Dynamik und Topografie von MEMS berührungslos messen
Beim Testen und Entwickeln von Mikrostrukturen wie MEMS-Bauelementen (Micro-Electro-Mechanical Systems) sind Topografiemessungen sowie die Visualisierung der Dynamik unerlässlich – ob zur Validierung von FE-Berechnungen, um Übersprecheffekte zu ermitteln oder um Oberflächenverformungen sichtbar zu machen. Der MSA-600 Micro System Analyzer als all-in-one optische Messstation charakterisiert sowohl die Topografie als auch in-plane und out-of-plane Bauteilbewegungen.
Die Varianten MSA-600-M/V decken Frequenzbereiche bis zu 25 MHz ab - ideal geeignet für MEMS wie MEMS-Mikrofone und andere Mikrosysteme. Die Varianten MSA-600-X/U decken den hohen und sehr hohen Frequenzbereich bis 2,5 GHz ab - perfekt zur Validierung von HF-MEMS-Resonatoren, mikroakustischen Filtern wie SAW-Filter, BAW-Filter und mehr.
Highlights
- All-in-one optische Messstation für Mikrostrukturen
- Echtzeit-Response Schwingungsmessung ohne Post-Processing
- Varianten MSA-600-M/V mit bis zu 25 MHz
- Varianten MSA-600-X/U mit bis zu 2,5 GHz
- Unerreichte sub-pm Wegauflösung
- Schnelle Datenerfassung und Visualisierung der Schwingform
- Intuitive Bedienung
- Automatisierbar und integrierbar in Probe Stations
- Import- und Exportfunktionen zur Modellvalidierung
Wafer-level and single-die testing
Zubehör
Optisches Zubehör

A-MOB-xxxx Hellfeldobjektive
Für Schwingungsmessung. Verfügbare Vergrößerungen: 1x, 2x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x sowie 3.6x und 10x für lange Arbeitsabstände.
Stative, Teststände, Verstelleinheiten

A-STD-TST-01 Portalstativ
Stativlösung mit besonders großem Arbeitsraum mit Motorisierter z-Achse, Verfahrweg 200 mm.

A-STD-BAS-02 Basisstativ
Stabile Stativlösung inklusive manuellem Fokussiertrieb mit Grob- und Feintrieb, Verfahrweg 100 mm. Kompatibel mit handelsüblichen optischen Tischen.

A-STD-F50 Fokusblock
Manuelle Fokussierung mit Grob- und Feintrieb, Verfahrweg 50 mm. Zur Ankopplung des Messkopfes an handelsübliche Wafer Probe Stations.
Schwingungsisolierung, Optische Tische

A-TAB-AIR-01 Aktiv schwingungsgedämpfter Tisch
Mit Luftdämpfung und aktiver Niveauregulierung. Passend für A-STD-TST-01 Portalstativ und A-STD-BAS-02 Basisstativ.

A-TAB-ELC-01 Aktiv schwingungsgedämpfter Tisch
Elektronisch geregelt für besonders hohe Anforderungen. Passend für A-STD-TST-01 Portalstativ und A-STD-BAS-02 Basisstativ.

A-BBO-ME02 Breadboard
Mit metrischen Gewindebohrungen. Grundfläche 900 mm x 600 mm. Passend für A-STD-BAS-02 Basisstativ.

A-AVI-MELA Aktiv gedämpftes Breadboard
Mit metrischen Gewindebohrungen. Elektronisch geregelt für besonders hohe Anforderungen. Grundfläche 600 mm x 800 mm. Passend für A-STD-BAS-02 Basisstativ.
Weiteres Zubehör

A-ESG-001 Externer Signalgenerator
Zur hochfrequenten, breitbandigen Anregung des Messobjektes. Fernsteuerbar durch PSV Software.

A-SPK-0008 Wafer-Prober-Modul
Das Wafer-Prober-Modul bildet zusammen mit dem XY-Positioniertisch A-PST-200P eine motorisierte Plattform für die elektrische Kontaktierung und hochpräzise Vermessung von Wafern und Substraten mit bis zu 200 mm Durchmesser.

A-SPK-0010 Vakuum-Prober-Modul
Vakuum- und Entlüftungsleitungen. Mikromanipulator für die Handhabung von vier elektrischen Prüfspitzen.