非接触式测量声表面波(SAW)

声表面波(SAW)滤波器是通过表面声波运作的电子器件,实际上是机械滤波器。其性能优越,可集成至高频应用中(如移动电话)。优化 SAW 表面微声学特性是研发 SAW 新部件的关键任务之一。 

由于频率高、声路径短、振幅小,声表面波的测量和可视化对测量技术要求非常高,激光测振仪是可用于该系统上为数不多的可用解决方案之一。

Polytec 激光多普勒测振仪,采用非接触式测量方法,几乎涵盖所有频率,快速输出的振型令人印象深刻,甚至可确定瞬态和弛豫特性。主要结果还可用于确定如滤波特性和性能损失(泄漏)等特性。

实际示例:

除用作电子滤波器外,SAWs 在微流体应用中也起到关键作用。在这方面,SAW 用于生物材料的定向液滴控制。Polytec 公司的超高频激光测振仪UHF-120,具有非接触式光学测量、频带宽和高分辨率等技术优势,当开发这种芯片实验室部件时,可使用其来确定部件的表面动态特性。

Microstructure characterization

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