Pro.Surf - 3D optical profilometer

Makro-Profilometer für großflächige 3D-Form- und Ebenheitsmessung 

Pro.Surf Macro Profilometer erfassen Form, Ebenheit, Parallelität und Stufenhöhen auch an großen Bauteilen, Trays, Bohrungen und vertieften Bereichen. Telezentrische Optik, großes Messfeld, 70 mm Z-Achse und True Stitching ermöglichen zuverlässige Messergebnisse in Qualitätskontrolle und Produktion. Pro.Surf+ erweitert die Plattform um eine integrierte Rauheitsmessung.

Form und Topografie mit großem Messfeld schneller erfassen. 4 Jahre Garantie inklusive.

Großflächige optische (Macro) Profilometer kommen zum Einsatz, wenn Form, Ebenheit und Stufenhöhen zuverlässig über große Messfelder geprüft werden müssen. Die Pro.Surf Linie kombiniert ein herausragendes Messfeld mit telezentrischer Optik und hoher Messgeschwindigkeit – ideal für präzise 3D-Oberflächenmessung im Produktionsumfeld und zur Qualitätskontrolle.

  • Schnelle, flächige Form- und Ebenheitsmessung mit großem Single-Shot-Messfeld (bis zu 44 × 33 mm) und True Stitching für größere Bauteile oder Trays
  • Zuverlässige Inspektion von Stufen, Bohrungen und Vertiefungen dank telezentrischer Optik und 70 mm großem vertikalen Scanbereich
  • Kombinierte Form- und Rauheitsmessung in einem - Pro.Surf+ mit integrierten chromatisch-konfokalen Rauheitssensor
  • Wiederholgenaue, rückführbare Qualitätskontrolle durch rezeptbasierte Arbeitsabläufe, Automatisierungsoptionen und ISO-konforme Auswertungen
  • Produktionsorientiertes Messen, unterstützt durch patentierte ECT Environmental Compensation Technology für stabile Messergebnisse im rauen Produktionsumfeld

Die Geschwindigkeit, Robustheit und Wiederholgenauigkeit machen Pro.Surf zu einer verlässlichen Lösung für Feinmechanik, Maschinenbau, Automobiltechnik, Optik, Halbleiterfertigung und Qualitätskontrolle – vor allem dort, wo enge Formtoleranzen und kurze Taktzeiten zusammenkommen.

Vorteile des Pro.Surf Profilers auf einen Blick 

Wide-area inspection
Largest field of view in class: 
up to 44 × 33 mm

Telecentric optics
Measure where others can´t - even in recessed areas / bores

Continuous scanning
Full vertical resolution (< 1.45 nm) along the 70 mm Z-axis

True Stitching
High accuracy at large area measurement 

No-Crash design
Without external moving parts
→ zero risk of crashing lenses 

DualView option
Check form parameters of both sides in one shot

Flexible access
Buy, rent or lease — or let us run the measurement

4-year warranty
With free software upgrades and profiler upgrade programs

Produktwahl

Welches Profilometer eignet sich am besten für Ihre großflächigen Messaufgaben?

Macro Profilometer wurden für die schnelle, berührungslose Form- und Ebenheitsprüfung an großen Bauteilen, Mehrfachteilen und Trays entwickelt. Mit telezentrischer Optik, einem großen Single-Shot-Sichtfeld und automatisierungsfähigen Workflows liefern Pro.Surf-Systeme zuverlässige 3D-Oberflächendaten direkt in Produktions- und Qualitätskontrollumgebungen.

Pro.Surf

Telezentrischer großflächiger optischer Profiler für schnelle, wiederholbare Form- und Ebenheitsprüfungen.

  • Großes Single-Shot-Messfeld für Trays und Mehrteil-Messungen
  • 70 mm Z-Bereich für große Stufen und vertiefte Merkmale 
  •  Auflösung im Nanometerbereich über den vollen Z-Bereich
  • True Stitching für hochpräzise großflächige Scans
  • Automatisierungsfähig durch Messrezepte und Barcode-Start

Ideal geeignet für die Qualitätskontrolle mit hohem Durchsatz, die Produktionsmesstechnik und die Formprüfung an großen Präzisionsbauteilen.

Pro.Surf+

Erweitert die großflächige Formprüfung um eine integrierte Rauheitsmessung – alles in einem System.

  • Enthält alle Pro.Surf-Funktionen sowie:
  • Integrierter chromatisch-konfokaler Rauheitssensor
  • Kombinierte Form- und Rauheitsmessung in einem einzigen Arbeitsablauf

Die beste Wahl, wenn Form und Oberflächenrauheit gemeinsam bewertet werden müssen, ohne dass Einstellungen oder Messstationen geändert werden müssen.

