Topografie- und Dynamikmessung von Mikrosystemen und MEMS
Mikro- und nanotechnologische Anwendungen erfordern Messtechnik, die sowohl höchste geometrische Auflösung als auch maximale Flexibilität bietet. Je nach Strukturgröße, Messaufgabe und Bauteilgeometrie kommen dabei unterschiedliche optische Messprinzipien zum Einsatz.
Optische 3D-Oberflächen-Profiler ermöglichen die flächenhafte Erfassung von Mikro- und Nanostrukturen mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie liefern präzise Topografiedaten zur Bewertung von Stufenhöhen, Strukturtiefen, Ebenheit und relevanten Oberflächenparametern. Ergänzend erlauben mikroskopbasierte Vibrometer die zeitaufgelöste Analyse dynamischer Effekte wie Schwingungen, Resonanzen oder Verformungen von MEMS – vollständig berührungslos und mit hoher Messsicherheit.
Die Kombination aus statischer Topografie- und dynamischer Messung schafft ein umfassendes Verständnis von Struktur und Funktion mikro- und nanotechnologischer Systeme und unterstützt Forschung, Entwicklung sowie die qualitätsgesicherte Fertigung.
Optische Oberflächen-Profiler und Vibrometer für die Mikro- und Nanotechnologie
Macro Profiler
Pro.Surf-Systeme liefern schnelle, flächenbasierte 3D-Topografiemessungen mithilfe telezentrischer Optik. Damit lassen sich Ebenheit, Formabweichung, Parallelität und Stufenhöhen zuverlässig prüfen – sowohl über weite Messfelder als auch bei Innenmerkmalen in Bohrungen.
Micro Profiler
Micro.View-Systeme wurden für ultrahochauflösende Messungen bis in den Sub-Nanometerbereich entwickelt. Die Kombination aus fokussierter Optik und hoher vertikaler Auflösung erlaubt eine präzise Analyse von Mikrostrukturen, Oberflächenbeschaffenheit und Materialverteilung, insbesondere bei Anwendungen, bei denen selbst minimale Abweichungen relevant sind.
MSA-600 Micro System Analyzer
Das komplette optische Messsystem für die statische und dynamische 3D-Charakterisierung von MEMS-Bausteinen in der Mikrosystemtechnik - neu bis zu 8 GHz! Das MSA-600 beschleunigt die Entwicklung und Qualitätskontrolle in der Mikrosystemtechnik - auch für Tests auf Wafer-Level dank Kompatibilität zu kommerziell verfügbaren Probe-Stations.
Besprechen Sie Ihre Anforderungen mit unseren Experten
Gerne erfahren wir mehr über Ihre Bauteile, Toleranzen und Herausforderungen. Basierend darauf können wir Empfehlungen zu Technologien und Systemen geben. Oder wir zeigen Ihnen in einer kurzen Demo, wie einfach und effizient Messungen mit dem passenden Polytec Profilometer durchgeführt werden – entweder an unseren Komponenten oder direkt an Ihrem Bauteil.
