同步测量形状偏差和粗糙度
毛坯工件的表面质量，是保障后续产品完美服役性能的关键。例如牙科金属植入物，对表面粗糙度要求极低；而许多毛坯工件则需要特定粗糙度，以适配后续喷涂与镀膜工艺。部分应用场景，甚至需要同时获取形貌偏差与粗糙度两项数据。
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形状偏差与其它表面要素的分类
表面形貌、表面粗糙度与表面波纹度有何区别？常规机械加工会产生三种主要的表面形貌成分，可依其成因进行分类。
第一类为粗糙度与微观纹理，是各类加工过程固有的表面特征；由切削刀具、放电加工、刃口成型或刀尖微观不平整等加工痕迹所形成。
第二类为波纹度，主要由工件形变、设备振动、砂轮失衡、进给不均、颤振及其他外界干扰因素造成。
第三类是表面形状（形貌），排在粗糙度与波纹度之后；它对应图纸与设计中形位公差所定义的宏观几何轮廓特征。
形状偏差 vs 粗糙度 vs 波纹度
「表面偏差分类」示意图，从横向尺度与纵向尺度两个维度，清晰概括各类表面形貌组成。
图表左侧为粗糙度与表面纹理，这类特征需要对横向与纵向微观尺寸做精细解析，也是表面计量领域最常用的评价指标。目前测量表面粗糙度最主流的方式，仍是触针式轮廓仪；但其存在固有短板：接触式测量会产生探针磨损，长期使用后会造成测量结果失准、一致性变差。
实际应用中，往往会明确要求某一类表面形貌特征，以满足特定使用功能。但机床操作不当、工件装夹不合理、热应力引发变形，都会产生不必要的形状偏差；设备运转失衡、机械振动会在表面形成波纹度；而加工工艺与切屑成型机理，则决定了工件固有的表面粗糙度特征。
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形状偏差、波纹度（或平面度）与粗糙度（或纹理）的界限并非泾渭分明，而是相互过渡、紧密关联的。工件表面可被视为无数不同波长成分的叠加：从长波长的形状偏差，经过波纹度，平滑过渡到短波长的粗糙度特征。详细内容请参阅《表面粗糙度白皮书》。
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