MEMS 和微系统的3D 振动测量
在实际工况下，物体的振动普遍呈现三维特性。虽然振动往往存在主导方向，但由于生产过程中不可避免的公差以及其他各类因素的影响，物体在其它空间维度同样会产生运动分量。 MSA-100-3D 显微式激光测振仪为您提供一体化的分析手段，能够在大带宽范围内对样品的动态特性进行实时、全面的剖析。
MSA-100-3D 具备卓越的性能，可同时以高分辨率记录三个空间方向的振动分量，并将这些数据整合为一个完整的记录进行深度分析。无论振动方向如何复杂多变， MSA-100-3D 都能精准实现激光测振仪特有的亚 pm 级的振幅分辨率，为您的研究与测试工作提供高精度的数据支持 。
亮点
- 实时振动测量，高达 25 MHz 的大带宽
- 用于面外和面内振动测量，振幅分辨率达亚皮米级
- 单点式和全场扫描式振动测量
- 激光光斑小于 4光斑，横向分辨率极高
- 测试距离大，可达38 mm
- 可与普通 MEMS 探针测试台兼容
在真实世界中，一切皆呈三维形态
Polytec公司的 MSA-100-3D 光斑极小，可实现高横向分辨率，频率带宽高达 25 MHz，堪称对微机电传感器与执行器（MEMS）、其它各类微结构以及生物样本进行特性分析的不二之选。为达成全场特性分析， MSA-100-3D 借助软件对样品进行全场扫描，进而以直观的图形形式呈现样品的振型，实现对样品整个表面的精准剖析 。
配件和组件
三脚架，测试台，定位台
A-STD-TST-01 测试台
给客户足够的工作空间，z 轴电动控制，行程范围达 200 mm
A-STD-BAS-02 基座台
该设备为光学头提供坚固可靠的支撑。其所配置的手动调焦模块行程可达 100 mm，同时设有粗调与微调两种驱动方式，能满足不同精度要求的调焦操作。此外，该设备还设有接口，可便捷地与市面上常见的光学平台连接 。
A-STD-F50 调焦模块
行程范围 50 mm。具备粗调和微调功能，用于手动对传感器头进行 z 轴方向的调节。可与市面上现有的晶圆探针台连接。
隔振台，面包板
A-TAB-AIR-01 主动隔振台
配备主动水平调节功能的空气阻尼隔振台。适配于：A-STD-TST-01 测试台、A-STD-BAS-02 基座台。
A-TAB-ELC-01 主动隔振台
采用电子控制的音圈稳定装置，具有最高的隔振性能。适配于：适用于 A-STD-TST-01 测试台、A-STD-BAS-02 基座台。
A-WST-001 工作台
与 A-TAB-AIR-01 和 A-TAB-ELC-01 主动隔振台搭配使用。
A-BBO-ME02 面包板
带有公制孔位图案的面包板。尺寸规格为 900 mm ×600 mm。适配于 A-STD-BAS-02 基座台。
A-AVI-MELA 主动隔振面包板
通过电子控制以实现最高的隔振性能，带有公制孔位图案。尺寸规格为 600 mm ×800 mm。适配于 A-STD-BAS-02 基座台。
相关产品
MSA-650 IRIS 显微式激光测振仪
Polytec全新的最先进的且已获得专利技术的MSA-650 IRIS显微式激光测振仪，是目前世界上唯一能透过硅封装结构（无需拆除硅帽）获取硅器件面内和面外动态特性的系统，测试带宽覆盖DC~25 MHz。
MSA-600 显微式激光测振仪
MSA-600 显微式激光测振仪专为 MEMS 及显微结构测量而打造，是一款能够获取三维静态与动态特性的一体化光学测量解决方案。它在加速产品开发流程、优化产品质量控制方面表现卓越，甚至可集成至商用探针台，用于晶圆级测试。目前，该仪器的性能已提升至高达 8 GHz。
MSA-060显微式激光测振仪
MSA-060显微式激光测振仪是一款紧凑型光学测量系统，用于全面评估MEMS和微系统的振动特性、精密机械动力学和电子产品的可靠性，测试带宽覆盖DC~24MHz。 系统采用激光作为探测手段，以非接触、无损检测方式帮助用户获取被测微型元器件的动力学特性。
PSV 软件
PSV 软件作为每一套 Polytec 全场扫描式激光测振仪测试系统的核心组件，功能极为强大，同时操作简便。它能够快速完成振动测试数据的采集、显示与编辑工作，并且在所有 PSV 扫描式激光测振仪中均已预先安装。此外，PSV 软件的应用范围广泛，还适用于所有 MSA 显微式激光测振仪，以及基于工业机器人的自动化测振站 RoboVib® ，为各类振动测量工作提供了统一且高效的软件支持平台 。