测量MEMS系统的3D动态特性及形貌特性
表面形貌、动态特性分析及可视化是显微结构（如MEMS器件）测试和开发的关键。这对于验证有限元算法、确定串扰影响和测量表面形变等都至关重要。
MSA-600-M/V型的测量带宽高达25MHz，适用于MEMS、MEMS麦克风和其它微系统的振动测试。
全新研发的MSA-600-X/U型的测量带宽更是高达2.5GHz，尤其适用于高频MEMS谐振器、微声器件如SAW、BAW等振动测试。
全球首发: 全新推出的专业的光学测试工作站MSA-600-S终于和用户见面啦！MSA-600-S可用于结构振动测试和表面形貌测试。MSA-600-S可测试高频设备，如FBAR(薄膜体声谐振器)，以及其它GHz谐振器和设备。
亮点
- 专用于显微结构的一体化光学测量工作站
- 真正的实时测量（无需数据后处理）
- MSA-600-M/V 型测试频率高达25 MHz
- MSA-600-X/U 型测试频率高达2.5 GHz
- 新的 MSA-600-S 型测试频率高达6 GHz
- 亚pm级的位移分辨率
- 快速测量，振型可视化
- 操作简便、直观
- 自动化测试系统，易于集成至探针台
- 用于FE模型验证的导入/导出功能（选配）
基于MEMS系统的一体化光学测量解决方案
基于MEMS系统的MSA-600显微式激光测振仪，集多种测量功能于一体，其不仅能测量面内振动和面外振动，还能测量表面形貌。系统具有极高的灵活性和精度，以满足显微结构未来的发展需要。显微式激光测振仪可提供精确的三维动态和静态响应数据，在降低开发和制造成本的同时提高产品性能，从而缩短设计周期，简化故障处理，提高产品产量。
高性能激光多普勒测振仪能快速进行实时测量，位移分辨率达亚pm级。白光干涉仪可以在几秒钟内提供数以百万计的三维表面形貌数据。MSA-600的用户界面直观，操作简便，是一款用于研究、开发和质量控制的功能强大的光学测量系统。系统易于集成至常见的商用探针台上，从MEMS原型设计到测试和故障排除，其能在各个开发阶段给您提供帮助，从而降低生产成本并缩短产品上市时间。
专门针对MEMS的6 GHz测试解决方案
全新推出的专业的光学测试工作站MSA-600-S终于和用户见面啦！MSA-600-S可用于结构振动测试和表面形貌测试，最高频率高达6 GHz!是用于研发GHz设备、质量控制过程中的参数评估、以及测试器件性能和可靠性的不二之选。MSA-600-S可测试高频设备，如FBAR(薄膜体声谐振器)，以及其它GHz谐振器和设备。
晶圆级和单模测试
配件和组件
光学配件
A-MOB-xxxx Bright Field Objectives
For out-of-plane and in-plane vibration measurement. Available magnifications: 1x, 2x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x and 3.6x, 10x for large working distances.
三脚架，测试台，定位台
A-STD-TST-01 Test Stand
Test stand providing ample workspace. With motorized z-axis, travel range 200 mm.
A-STD-BAS-02 Base Stand
Rigid support for the sensor head. Includes manual focus block with 100 mm travel range with coarse and fine drive. Interfaces to commercially available optical tables.
A-STD-F50 Focus Block
Travel range 50 mm. With coarse and fine drive for manual z-axis adjustment of the sensor head. Interfaces with commercially available wafer probe stations.
隔震台，面包板
A-TAB-AIR-01 Active Vibration Isolation Table
Air-damped vibration isolation table with active level adjustment. Compatibility: A-STD-TST-01 Test Stand, A-STD-BAS-02 Base Stand.
A-TAB-ELC-01 Active Vibration Isolation Table
Electronically controlled voice coil stabilization for highest isolation performance. Compatibility: A-STD-TST-01 Test Stand, A-STD-BAS-02 Base Stand.
A-BBO-ME02 Breadboard
Breadboard with metric hole pattern. Footprint 900 mm x 600 mm. Compatibility: A-STD-BAS-02 Base Stand.
A-AVI-MELA Active Vibration Isolation Breadboard
Electronically controlled for highest vibration isolation performance. With metric hole pattern. Footprint 600 x 800 mm. Compatibility: A-STD-BAS-02 Base Stand.
其它
A-ESG-001 External Signal Generator
For high frequency, broadband sample excitation. Remotely controllable by PSV Software.
A-SPK-0008 Wafer Prober Module
Together with the A-PST-200P XY Positioning Stage, the wafer prober module forms a motorized platform for electrical contacting and high-precision measurement of wafers and substrates up to 200 mm in diameter.
A-SPK-0010 Vacuum Prober Module
Vacuum and purge lines. Micro manipulator for handling of four electrical probes.
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PSV软件是每个Polytec全场扫描式激光测振仪测试系统的核心。PSV软件功能强大，操作简单，迅速采集、显示和编辑振动测试数据，预安装于所有的PSV扫描式激光测振仪。PSV软件还用于所有的MSA显微式激光测振仪或基于工业机器人的自动化测振站RoboVib®。