微系統與MEMS的拓撲結構與動態特性分析微系統與MEMS的拓撲結構與動態特性分析
採用Polytec多功能表面測量系統，您能以高度精準、快速且可靠的方式完成微納科技任務。 您可量測晶片實驗室的溝槽深度、測定MEMS封裝的階梯高度、評估壓力感測器的平面度，並透過表面參數分析MEMS元件。如今，即使對射頻濾波器執行動態面外與面內測量以判定MHz級諧振頻率，對您而言也將是輕而易舉之事——這全仰仗Polytec的 MSA 微系統分析儀系列。
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大视场3D轮廓仪
Polytec大视场3D轮廓仪Pro.Surf系列，专为生产环境设计。远心光学与真拼接技术实现大面积形状、平面度快速测量，可选配粗糙度测量功能。单次视场44×33mm，70mm Z轴范围，支持自动化。提供四年保修及先试后买服务。
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随着微机电系统和MEMS快速发展，Polytec推出了高度创新的显微式测量系统产品线。Polytec的MSA系列显微式激光测振仪带宽可达数kHz，数MHz，甚至数GHz，以最高精度可靠地验证微系统的动力学特性和轮廓数据。MSA集多功能于一体，可用于确定传递函数、表征微器件的3D静态和动态特性，甚至可透过封装好的硅帽，获取其在工作条件下的整个层制结构。