Metro.Lab

Die Metro.Lab-Plattform kombiniert großflächige Optik, einen großen Z-Bereich in einem kompakten Aufbau. 

  • Großes Messfeld (37 × 28 mm, mit Stitching 87 × 78 mm)
  • 70 mm vertikaler Z-Bereich mit hoher Auflösung 
  • Unterstützung des Bedieners durch Messrezepte und Barcode-Scanner-Konnektivität

Ideal geeignet für stichprobenhafte Messung von kleinen bis mittelgroßen Bauteilen. 

Anwendungen

Formbewertung und Ebenheitsmessungen

Nachstehend finden Sie reale Ergebnisse typischer Form- und Rauheitsmessungen. Diese Beispiele stammen aus unseren Anwendungszentren, die Machbarkeitsstudien und Auftragsvermessungen für Kunden durchführen.

Optical profilometer measurement: Sealing surface of piston
Zuverlässige Pass-Fail-Analyse zur Erkennung von Formabweichungen an einer Kolbendichtfläche
Ball Grid Array (BGA) mit nm-Auflösung, z. B. zur Prüfung von Spitzen-/Kugelhöhen, Form der Erhebungen oder Verformung/Ebenheit des Abstands
Flachheitsmessung an optischen oder Glaskomponenten, Freiformoptiken, Linsen oder Spiegeln
Optical Profilometer measurement: Flatness parallelism
Messung der Ebenheit und Parallelität auf großen Flächen
Pro.Surf Form and roughness measurement
Kombinierte Form- und Rauheitsprüfung
Optical Profilometer measurement: Hard drive disk waviness
Formabweichung, Ebenheit und Welligkeit einer Festplattenscheibe (HDD)

Finden Sie das richtige Messsystem für Ihre Projekte  - starten Sie mit einer Machbarkeitsstudie

Schedule your feasibility study with your sample
Funktionen

Großflächige Messtechnik mit branchenführendem Sichtfeld und telezentrischer Optik

Roughness sensor

Chromatic-confocal sensor with ≈400 µm vertical range, 2.6 µm lateral resolution, 10.8 mm working distance

Telecentric optic

Enabling parallel rays to the optical axis for constant magnification —enabling measurements near edges and into bores.

Automation with recipes

Sample recognition and pattern matching for tray scans; barcode start with automatic sample/recipe ID logging

Large Field of View (FoV)

Single-shot FoV up to 44.9 × 33.8 mm (1.91 Mpts). Built-in stitching extends the measurement area to ~228 × 221 mm for trays and larger components.

Big sample volume

Positioning volume up to 200 × 200 × 70 mm. Motorized XY and tip/tilt options

Kombinierte Form- und Rauheitsmessung in einem Vorgang (Pro.Surf+)

→ Messen Sie großflächige Form und Oberflächenrauheit mit dem Pro.Surf+

Der integrierte chromatisch-konfokale Sensor (400 µm Messbereich, ~2,6 µm laterale Auflösung, 10,8 mm Arbeitsabstand) ermöglicht Rauheitsmessungen in derselben Messstation. Typische Anwendungen beginnen ab Ra ≥ 100 nm.

  • Kombinieren Sie Form + Rauheit in einem Durchgang
  • Langer Arbeitsabstand für sichere Handhabung der Probe
True Stitching – Höhere Genauigkeit bei großen Bauteilen

→ True Stitching liefert unübertroffene Präzision beim Scannen großer Flächen

Da größere Oberflächen das Sichtfeld eines einzelnen Aufnahmegeräts überschreiten, werden die einzelnen Kacheln zu einem präzisen Datensatz zusammengefügt. Die messtechnische Qualität solcher großflächigen Messungen hängt von der Optik und der Sensortechnologie, der Anzahl der Kacheln und den Stitching-Algorithmen ab.

True Stitching liefert hochpräzise großflächige Messungen, indem es Stitching-Artefakte minimiert und die Geometrie beibehält.

Ein unabhängiger Vergleichstest an einer führenden deutschen technischen Universität untersuchte sechs optische Profilometer verschiedener Hersteller. Dabei zeigte das Polytec Profilometer die höchste Stitching- und Messqualität.

  • Großes Single-Shot-Sichtfeld → weniger Kacheln und Nähte, weniger kumulativer Fehler
  • Ausgefeilte Stitching-Algorithmen → kontrollierte Überlappung, robuste Registrierung und messtechnisch sichere Überblendung, die Stufen und Kanten beibehält
  • Für Pro.Surf: Telezentrische/CSI-Optik mit Korrelogramm-Auswertung → stabile Geometrie und Höhenwiedergabe über alle Kacheln hinweg

Das Ergebnis ist eine hochpräzise, großflächige Topografie mit weniger Artefakten und auditfähigen Restwerten – was wir als „True Stitching” bezeichnen.

