Optische Messtechnik für Mikrosysteme & MEMS

Angeregt durch die rasant wachsenden Einsatzbereiche und damit auch der Vielfalt Mikro-Elektro-Mechanischer Systeme (MEMS) präsentiert Polytec diese innovative Produktlinie an mikroskopbasierten optischen Messsystemen, um MEMS Dynamik und Topographie zu messen – von Kilohertz über Megahertz bis in den Gigahertz-Bereich hinein. Ob statische oder dynamische Charakterisierung von MEMS-Bausteinen oder sensiblen Mikrostrukturen bis hin zur Beschreibung derer Oberflächen - auch an verkapselten Mikrostrukturen – mit MSA Micro System Analyzern von Polytec messen sie berührungslos und rückwirkungsfrei.

Ihr PolyXpert für Vibrometrie