用于微纳米技术领域的高效产品开发
用于表征和监测器件质量的精确、可靠且快速的测量技术，在微系统的开发和生产中起着决定性作用。鉴于微传感器也越来越多地承担起与安全相关的任务——这对可靠性和功能安全提出了很高要求——这一点显得尤为重要。 在此方面，坚固的设计和高生产精度起着关键作用。对于MEMS致动器或传感器等有源微机电结构元件，仅靠纯电气表征是不够的，因此需要采用合适的光学测量方法。
Polytec的微系统分析仪正是为此而生的理想工具。 一方面，它们能够以高分辨率测定表面形貌；另一方面，也能对动态运动行为进行精确表征。基于激光多普勒振动测量的动态测量具有高频带宽和极佳的位移振幅分辨率。该测量技术可实现高达数兆赫兹（甚至吉赫兹）范围的振动测量——这正是日益增多的微技术应用所必需的。
激光测振仪关注微小细节
Polytec激光测振仪使用激光作为探测手段，无附加质量影响，带宽覆盖DC~GHz，非接触式测量生物医学样品、电子元件和微结构如MEMS等精密结构的振动、声学和动力学特性。Polytec激光测振仪可获取样品的频率响应并确定共振频率、脉冲响应和阻尼特性等，它可获取更多振动细节，振型可用于模型验证。 无论样品多大或多小- Polytec激光测振仪都是您的最佳选择!
显微结构的振动测量
Microstructure User Meeting 2027
Join our international community of MEMS and microstructure experts. The next Microstructure User Meeting will take place in November 2027 at Polytec headquarters in Waldbronn.
Explore the event topics, register your interest, and discover highlights, presentations and impressions from the successful 2026 meeting.