微系統與MEMS的拓撲結構與動態特性分析微系統與MEMS的拓撲結構與動態特性分析
採用Polytec多功能表面測量系統，您能以高度精準、快速且可靠的方式完成微納科技任務。 您可量測晶片實驗室的溝槽深度、測定MEMS封裝的階梯高度、評估壓力感測器的平面度，並透過表面參數分析MEMS元件。如今，即使對射頻濾波器執行動態面外與面內測量以判定MHz級諧振頻率，對您而言也將是輕而易舉之事——這全仰仗Polytec的 MSA 微系統分析儀系列。
网络研讨会：轻松实现粗糙度测量
研讨会内容：从基于 ISO 21920 线粗糙度参数 Ra、Rq、Rz，到基于 ISO 25178 面粗糙度参数 Sa、Sq、Sz，更有实用技巧与方法…… 没时间参会？没关系 —— 立即注册观看回放！
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微光學轮廓仪與振動計應用於微米與奈米科技領域
巨觀分析器
Pro.Surf凭借其区域地形扫描技术，能更快地确定形状与平整度。其大Z轴范围的同轴光学系统可探测孔洞与凹陷表面，最大视场与真实拼接功能轻松应对大型样品及多样品测量。升级至Pro.Surf+，更可实现粗糙度分析一体化操作。
微型分析儀
Micro.View systems are optimized for ultra-high-resolution measurements in the sub-nanometer range. With focused optics and high vertical resolution they enable detailed analysis of microstructures, surface finish and material distribution where even the smallest deviations matter.
显微式激光测振仪
随着微机电系统和MEMS快速发展，Polytec推出了高度创新的显微式测量系统产品线。Polytec的MSA系列显微式激光测振仪带宽可达数kHz，数MHz，甚至数GHz，以最高精度可靠地验证微系统的动力学特性和轮廓数据。MSA集多功能于一体，可用于确定传递函数、表征微器件的3D静态和动态特性，甚至可透过封装好的硅帽，获取其在工作条件下的整个层制结构。
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