MEMS 压力传感器表面特性分析

依托 Polytec 丰富多元的表面测量系统，您能够高效、精准且稳定地攻克各类微纳技术难题。无论是测量芯片实验室里的通道深度，判定微机电系统封装上的台阶高度，检测压力传感器的平面度，还是通过表面参数剖析微机电系统，该系统都能大显身手。

甚至，针对射频滤波器开展动态的面外和面内测量，进而确定 MHz 级别的共振频率，如今在 Polytec 的 MSA 显微式激光测振仪系列助力下，也不过是轻松可就的常规操作。