3D optical profiler in action

Micro.View 家族 – 顯微鏡式三維表面輪廓儀

一套模組化產品系列,專為非接觸式3D表面測量而生——從高解析度粗糙度分析到自動化檢測皆可勝任。無論金屬、聚合物或玻璃表面,平滑或粗糙皆能精準測量。

基於顯微鏡的3D表面輪廓儀,專為精密表面測量設計——附四年保固

顯微鏡式表面輪廓儀專為高解析度、非接觸式三維表面測量而設計,尤其適用於需精準呈現細微細節的應用場景。在此領域中,Micro.View 系列憑藉其堅固耐用、靈活多變且精準度卓越的特性脫穎而出——即便面對高反射性、深色、透明或複合材質等具挑戰性的表面,仍能展現優異性能。

Micro.View 系列產品 結合光學干涉技術與顯微鏡光學系統,可處理廣泛的表面測量任務:

  • 憑藉TrueStitching與相干掃描技術(CSI),實現高解析度表面粗糙度與紋理分析,具備極致精準度
  • 透過焦點定位器、焦點追蹤器與配方管理,實現可重複且可靠的品質控制
  • 透過相關掃描技術(CST)、TrueStitching及多樣化鏡頭,靈活適應不同樣品尺寸與材質
  • 實驗室或生產環境皆適用,配備 環境補償技術(ECT)

Micro.View 轮廓仪系列是基於顯微鏡的模組化三維表面分析儀,專為粗糙度、紋理、結構細節或微機電系統(MEMS)設計。該系統能對幾乎所有材質——無論是反光、深色、透明或混合材質——進行高精度非接觸式表面測量。

配備自動轉塔及多達五組物鏡(0.6x/10x/20x/...111x),Micro.View 可實現0.01奈米垂直解析度的豐富細節呈現。充分運用100毫米Z軸定位範圍,涵蓋微觀結構至高大樣品的掃描需求。

憑藉無與倫比的真實拼接技術,即使在較寬的樣品上進行高精度測量,亦能維持精準度。

配備電動/手動載物台(75/100/200 毫米)與傾斜轉動功能,結合無可匹敵的真實拼接技術,可在更大區域進行高精度測量,且不影響測量準確度。

此模組化設計使Micro.View 成為極精準且靈活的白光干涉儀,適用於精密機械、光學或微結構領域——從研究到品質控制皆能勝任。

3D surface profile lenses

由此實現的精密度、穩健性與靈活性,使Micro.View 成為精密工程、光學與光學元件、半導體與微電子、MEMS與微系統、材料研究及摩擦學等領域的理想選擇——無論在實驗室或生產導向環境中皆然。

若干關鍵事實

0,01
nm
卓越的垂直分辨率
100
mm
可用Z轴行程与扫描范围
0,6-111x
镜头
满足各种测量需求
產品

最適合的Micro.View 表面輪廓儀是哪一款?

Micro.View profiler
Micro.View

採用顯微鏡技術的緊湊型3D表面輪廓儀,實現最高精度。

  • 經濟實惠的系統
  • 廣泛的鏡頭選擇,滿足特定任務需求
  • 小型桌面佔位設計
  • 可選配ECT技術確保穩定結果

最適用於精密製造、研發實驗室、開發任務及工程領域的高精度表面檢測。

Micro.View+ profiler
Micro.View+

為 Micro.View 剖面儀增添彩色成像功能,提供更深入的分析洞察,並實現自動化、操作員獨立的工作流程。

  • 配備焦點追蹤器的全電動平台
  • 品質控制配方管理,實現無人值守操作
  • 支援大型/高樣本(最高達370毫米)
  • 新增色彩資訊以強化視覺化效果
  • 具備線上與離線測量能力

當需色彩成像且重視自動化功能時,此為最佳選擇。

表面輪廓儀 - 事實比較

功能Micro.ViewMicro.View+
解析度亞奈米級亞奈米
真實縫合
樣品高度最高 100 毫米最高 370 毫米(含支架)
載物台手動與電動平台(20、75、100 毫米)
手動與電動傾斜/傾斜
電動 200 x 200 毫米
自動傾角/傾斜
視覺化
3D 高度數據(反向彩虹)
3D 高度數據(反向彩虹)
硬體選配之色彩資訊模式
物鏡0.6x ..111x 含長工作距離0.6x ..111x 含長工作距離
自動化測量配方
定位
進階對焦定位器
(手動轉塔)

