环氧树脂芯片粘接细节展示,突出细小键合线及芯片精准定位,体现高可靠电子元件制造技术

可靠的芯片粘接

精确的芯片定位和粘合线厚度对于工艺稳定性和电子元件的高质量至关重要。

通过表面表征控制环氧树脂芯片粘接

在环氧树脂芯片粘接及相关芯片贴装工艺中,即使微小的偏差也会影响工艺稳定性、元器件可靠性及使用寿命。因此,必须对粘接线厚度(BLT)、芯片倾斜度及定位精度等关键质量指标进行可靠且可重复的监测。

Polytec TopMap 光学表面轮廓仪可对环氧树脂芯片粘接工艺进行快速、非接触式检测。该设备直接在生产环境中提供精确的3D表面数据,用于自动化质量控制——涵盖从芯片方向和倾斜度到粘接线厚度等各项参数。

QFN封装(四边扁平无引线)的特性分析

TopMap 3D表面测量解决方案可轻松集成到生产线中,为环氧树脂芯片粘接工艺提供自动化的高分辨率在线测量。典型的检测任务包括:

  • 芯片倾斜度与定位
  • 粘接线厚度(BLT)及BLT高度
  • 扭转及相对于基准特征的相对定位

在QFN封装中,芯片粘接填角——即沿芯片边缘隆起的多余粘合剂——对机械稳定性起着关键作用。基于精确的BLT测量,可以评估和优化填角宽度、高度及坡度角等相关参数,从而提高工艺稳健性和元器件质量。

集成电路芯片通过环氧树脂粘接在引线框上,示意键合线厚度和粘合剂分布的关键工艺参数。
集成电路(IC)环氧树脂芯片粘接示意图,展示了芯片在引线框上的粘接情况
集成电路芯片键合线厚度(BLT)示意,突出环氧树脂芯片粘接及精确定位工艺控制。
将键合线厚度作为芯片键合工艺的关键质量指标
环氧树脂芯片与基板的BLT键合线厚度3D测量,辅助芯片粘接工艺质量控制与优化
测量集成电路上的BLT键合线厚度
环氧树脂芯片粘接质量控制热图,展示芯片放置定位与键合线厚度的3D表面测量数据。
环氧树脂芯片粘接的芯片放置定位质量控制
环氧树脂芯片粘接工艺的3D表面表征,测定键合线厚度及倾斜角,监测芯片贴装质量。
面积表面表征可测定键合线厚度及斜率角,用于监测芯片贴装工艺

3D 测量键合线厚度、薄膜及层厚

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