MEMS 可靠性与使用寿命的严苛测试
在各类设备与系统里，MEMS（微机电系统）传感器和执行器是关键功能元件，还常承担安全功能。这要求它们在系统全寿命周期内，即便面对严苛工况，也得保持可靠。
所以，新 MEMS 组件的验证必须模拟真实工况。科研人员借助真空或气候测试箱模拟压力负载、空气湿度，施加机械激励、辐射等刺激，还通过加速老化测试评估长期功能稳定性。
MEMS 区别于传统半导体元件，以可移动微机械组件为核心。在可靠性与寿命测试中，精准测量其动态机械系统特性的能力极为重要，这能为 MEMS 的优化设计与应用提供支撑。
真空环境下 MEMS 振动测量的高效解决方案
在对微机电系统（MEMS）于真空腔环境下开展振动测量工作时，德国 Polytec 公司的显微式激光测振仪堪称理想之选。这款测振仪精心配备了一应俱全的相关测量模式，能够全方位、精准地满足各类测量需求。
该测量系统具备高度的灵活性与多功能性，尤为值得一提的是，它支持安装具有大工作距离的特殊镜头。这一独特设计使得操作人员无需进入测试腔内部，便可在腔外对 MEMS 组件的静态和动态性能进行精确测量，极大地提升了操作的便捷性与安全性。
通过 Polytec MSA，研究人员能够深入探究环境压力对 MEMS 模块动态特性所产生的影响。在实际应用中，它既可以与真空腔协同作业，为 MEMS 组件在真空环境下的性能评估提供可靠数据；也能够与真空探针台配合使用，实现对晶圆级别的高精度测量。这种多样化的组合应用方式，使得 Polytec MSA 在不同的实验场景和测量需求下都能发挥出卓越的性能，为 MEMS 技术的研发和应用提供了强有力的技术支持 。
微型器件的振动测量
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