MEMS及微结构的动态响应与拓扑结构测量
表面形貌以及动态运动的分析与可视化，是测试和开发微结构（如MEMS器件，即微机电系统）的关键。这些技术对于验证有限元计算结果、确定串扰效应以及测量表面变形而言不可或缺。MSA-600显微式激光测振仪是一款集多功能于一体的光学测量工作站，可用于表征表面形貌以及面内和面外运动。
MSA-600-M/V 系列覆盖高达 25 MHz 的频率范围，非常适合 MEMS、MEMS 麦克风及其他微系统。MSA-600-X/U 系列覆盖高达 2.5 GHz 的高频和超高频范围，非常适合评估高频 MEMS 谐振器、声表面波 (SAW)、声骨传导 (BAW) 等微声学器件。
首发：
MSA-600 -S 是一款专为8 GHz实时振动分析和表面形貌分析设计的光学测量工作站。非常适合测试 GHz 级 MEMS 器件，如 FBAR（薄膜体声波谐振器）、BAW（体声波）滤波器和 SAW（表面声波）器件。
亮点
//- 微结构一体化光学测量工作站
- 实时响应测量（无需后期处理）
- MSA-600 型号——M/V型，最高支持25 MHz
- MSA-600-X/U 系列，最高主频 2.5 GHz
- 全新MSA-600-S，最高支持8 GHz
- 无与伦比的亚微米级位移分辨率
- 挠度形状的快速测量与可视化
- Str操作简单直观
- 可轻松集成到探针台的自动化系统
- 有限元模型验证的导入/导出选项
适用于MEMS的一体化光学测量解决方案
MSA-600显微式激光测振仪提供了更高的测量灵活性和精度，能够满足当今及未来微结构的需求。该微系统分析仪可提供精确的3D动态和静态响应数据，在提升器件性能的同时降低开发和制造成本。因此，它能够优化并缩短设计周期，简化故障排查，并提高良率。
这款高性能多普勒激光测振仪可提供快速的实时响应测量，位移分辨率达亚皮米级。而白光干涉仪选件可在数秒内提供数百万条三维表面数据。凭借其简便的操作和直观的用户界面，MSA-600 成为科研、研发（R&D）和质量控制（QC）领域中功能强大的光学测量解决方案。 该微系统分析仪与常见的探针台兼容，可协助您完成从MEMS原型制作到测试及故障排查的各个开发阶段，从而帮助您降低生产成本并缩短产品上市时间。
专为 GHz 级 MEMS 设计的 8 GHz 测试解决方案
MSA-600-S 是首屈一指的专业光学测量工作站，可进行高达8 GHz 的振动分析和表面特性表征！MSA-600-S 适用于 GHz 级器件的开发、基于形状参数评估的质量控制，以及器件性能和可靠性测试。这使得对 FBAR（薄膜体声谐振器）等高频器件，以及其他 GHz 级谐振器和器件进行测试成为可能。
晶圆级和单芯片测试
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