Prozesskontrolle beim Drahtbonden durch optische Messtechnik
Das Drahtbonden ist ein zentraler Fügeschritt in der Elektronik- und Halbleiterfertigung. Die Qualität der Drahtverbindungen beeinflusst maßgeblich die elektrische Funktion, mechanische Stabilität und Lebensdauer elektronischer Bauteile. Bereits kleinste Abweichungen bei Drahtlage, Bondhöhe oder Bondgeometrie können zu Kontaktproblemen oder vorzeitigem Ausfall führen.
Optische 3D-Oberflächenmesstechnik von Polytec unterstützt Hersteller dabei, Drahtbondprozesse zuverlässig zu überwachen. Sie ermöglicht eine berührungslose, flächenhafte Erfassung der relevanten Geometrieparameter – reproduzierbar, hochauflösend und sowohl im Labor als auch in der Produktion einsetzbar.
Typische Messaufgaben beim Drahtbonden
Mit optischer Oberflächenmesstechnik lassen sich unter anderem folgende Qualitätsmerkmale zuverlässig prüfen:
- Draht- und Bondhöhe
- Geometrie und Form der Bondpads
- Lagegenauigkeit und Positionierung der Drahtverbindungen
- Ebenheit und Koplanarität der Kontaktflächen
- Analyse von Bonddefekten und Prozessabweichungen
Die flächenhafte 3D-Erfassung liefert dabei deutlich mehr Information als rein profilbasierte Messverfahren und erleichtert die objektive OK/NOK-Bewertung.
Vorteile der flächenhaften 3D-Oberflächenanalyse
Im Vergleich zu klassischen taktilen oder rein zweidimensionalen Prüfmethoden bietet die optische 3D-Messtechnik entscheidende Vorteile:
- Berührungslose Messung empfindlicher Bondstrukturen
- Hohe Wiederholgenauigkeit auch bei komplexen Geometrien
- Flächenhafte Datengrundlage für belastbare Prozessanalysen
- Schnelle Integration in automatisierte Fertigungsabläufe
So lassen sich Prozessfenster enger definieren, Ausschuss reduzieren und die Gesamtqualität nachhaltig verbessern.
Messung der Klebstoffraupendicke, Film- und Schichtdicke in 3D-Messung
Passende Messsysteme für Drahtbond-Anwendungen
Micro Profilometer
Micro.View Profilometer messen Rauheit, Textur, Mikrostrukturen und Finish mit sub-nm Auflösung. Mit fokussierter Optik und hoher vertikaler Auflösung ermöglichen sie eine detaillierte Analyse der Oberflächenbeschaffenheit und Materialverteilung und dort, wo kleinste Details den Unterschied ausmachen.
Macro Profilometer
Pro.Surf prüft Ebenheit, Stufenhöhe und Parallelität an großen Bauteilen und Mehrfach-Trays – berührungslos, in Sekunden. Die kollisionsfreie telezentrische Optik misst selbst in Bohrungen, mit der Präzision und Wiederholgenauigkeit, die die Produktion verlangt.
Roughness Tester
Roughness Tester ist unser kosteneffizientes Rauheitsmessgerät aus der Micro.View-Serie. Für den einfachen Einstieg in die flächenhafte Rauheitsmessung - von Ra, Rz, Rq zu Sa Sz Sq!
