MEMS及微结构的动态响应与拓扑结构测量
表面形貌以及动态运动的分析与可视化，是测试和开发微结构（如MEMS器件，即微机电系统）的关键。这些技术对于验证有限元计算结果、确定串扰效应以及测量表面变形而言不可或缺。MSA-600显微式激光测振仪是一款集多功能于一体的光学测量工作站，可用于表征表面形貌以及面内和面外运动。
MSA-600-M/V 系列覆盖高达 25 MHz 的频率范围，非常适合 MEMS、MEMS 麦克风及其他微系统。MSA-600-X/U 系列覆盖高达 2.5 GHz 的高频和超高频范围，非常适合评估高频 MEMS 谐振器、声表面波 (SAW)、声骨传导 (BAW) 等微声学器件。
首发：
MSA-600 -S 是一款专为8 GHz实时振动分析和表面形貌分析设计的光学测量工作站。非常适合测试 GHz 级 MEMS 器件，如 FBAR（薄膜体声波谐振器）、BAW（体声波）滤波器和 SAW（表面声波）器件。
亮点
//- 微结构一体化光学测量工作站
- 实时响应测量（无需后期处理）
- MSA-600 型号——M/V型，最高支持25 MHz
- MSA-600-X/U 系列，最高主频 2.5 GHz
- 全新MSA-600-S，最高支持8 GHz
- 无与伦比的亚微米级位移分辨率
- 挠度形状的快速测量与可视化
- Str操作简单直观
- 可轻松集成到探针台的自动化系统
- 有限元模型验证的导入/导出选项
适用于MEMS的一体化光学测量解决方案
MSA-600显微式激光测振仪提供了更高的测量灵活性和精度，能够满足当今及未来微结构的需求。该微系统分析仪可提供精确的3D动态和静态响应数据，在提升器件性能的同时降低开发和制造成本。因此，它能够优化并缩短设计周期，简化故障排查，并提高良率。
这款高性能多普勒激光测振仪可提供快速的实时响应测量，位移分辨率达亚皮米级。而白光干涉仪选件可在数秒内提供数百万条三维表面数据。凭借其简便的操作和直观的用户界面，MSA-600 成为科研、研发（R&D）和质量控制（QC）领域中功能强大的光学测量解决方案。 该微系统分析仪与常见的探针台兼容，可协助您完成从MEMS原型制作到测试及故障排查的各个开发阶段，从而帮助您降低生产成本并缩短产品上市时间。
专为 GHz 级 MEMS 设计的 8 GHz 测试解决方案
MSA-600-S 是首屈一指的专业光学测量工作站，可进行高达8 GHz 的振动分析和表面特性表征！MSA-600-S 适用于 GHz 级器件的开发、基于形状参数评估的质量控制，以及器件性能和可靠性测试。这使得对 FBAR（薄膜体声谐振器）等高频器件，以及其他 GHz 级谐振器和器件进行测试成为可能。
晶圆级和单芯片测试
配件和组件
A-MOB-xxxx 明场物镜
适用于面外和面内振动测量。可选放大倍率：1x、2x、5x、10x、20x、50x、100x，以及适用于大工作距离的3.6x和10x。
A-STD-TST-01 测试台
该测试台提供宽敞的工作空间。配备电动Z轴，行程范围为200毫米。
A-STD-BAS-02 底座支架
传感器头的刚性支撑。包含一个行程范围为100毫米、带粗调和微调机构的手动对焦块。可与市售光学平台对接。
A-STD-F50 聚焦块
行程范围为 50 毫米。配备粗调和微调机构，用于手动调节传感器头在 Z 轴方向的位置。可与市售的晶圆探针台对接。
A-TAB-AIR-01 主动减振台
带主动高度调节功能的空气阻尼减振台。兼容型号：A-STD-TST-01 测试台、A-STD-BAS-02 底座。
A-TAB-ELC-01 主动减震台
电子控制音圈稳定系统，可实现最佳隔离性能。兼容型号：A-STD-TST-01 测试架、A-STD-BAS-02 底座。
A-BBO-ME02 面包板
采用公制孔距的面包板。占地面积为 900 毫米 × 600 毫米。兼容型号：A-STD-BAS-02 底座支架。
A-AVI-MELA 主动减振面包板
采用电子控制，实现最佳的振动隔离性能。配备公制孔位布局。占地面积 600 x 800 毫米。兼容型号：A-STD-BAS-02 底座支架。
A-ESG-001 外部信号发生器
适用于高频、宽带样品激发。可通过PSV Software 进行远程控制。
A-SPK-0008 晶圆测试模块
该晶圆测试模块与 A-PST-200P XY 定位台配合使用，可构成一个电动平台，用于直径最大为 200 毫米的晶圆和基板进行电气接触及高精度测量。
A-SPK-0010 真空探针模块
真空和吹扫管路。用于操作四个电极探针的微操作器。
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