マイクロテクノロジーとナノテクノロジー

マイクロシステムの開発・製造において、デバイスの品質を評価・監視するための正確で信頼性の高い高速な測定技術は、決定的な意味を持ちます。マイクロセンサが安全関連のタスクを担うことが多くなり、信頼性と機能的安全性に高い要求があるため、このことはさらに重要です。この点では、堅牢な設計と高い製造精度が重要な役割を果たします。MEMS アクチュエータやセンサのようなアクティブな微小電気機械構造要素には、電気的特性評価だけでは不十分であるため、適切な光学測定手法が必要です。

ポリテックのマイクロシステムアナライザは、このような場合に最適です。ポリテックのマイクロシステムアナライザは、表面形状を高解像度で測定することができる一方、動的な運動挙動を正確に評価することができます。レーザドップラ振動計による動的計測は、高い周波数帯域幅と非常に優れた変位振幅分解能を特徴としています。この計測技術では、マイクロテクノロジーの分野で増え続けるアプリケーションに必要な、MHz帯域（さらにはGHz帯域）までの振動計測が可能です。