MEMS 和微系统的3D 振动测量
实物振动通常是三维振动。诚然，您可选择优先显示某特定方向的振动，但由于存在产品公差和其它影响，其它空间方向也会产生运动分量。 MSA-100-3D 显微系统分析可在大带宽范围内实时测量样本的动态特性，高分辨率同时记录和分析XYZ三个方向的振动分量，每向的振幅分辨率均达到亚皮米级。
亮点
- 实时振动测量，高达 25 MHz 的大带宽
- 用于面外和面内振动测量，振幅分辨率达亚皮米级
- 单点式和全场扫描式振动测量
- 激光光斑小于 4光斑，横向分辨率极高
- 测试距离大，可达38 mm
- 可与普通 MEMS 探针测试台兼容
因为在3D 真实的生活中运动
因激光光斑极小，所以横向分辨率极高，且带宽高达 25 MHz，Polytec的MSA-100-3D 是用于微机电传感器和致动器 (MEMS) 以及其他微结构的振动测量的理想设备。通过软件移动样品，MSA-100-3D 完成样品整个表面的振动分析，然后以图形方式显示振型。
配件和组件
三脚架，测试台，定位台
A-STD-TST-01 测试台
测试台提供充足的工作空间。Z向电动控制，行程200mm。
A-STD-BAS-02 底座
刚性支撑光学头，手动聚焦，100mm行程范围，能粗调和微调。带商用光学桌面的接口。
A-STD-F50聚焦模块
行程范围50 mm. 可手动调节Z向位置，可粗调和微调。带商用晶圆探针台的接口。
隔震台，面包板
A-TAB-AIR-01 主动隔振台
带有主动水平调节的空气阻尼隔振台。兼容：A-STD-TST-01测试台，A-STD-BAS-02底座。
A-TAB-ELC-01主动隔振台
音圈电机控制，最优隔离性能。 兼容：A-STD-TST-01 测试台，A-STD-BAS-02底座。
A-WST-001 工作台
与Polytec公司的A-TAB-AIR-01和A-TAB-ELC-01主动隔振台搭配使用的工作台。
A-BBO-ME02面包板
带米制安装孔面包板。尺寸 900 mm x 600 mm。兼容： A-STD-BAS-02 底座。
A-AVI-MELA 主动隔振面包板
电动控制，隔振性能最优。带米制安装孔。尺寸600 x 800mm。兼容：A-STD-BAS-02底座。
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