Mikroskopbasierte 3D-Profilometer

Micro.View – die mikroskopbasierten 3D-Profilometer

Modulare Produktlinie berührungsloser 3D-Oberflächenmesstechnik – von hochauflösenden Rauheitsmessung bis zu automatisierten Prüfroutinen. Auf Metallen, Polymeren, Glasoberflächen, egal ob glatt oder rau.

Mikroskopbasierte 3D-Oberflächenprofilmessgeräte. 4 Jahre Garantie!

Mikroskopbasierte Oberflächenprofiler werden für die hochauflösende, berührungslose 3D-Oberflächenmesstechnik eingesetzt, wenn es auf feine Details ankommt. Innerhalb dieser Kategorie zeichnet sich die Produktfamilie „ Micro.View“ durch eine Kombination aus Robustheit, Flexibilität und Präzision aus – selbst bei anspruchsvollen Materialien wie reflektierenden, dunklen, transparenten oder gemischten Oberflächen.

Die Produktfamilie „ Micro.View “ kombiniert optische Interferometrie mit Mikroskopoptik, um eine Vielzahl von Aufgaben im Bereich der Oberflächenmesstechnik zu lösen:

  • Hochaufgelöste Oberflächenrauheit und Strukturdetails mit höchster Präzision dank CSI Coherence Scanning Interferometrie und True Stitching
  • Wiederholbare und zuverlässige Qualitätskontrolle mit Focus Finder, Focus Tracker und Rezepturverwaltung
  • Flexible Anpassung an unterschiedliche Probengrößen und Materialien mit CST Continuous Scanning Technology, True Stitching und großer Auswahl an Objektiven (0.6X .. 111X)
  • In Labor und Produktion mit patentierter ECT Environmental Compensation Technology für verlässliche Ergebnisse trotz Störeinflüssen
3D Oberflächenmessgerät mit Objektiven

Die daraus resultierende Präzision, Robustheit und Flexibilität macht den Micro.View zu einer hervorragenden Wahl für Anwendungen in den Bereichen Feinmechanik, Optik und optische Komponenten, Halbleiter und Mikroelektronik, MEMS und Mikrosysteme, Materialforschung und Tribologie – sowohl in Labor- als auch in produktionsorientierten Umgebungen.

Einige wichtige Fakten

0,01
nm
hervorragende vertikale Auflösung
100
mm
nutzbarer Z-Verfahrweg und Scanbereich
0,6x – 111x
Objektive
für maximale FoV Flexibilität
Produkte

Welches ist das geeignete Micro.View Oberflächenmessgerät?

Micro.View profiler
Micro.View

Kompakter mikroskopbasierter 3D-Oberflächenprofiler für höchste Präzision.

  • Kostengünstiges System
  • Große Auswahl an Objektiven für spezifische Aufgaben
  • Geringer Platzbedarf auf dem Tisch
  • Patentiertes ECT für stabile Ergebnisse im Fertigungsumfeld

Ideal geeignet für die Präzisionsfertigung, F&E-Labore, Entwicklungsaufgaben und hochgenaue Oberflächeninspektionen im Maschinenbau.

Micro.View+ profiler
Micro.View+

Erweitert den Micro.View-Profiler um Farbbildgebung. Für mehr Einblicke und die Möglichkeit, automatisierte, bedienerunabhängige Arbeitsabläufe auszuführen.

  • Voll motorisiertes System mit Focus Tracker Funktion
  • QC-Rezeptverwaltung für unbeaufsichtigten Betrieb
  • Unterstützt große/hohe Proben (bis zu 370 mm)
  • Color View zur erweiterten Visualisierung und Defekterkennung
  • Inline- und Atline-Messfähigkeit

Die beste Wahl, wenn Farbbildgebung erforderlich ist und Automatisierungsfunktionen wichtig sind.

Oberflächenprofiler – Vergleich in technischen Daten

FunktionMicro.ViewMicro.View+
AuflösungSub-nmSub-nm
True StitchingJaJa
ProbenhöheBis zu 100 mmBis zu 370 mm (mit Distanzstücken)
TischeManuelle und motorisierte Tische (20, 75, 100 mm)
Manuelle und motorisierte Neigung/Kippung
Motorisiert 100 x 100 und 200 x 200 mm
Automatische Neigung/Kippung
Visualisierung
 
3D-Höhen-Daten (inverser Regenbogen)
 
3D-Höhen-Daten (inverser Regenbogen)
Color View als Hardware-Option
Objektive0,6x ..111x 
(Optionen mit langem Arbeitsabstand)
0,6x ..111x 
(Optionen mit langem Arbeitsabstand)
Automatisierung
  • Messrezepte
  • Positionierung
  • Erweiterter Fokus Finder
  • Wie Micro.View und zusätzlich:
  • Motorisierter (oder manueller) Revolver
  • Closed Loop mit Fokus Tracker
  • Sensor-Kopf Option für direkte Prozessintegration
Weitere InformationenDetails zu Micro.ViewDetails zu Micro.View+
Anwendungen

Oberflächenprofilierung – für Rauheit, Feinmechanik, Optik, Mikrostrukturen und MEMS

Nachfolgend finden Sie reale Ergebnisse aus typischen 3D-Oberflächenprofilierungsaufgaben – Rauheit, Ebenheit, Stufenhöhe, Textur und Tribologie – an typischen technischen Werkstoffen. Diese Beispiele stammen aus unseren Anwendungszentren, die Machbarkeitsstudien und Auftragsvermessungen für Kunden durchführen.