WLI mit telezentrischer Optik

→ Gewährleistet präzise Geometrie - selbst in Bohrungen

Das rückverfolgbar kalibrierte WLI/CSI liefert berührungslose, flächige 3D-Daten mit einer vertikalen Auflösung im Nanometerbereich. Der telezentrische optische Ansatz hält die Strahlen parallel zur optischen Achse und sorgt so für eine konstante Vergrößerung und gleichmäßige Ausleuchtung über die gesamte Höhe – sogar Messungen in Bohrlöchern sind möglich.

  • Berührungslose, wiederholbare, schnelle Flächenscans
  • Phasen-/Hüllkurvenauswertung für glatte und raue Oberflächen
  • Intelligentes Oberflächen-/adaptives Scannen für unterschiedliche Reflektivitäten
  • Langlebige 525-nm-LED
Optik mit großem Messfeld (FoV)

→ Reduziert die Messzeit bei Komponenten und Fehler beim Stitching

Pro.Surf bietet ein breites Single-Shot-Messfeld von bis zu 44,9 × 33,8 mm (mit ~1,91 Millionen Punkten), sodass breitere Proben oder mehrere Teile in einer einzigen Erfassung gemessen werden können. Mit der integrierten Stitching-Funktion erweitert sich die Abdeckung auf bis zu ~228 × 221 mm und durch das große FoV reduziert sich die Anzahl der Shots pro Stitching-Prozess (schnellere und stabilere Messung).

  • Mehrere Proben gleichzeitig messen; automatische Probenerkennung verfügbar
  • Kurze Zykluszeiten; reduzierter Aufwand, weniger Fehler beim Stitching
ECT – Environment Compensation Technology

→ Stabilisiert die Ergebnisse in der Fertigung

Schwingungen, Vibrationen und Temperaturschwankungen können Messungen beeinträchtigen. ECT gleicht solche Störungen aus und sorgt für konsistente Daten – auch in der Fertigungsumgebung.

  • Verbessert die Zuverlässigkeit in rauen, instabilen Umgebungen
  • Ermöglicht Automatisierung und Inline-Qualitätskontrolle ohne vollständige Isolierung
  • Besonders hilfreich für empfindliche Komponenten (z. B. Präzisionsbauteile, MEMS, ...)
Automatisierbare Messung für höheren Durchsatz und Wiederholgenauigkeit

→ Ermöglicht unbeaufsichtigte, wiederholbare Messungen

Dank seines modularen Aufbaus und seiner Motorisierungsoptionen lässt sich das Profilometer Pro.Surf leicht automatisieren und in bestehende Prozesse und Maschinen integrieren. Eine Reihe von Funktionen und Fähigkeiten ermöglicht hocheffiziente und unbeaufsichtigte Messabläufe:

  • Pattern Matching und Smart Scanning Technology für Erkennung von Bauteilen
  • Motorisierte X-, Y-, Z- und Neigungs-/Kipptische
  • Großes Sichtfeld und True Stitching für hochauflösende Scans über große Flächen
  • Rezepte-Management in der TopMap Software ermöglichen das Abspeichern und Aufrufen von Messabläufen
  • Robustes Design ohne externe bewegliche Teile und ECT (Environment Compensation Technology)
"Pattern Matching" -  Erkennung von Bauteilen

Maschinelles Bildverarbeitungsprogramm, das Teile anhand einer Vorlage findet und registriert, sodass die Rezepte an den richtigen Stellen angewendet werden (auch wenn Teile verschoben oder gedreht sind). Dies reduziert die Kosten und den Handhabungsaufwand für Probenhalter und erleichtert die Messung. Ideal für Trays und Chargen-Messungen.

Smart Scan Technologie (SST) zur Erfassung unterschiedlicher Oberflächen

Erfassungsmodus, der sich an unterschiedliche Reflektivität/Kontraste anpasst, sodass Sie fast jede Oberfläche zuverlässig in einer einzigen Konfiguration messen können; enthalten in der TopMap Software.

Downloads

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Machbarkeitsprüfung?

Senden Sie uns Ihr Muster zu, und wir führen mit unserem Profiler eine Machbarkeitsstudie durch und erläutern Ihnen die Ergebnisse.

So erhalten Sie ein genaues Verständnis der Leistung des optischen Profilers an Ihren tatsächlichen Proben.

Besprechen Sie Ihre Anforderungen mit unseren Experten

Gerne erfahren wir mehr über Ihre Bauteile, Toleranzen und Herausforderungen. Basierend darauf können wir Empfehlungen zu Technologien und Systemen geben. Oder wir zeigen Ihnen in einer kurzen Demo, wie einfach und effizient Messungen mit dem passenden Polytec Profilometer durchgeführt werden – entweder an unseren Komponenten oder direkt an Ihrem Bauteil.

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