专为精密表面测量而设计的Polytec 3D表面轮廓仪 (显微式形貌测量仪) 在整个 Z 轴范围内保持恒定高横向分辨率——价格极具吸引力
当细微结构决定成败,基于显微镜技术的表面轮廓仪便成为高分辨率、非接触式 3D 表面测量的核心工具。Micro.View系列在此类设备中脱颖而出,兼具坚固耐用、灵活应变与高精度——即使面对反光、暗色、透明或混合材质等挑战性表面,也同样出色。
Micro.View 将光学干涉测量与显微镜光学系统相结合,全面覆盖各类表面测量任务:
- 高分辨率粗糙度与纹理分析:基于相干扫描干涉原理(CSI),搭配真正拼接技术,实现亚纳米级测量精度
- 可靠的质量控制:内置聚焦查找(Focus Finder)、聚焦追踪(Focus Tracker)及配方管理功能,确保结果可重复、可信赖
- 灵活适配不同样品与材料:支持连续扫描技术(CST)、真正拼接,并提供 0.6 倍至 111 倍的丰富物镜选择。其 100 mm 的 Z 轴定位范围,能够灵活应对从微观结构到较高样品的各种扫描需求。即使是大尺寸样品,依然保持优异准确度
- 实验室与产线皆能从容胜任:专利环境补偿技术(ECT)有效抑制外部干扰,保证测量稳定性,广泛应用于精密机械、光学光源及微结构领域

正因如此,Micro.View 成为精密工程、光学与光学元件、半导体与微电子、微机电系统(MEMS)与微系统、材料研究及摩擦学等领域的理想选择——无论是实验室研发还是生产现场,皆能从容应对。
关键参数一览
如何选择适合您的 Micro.View表面轮廓仪?
Micro.View
紧凑型显微成像3D表面轮廓仪,专为最高精度而生。
- 高性价比系统
- 丰富物镜选择,满足不同测量任务
- 小型台式设计,节省空间
- 可选配ECT环境补偿技术,确保生产现场测量稳定
适用场景:精密制造、研发实验室、工程高精度检测
Micro.View+
为 Micro.View 轮廓仪增加彩色视图功能,带来更丰富的数据洞察,并支持自动化、无需人工干预的测量流程。
- 全电动载物台,配备焦点查找(Focus Tracker)功能
- 支持 QC 配方管理,实现无人值守操作
- 可容纳大尺寸/高样品(最高可达 370 mm)
- 彩色视图功能,增强可视化效果与缺陷检测能力
- 具备线上及线旁测量能力
最佳选择:当您需要彩色视图功能且重视自动化能力时,Micro.View+ 是您的理想之选。
Polytec表面轮廓仪——技术参数对比
| 特性 | Micro.View | Micro.View+ |
|---|---|---|
| 垂直分辨率 | 亚纳米级 (Sub-nm) | 亚纳米级 (Sub-nm) |
| 真正拼接 | 是 | 是 |
| 样品高度 | 最高 100 mm | 最高 370 mm(使用垫高块) |
| 载物台 | 手动及电动载物台(20 / 75 / 100 mm) 手动及电动倾斜/旋转功能 | 电动 100×100 或 200×200 mm 载物台 自动倾斜/旋转功能 |
| 可视化 | 3D 高度数据(反彩虹色) | 3D 高度数据(反彩虹色), 彩色视图(硬件选配) |
| 物镜 | 0.6x ~ 111 倍(可选长工作距离版本) | 0.6x ~ 111 倍(可选长工作距离版本) |
| 自动化 | 测量配方, 样品定位, 高级对焦辅助 | 测量配方, 样品定位, 高级对焦辅助, 电动(或手动)转塔, 闭环 + 焦点追踪, 支持测头独立集成 |
| 了解产品详情 | Micro.View产品详情 | Micro.View+产品详情 |
精密工程、光学光源及微系统领域的表面粗糙度与纹理轮廓分析
以下展示的是我们在标准3D表面测量任务中获得的真实数据——包括粗糙度、平面度、台阶高度、纹理及摩擦学分析,测量对象为典型工程材料。这些案例均来自我们的应用中心,该中心长期为客户提供可行性研究及第三方测量服务。







放心选用合适的表面轮廓测量仪,即刻体验我们的专业实力。

内置高精度与高效工作流——即使在严苛环境下也能稳定发挥
我们的显微成像3D光学表面轮廓仪系列,无论实验室还是生产现场,皆专为精密部件与微小表面细节的测量而设计:
- CSI相干扫描干涉术,实现极致测量精度
- SST智能扫描技术,在粗糙与光亮表面上实现亚纳米级可靠粗糙度分析
- 最宽广、最灵活的视场范围(0.07 mm 至 15.5 × 11.7 mm),满足多样化的粗糙度分析需求
- 真拼接技术,确保大尺寸部件测量精度无与伦比
- 连续扫描技术(CST),在100 mm宽Z轴测量范围内始终保持全分辨率
- 基于配方的测量流程,配合聚焦查找(Focus Finder),轻松应对重复性操作
- 符合最新国际标准(ISO 21920、ISO 25178 等)
- 全电动XYZ轴、倾斜/旋转、编码转塔及聚焦追踪(Focus Tracker),实现无人工干预的标准化工作流
- 模块化设计与丰富接口,支持紧密集成,为全自动化测量做好准备
正是这种精度、稳健性与灵活性的结合,使Polytec Micro.View产品系列成为那些需要可追溯、可重复的3D表面数据,同时希望避免复杂设置与环境限制的团队的理想选择。

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相关信息
Micro.View 与 Pro.Surf+ 粗糙度轮廓仪的区别
Micro.View 的核心优势在于高分辨率的三维表面粗糙度与纹理分析,同时它也支持形状、平面度及台阶高度测量。
Pro.Surf+ 则恰恰相反。它的强项是平面度、平行度及形状检测,同时也能进行横向分辨率达 2.6 µm 的表面粗糙度分析。