Roughness measurement of polished surface with 3D surface profiler
Prüfung auf Kratzer, Analyse der Rauheit von Optiken und präzisionsgefertigten Oberflächen
Flächenhafte Rauheit Sa, Sz, Sq... mit sub-nm Aufl
wafer topography measured by microscope-based 3D surface profiler
Messung am Wafer mit Stufenhöhe im nm Bereich
MEMS topography with microscope-based profilometer
Bewertung der Formparameter von MEMS, hier eines MEMS-Drucksensors
Zoom in microstructure
Mikrostrukturen und Mikroelektronik
Analysis of diffractive optical element
Analyse des diffraktiven optischen Elements des DOE
tribology analysis with 3D optical surface profiler
Tribologie-Analyse deckt Verschleiß auf

Wählen Sie mit Zuversicht den passenden Oberflächenprofiler – lassen Sie sich die Leistungsfähigkeit unserer Systeme live demonstrieren.

Schedule your demo of our surface profilometers and software
Funktionen

Integrierte Funktionen für hohe Präzision und effiziente Messvorgänge – auch in rauer Umgebung

Die Funktionen unserer mikroskopbasierten optischen 3D-Oberflächenprofilmessgeräte sind für die Messung von Präzisionskomponenten und feinen Oberflächendetails ausgelegt – egal ob im Labor oder in der Produktion:

  • Zuverlässige flächige Rauheitsmessung im sub-nm Bereich auf verschiedenen Materialien dank Smart Scanning Technology und Color View
  • Flexibles Sichtfeld für flexible Rauheitsanalysen – von 0,07 mm bis 15,5 × 11,7 mm (best in class)
  • True Stitching für höchste Genauigkeit bei großflächigen Bauteilen
  • Hoher Z-Messbereich von 100 mm bei voller Auflösung durch Continuous Scanning Technology (CST)
  • Rezeptbasierte Messabläufe und Focus Finder für reproduzierbare und wiederkehrende Messaufgaben
  • Konform zu aktuellen Normen wie ISO 21920, ISO 25178 sowie weiteren relevanten Oberflächenstandards
  • Bedienerunabhängige Arbeitsabläufe dank Focus Tracker und motorisierten X/Y/Z, Neige-/Kipp-Einheiten und Objektivrevolver.
  • Bereit für automatisierte Abläufe, dank modularer Bauweise, Workflows und standardisierten Schnittstellen

Die daraus resultierende Präzision, Robustheit und Flexibilität macht Micro.View ideal für Teams, die rückführbare, wiederholgenaue 3D-Oberflächendaten ohne komplizierte Einrichtung oder Umgebungsbeschränkungen suchen.

Micro.View Profilometer bei der Messung

Machbarkeits-untersuchung?

Senden Sie uns Ihr Muster zu, und wir führen mit unserem Profiler eine Machbarkeitsstudie durch und gehen die Ergebnisse mit Ihnen durch.

So erhalten Sie ein genaues Verständnis der Leistung des optischen Profilers an Ihren tatsächlichen Proben.

Verwandte Informationen

Unterschied zwischen den Rauheitsmessgeräten „ Micro.View “ und „Pro.Surf+“

Micro.View unterstützt zwar auch Form-, Ebenheits- und Stufenhöhenmessungen, seine Kernkompetenz liegt jedoch in der hochauflösenden 3D-Oberflächenrauheits- und Texturanalyse.

Der Pro.Surf+ verfolgt den umgekehrten Ansatz. Seine Stärke liegt in der Prüfung von Ebenheit, Parallelität und Form, aber er kann auch Oberflächenrauheitsanalysen mit einer lateralen Auflösung von 2,6 µm durchführen.

Micro.View Profilometer analysiert mehrere Bauteile

Besprechen Sie Ihre Anforderungen mit unseren Experten

Gerne erfahren wir mehr über Ihre Bauteile, Toleranzen und Herausforderungen. Basierend darauf können wir Empfehlungen zu Technologien und Systemen geben. Oder wir zeigen Ihnen in einer kurzen Demo, wie einfach und effizient Messungen mit dem passenden Polytec Profilometer durchgeführt werden – entweder an unseren Komponenten oder direkt an Ihrem Bauteil.

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