Microtecnología y nanotecnología

Una tecnología de medición precisa, fiable y rápida para caracterizar y supervisar la calidad de los dispositivos resulta decisiva en el desarrollo y la producción de microsistemas. Esto cobra aún mayor importancia dado que los microsensores asumen cada vez más tareas relacionadas con la seguridad, lo que plantea elevadas exigencias en cuanto a fiabilidad y seguridad funcional. Un diseño robusto y una alta precisión en la fabricación desempeñan un papel clave en este sentido. Los elementos estructurales microelectromecánicos activos, como los actuadores o sensores MEMS, requieren métodos de medición ópticos adecuados, ya que la caracterización puramente eléctrica no es suficiente.

PolytecLos sistemas de vibrometría láser Doppler ( Micro System Analyzer) son ideales para ello. Por un lado, permiten determinar la topografía de la superficie con una alta resolución y, por otro, también permiten caracterizar con precisión el comportamiento dinámico del movimiento. La medición dinámica mediante vibrometría láser Doppler se caracteriza por una amplia anchura de banda de frecuencias y una resolución de amplitud de desplazamiento extremadamente buena. Esta tecnología de medición permite realizar mediciones de vibración hasta el rango alto de los MHz (e incluso el rango de los GHz), algo que se requiere para un número cada vez mayor de aplicaciones microtecnológicas.