生物微机电系统(Bio MEMS)

适用于生物MEMS的精密振动测量解决方案

生物学与医学领域的MEMS特性表征

MEMS和微结构是适用于极其广泛的医疗和生物应用领域的关键基础及跨领域技术。其应用范围涵盖利用高频表面波进行快速医学诊断的“芯片实验室”应用,以及用于助听器的MEMS麦克风,还有基于微系统技术的用于医学成像的超声换能器。

您可以信赖Polytec 提供的基于显微镜的非接触式光学测量技术,用于测定医疗MEMS传感器和执行器的表面形貌及动态特性。基于显微镜的振动测量技术还被应用于仿生学领域的“技术转移”——即将自然系统中的原理应用于技术系统,例如用于测量昆虫听觉的生物力学特性。

医学影像、超声检查及血管内超声的应用

微加工超声换能器(pMUTs 和 cMUTs)正在推动实时三维医学成像(超声成像)领域的边界,其应用包括血管内超声(IVUS)和超声心动图等。 为了表征这些换能器元件的微力学特性,必须在高频(约10 MHz)和高空间分辨率(<1 μm)下进行测量。Polytec公司的微系统分析仪(Micro System Analyzer)提供了多种测量方案,能够以最高精度和非接触式方式为pMUT和cMUT的开发提供所需数据。

阿尔伯塔大学 cMUT 传感器阵列的位移分布图

声子表面声波器件的开发

声子表面声波器件在实现集成式床边诊断方面展现出巨大潜力,它利用声音携带的机械能,在低成本微芯片上对患者的液体样本进行操控。研究人员已证明,利用声学滤波器,仅凭一滴指尖采血即可检测疟疾[Reboud J. 等,《美国国家科学院院刊》(PNAS),2012,15162-7]。 激光振动测量是开发过程中不可或缺的工具,它能够可视化整个微芯片表面上的实际振动,从而验证我们的设计。未来,该平台将集成更复杂的检测方法,用于检测结核病等疾病。

振动计扫描揭示了声子锥中的振动振幅,该结构能够将能量聚焦在特定位置,Reboud J. 等,格拉斯哥大学

微观结构表征

相关产品与服务

MSA-600显微式激光测振仪

MSA-600显微式激光测振仪专为MEMS与微结构测量打造,集成三维静态与动态特性测试能力,是一款一体化光学测量解决方案。其在加速产品研发流程、强化质量管控方面表现出色,并可集成至商用探针台用于晶圆级测试。目前测量频率已扩展至8 GHz。

MSA-100-3D显微式激光测振仪

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使用MSA-060显微式激光测振仪,踏入微系统振动分析领域。该设备能够以激光级精度,对小型组件和微系统的振动及动力学特性进行全表面范围的记录和可视化,测量频率范围从直流(DC)到24 MHz。微系统分析仪利用测量激光,以完全非接触、非侵入的方式揭示小型组件的真实动力学特性。

MSA-650 IRIS显微式激光测振仪

这款创新且已获专利的MSA-650 IRIS显微式激光测振仪具备红外(IR)功能,可通过硅封装对面内和面外运动进行表征,无需接触即可测量高达25 MHz的真实MEMS动态特性,且无需对器件进行预处理或去封装。

MSA IRIS 测试服务

这项全新的专利测量技术,能对硅封装微机电系统(MEMS)开展全方位、极具代表性的分析工作,即便隔着硅封盖,也能精准测量其动力学特性。Polytec 的专业团队满怀热忱,期待接收您的封装 MEMS 样品,为您提供模态测试服务,深入进行可行性研究。无论您的封装微结构正处于开发、原型制作,亦或是生产的任一阶段,我们都能全程为您提供专业咨询 。

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