨子图保持稳定的几何形貌与高度保真度

最终结果是:高保真的大面积形貌数据,伪影更少,残差可追溯——这就是我们所称的真拼接技术。

远心光学设计的白光干涉仪

→ 在高度与深度方向上保持几何精度

经过可溯源校准的 WLI/CSI技术,可提供非接触、面阵式三维数据,垂直分辨率达纳米级别。远心光学设计使光束/光线始终平行于光轴,在高度方向上保持恒定的放大倍率与均匀照明——即使在孔洞内部也能实现精准测量。

  • 非接触、可重复、快速的面阵扫描
  • 相位/包络评估算法:同时适用于光滑与粗糙表面
  • 智能扫描技术:宽动态范围,轻松应对从粗糙到光亮、从低反射到高反射的各类表面
  • 长寿命 525 nm LED 光源
大视场光学系统 (FoV)

→ 减少拼接次数,缩短测量周期

Pro.Surf 提供高达 44.9 × 33.8 mm 的单次成像视野(约 191 万个数据点),可一次性完成较大样品或多个工件的测量。配合内置拼接功能,测量范围可扩展至约 228 × 221 mm。

  • 多样本同步测量:支持自动样品识别
  • 短周期时间:大幅减少拼接工作量
ECT 环境补偿技术

→ 在真实产线环境中稳定测量结果

在传统机加工车间中,噪声与环境振动会影响精密测量的准确性。专利 ECT 环境补偿技术可有效抑制此类干扰,确保即使在嘈杂的生产环境中,也能获得稳定一致的数据。

  • 提升可靠性:适用于噪声或振动不稳定的环境
  • 支持自动化与在线质量控制:无需完全隔振条件
  • 尤其适用于敏感元件:如 MEMS、薄膜等
支持自动化计量工作流

→ 实现无人值守、可重复的测量

模块化设计与多种电动化选件,使 Polytec Pro.Surf轮廓仪能够轻松集成到现有产线与设备中,实现自动化。多项功能与特性协同工作,打造高效、无需人工干预的计量工作流:

  • 模式匹配与智能扫描技术
  • 电动 X、Y、Z 轴及倾斜/旋转载物台
  • 大视场与自动化拼接:实现大面积高分辨率扫描
  • TMS 软件配方系统:支持无人工干预的标准化工作流
  • 坚固设计:无外部运动部件,搭配 ECT 环境补偿技术
模式匹配

基于机器视觉的智能识别功能,可根据预设模板自动查找并定位工件,即使工件出现位置偏移或角度旋转,测量配方仍能准确落在目标区域。

  • 降低工装成本与操作复杂度
  • 简化测量流程
  • 尤其适用于料盘与多样本批量检测
SST 智能扫描技术

具备自适应动态范围,可根据表面反射率与对比度的变化自动调整——从哑光、深色到光亮表面,从低反射到高反射区域,一次设置即可完成测量,真正实现“近乎所有表面”的全覆盖。该技术深度集成于 TopMap 软件中。

测试我们的工业级大视场轮廓仪

将您的样品交给我们,我们的应用专家将评估 Pro.Surf 在您实际工件、几何结构及质量要求下的表现。

您将获得一份基于实践的评估报告,内容包括测量可行性、可达到的测量结果,以及最适合您应用场景的轮廓仪配置方案。

欢迎与我们的专家探讨您的需求

让我们先简短沟通您的零件、公差要求与工作流程;如有需要,后续可灵活追加可行性研究、PolyMeasure合约测量服务或PolyRent试用方案。

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