测量MEMS微机构的动态特性和形貌
在微机电系统（MEMS）等微结构的测试与研发进程中，表面形貌分析以及动态特性解析与可视化发挥着极为关键的作用。这些技术对于验证有限元计算结果、判定串扰效应以及精准测量表面变形而言，堪称不可或缺的重要手段。MSA-600 显微式激光测振仪作为一款集多功能于一体的光学测量工作站，能够精准表征表面形貌以及面内和面外振动特性。
MSA-600-M/V 的测量频率可达 25MHz，特别适配于微机电系统、微机电系统麦克风及其他各类微系统。而 MSA-600-X/U 的测量频率可达2.5 GHz，对于高频微机电系统谐振器、声表面波（SAW）、体声波（BAW）等微声学器件以及更多相关器件的评估工作，无疑是理想之选。
首演：
MSA-600-S 作为一款专业级光学测量工作站，专用于高达 8 GHz的微器件的实时振动分析以及表面形貌测量。它堪称测试薄膜体声波谐振器（FBAR）、体声波（BAW）滤波器、表面声波（SAW）器件等 GHz 级微机电系统（MEMS）的理想之选 。
亮点
- 专用于显微结构的一体化光学测量工作站
- 真正的实时测量（无需数据后处理）
- MSA-600-M/V 型测试频率高达25 MHz
- MSA-600-X/U 型测试频率高达2.5 GHz
- 新的 MSA-600-S 型测试频率高达8 GHz
- 亚pm级的位移分辨率
- 快速测量，振型可视化
- 操作简便、直观
- 自动化测试系统，易于集成至探针台
- 用于FE模型验证的导入/导出功能（选配）
基于MEMS系统的一体化光学测量解决方案
基于MEMS系统的MSA-600显微式激光测振仪，集多种测量功能于一体，极大地提升了测量的灵活性与精准度，足以从容应对当下以及未来微结构的多样化测量需求。它能够精准输出三维动态及静态响应数据，不仅能显著增强器件性能，还可有效削减开发与制造成本。借助这些优势，它能够优化并大幅缩短设计周期，简化故障排查流程，显著提高良品率。
这款仪器搭载的高性能激光多普勒测振仪，响应速度极快，能够实时进行测量，位移分辨率可达亚 pm 级，其配备的白光干涉仪选件更是表现卓越，短短数秒内就能获取数百万个三维表面形貌数据点。MSA-600 操作流程简洁，用户界面设计直观，在科研、产品开发（R&D）以及质量控制（QC）等诸多领域，都是极具实力的光学测量解决方案。该微系统分析仪可与常见的探针台无缝兼容，在 MEMS 从原型制作到测试、故障排查的整个开发过程中，都能提供有力支持，助力您有效降低生产成本，大幅缩短产品推向市场的时间。
专门针对MEMS的8 GHz测试解决方案
全新推出的专业的光学测试工作站MSA-600-S终于和用户见面啦！MSA-600-S可用于结构振动测试和表面形貌测试，最高频率高达8 GHz!是用于研发GHz设备、质量控制过程中的参数评估、以及测试器件性能和可靠性的不二之选。MSA-600-S可测试高频设备，如FBAR(薄膜体声谐振器)，以及其它GHz谐振器和设备。
晶圆级和单模测试
配件和组件
光学配件
A-MOB-xxxx 明场物镜
用于面外和面内振动测量：放大倍数可选 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x
三脚架，测试台，定位台
A-STD-TST-01 测试台
给客户足够的工作空间，z 轴电动控制，行程范围达 200 mm
A-STD-BAS-02 基座台
该设备为光学头提供坚固可靠的支撑。其所配置的手动调焦模块行程可达 100 mm，同时设有粗调与微调两种驱动方式，能满足不同精度要求的调焦操作。此外，该设备还设有接口，可便捷地与市面上常见的光学平台连接 。
A-STD-F50 调焦模块
行程范围 50 mm。具备粗调和微调功能，用于手动对传感器头进行 z 轴方向的调节。可与市面上现有的晶圆探针台连接。
隔振台，面包板
A-TAB-AIR-01 主动隔振台
配备主动水平调节功能的空气阻尼隔振台。适配于：A-STD-TST-01 测试台、A-STD-BAS-02 基座台。
A-TAB-ELC-01 主动隔振台
采用电子控制的音圈稳定装置，具有最高的隔振性能。适配于：适用于 A-STD-TST-01 测试台、A-STD-BAS-02 基座台。
A-BBO-ME02 面包板
带有公制孔位图案的面包板。尺寸规格为 900 mm ×600 mm。适配于 A-STD-BAS-02 基座台。
A-AVI-MELA 主动隔振面包板
通过电子控制以实现最高的隔振性能，带有公制孔位图案。尺寸规格为 600 mm ×800 mm。适配于 A-STD-BAS-02 基座台。
其它
A-ESG-001 外部信号发生器
用于高频、宽带样品激励。可通过 PSV 软件 进行远程控制。
A-SPK-0008 晶圆探针台模块
晶圆探针台模块搭配 A-PST-200P XY 定位台，共同构建起一个电动操作平台。该平台能够针对直径最大可达 200 毫米的晶圆以及基板，实现电气连接操作，并完成高精度测量任务 。
A-SPK-0010 真空探测模块
设有真空管道与吹扫管道，搭配可对四根电探针进行精准操控。
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