測量配方
定位
進階對焦定位器
電動(及手動)轉塔
閉環系統/含對焦追蹤器
僅頭部線性整合
了解更多詳細資訊Micro.View詳細資訊Micro.View+
應用程式

表面輪廓分析——適用於精密工程、光學及微系統領域

以下是針對典型工程材料進行標準3D表面輪廓測量任務——粗糙度、平面度、台階高度、紋理及摩擦學特性——所獲得的實測結果。這些案例源自我們的應用中心,該中心為客戶執行可行性研究與合約測量服務。

Roughness measurement of polished surface with 3D surface profiler
檢查刮痕、分析光學元件與精密加工表面的粗糙度
在亞奈米級別解析的表面粗糙度
wafer topography measured by microscope-based 3D surface profiler
晶圓測量
Zoom in microstructure
微結構與微電子學
Analysis of diffractive optical element
美國能源部衍射光學元件分析
tribology analysis with 3D optical surface profiler
摩擦學分析揭示磨損狀況
MEMS topography with microscope-based profilometer
評估MEMS的表單參數,此處為MEMS壓力感測器

選擇合適的表面處理方案,請放心選擇轮廓仪 ——立即體驗我們的專業能力。

Schedule your demo of our surface profilometers and software
功能

內建功能實現高精度與高效工作流程——即使在惡劣環境中亦然

我們基於顯微鏡的3D光學表面輪廓儀功能套件,專為實驗室或生產環境中的精密元件與細微表面細節測量而設計:

  • CSI相干掃描干涉儀實現極致精度
  • 憑藉智能掃描技術,實現各類材料亞奈米級精度的可靠表面粗糙度分析
  • 具備最寬廣且可變化的視野範圍,實現 靈活粗糙度分析(從0.07毫米至15.5 x 11.7毫米)
  • 真實拼接技術實現 寬幅部件無可匹敵的精準度
  • 連續掃描技術(CST)實現100mm寬Z軸量測範圍且維持 全解析度
  • 配方驅動測量搭配焦點搜尋器,實現 重複性作業
  • 符合最新標準規範(ISO 21920等)
  • 具備 電動X/Y/Z軸、傾斜/旋轉、編碼轉塔及焦點追蹤器的操作員獨立工作流程
  • 模組化設計與介面緊密整合,支援全自動化作業

其卓越的精密度、穩健性與靈活性,使Micro.View 成為需要可追溯、可重複3D表面數據的團隊之理想選擇,無需複雜設置或受環境限制。

Micro.View surface profiler
功能Micro.ViewMicro.View+
解析度亞奈米級亞奈米
真實縫合
樣品高度最高100毫米最高 370 毫米(含支架)
電動平台
彩色成像是,配備 500 萬像素相機
(選配)
食譜 / 自動化否 / 手動半手動至全自動
典型應用場景簡易操作、高精度且多功能的測量任務適用於Micro.View 系列及以下擴充需求:
- 需彩色成像
- 更高樣本量
- 重複性測量任務
連結至您的產品詳細資訊Micro.View詳細資訊Micro.View+

可行性檢查?

請將您的樣品寄給我們,我們將使用輪廓儀進行可行性研究,並與您共同解析結果。

此舉能讓您精準掌握光學輪廓儀在實際樣品上的表現效能。

相關資訊

Micro.View 與Pro.Surf+粗糙度輪廓儀之差異

雖然Micro.View 亦支援形狀、平面度及台階高度測量,但其核心優勢在於高解析度的3D表面粗糙度與紋理分析。

Pro.Surf+則採取相反策略。其優勢在於平面度、平行度與形狀檢測,同時也能執行表面粗糙度分析,橫向解析度達2.6微米。

與我們的專家討論您的需求

讓我們先簡短討論您的零件、公差要求與工作流程——若您認為有幫助,後續可選擇性追加可行性研究、PolyMeasure(合約量測服務)或PolyRent試用方案作為後續步驟。

Schedule your surface profiler demonstration