MEMS和微系统的三维振动测量
实物振动通常是三维的。虽然确实可以显示主要振动方向，但制造公差和其他因素也会导致其他空间方向上的振动分量。您可以使用MSA-100-3D显微式激光测振仪，以综合方式、在宽带宽范围内实时分析样品的动态行为。三个空间方向上的振动分量均以高分辨率同时记录，并作为集成数据记录进行分析。 无论振动方向如何，您都能获得激光振动计典型的亚皮米级振幅分辨率。
亮点
//- 实时振动测量，带宽高达 25 MHz
- 对面外和平面内位移均具有亚皮米级振幅分辨率
- 单点测量和全场测量
- 小于 4 μm 的微小激光光斑可实现最高的横向分辨率
- 38 毫米的大间距
- 与常见的MEMS探针台兼容
因为现实生活是三维的
凭借微米级激光光斑带来的高横向分辨率以及高达 25 MHz 的频率带宽，Polytec （MSA-100-3D ）是表征微机电传感器和执行器（MEMS）、其他微结构以及生物样本的理想测量设备。
为了实现全场表征，MSA-100-3D 通过软件扫描样品，随后以图形方式呈现挠曲形状，从而对样品的整个表面进行分析。
Microstructure User Meeting 2027
Join our international community of MEMS and microstructure experts. The next Microstructure User Meeting will take place in November 2027 at Polytec headquarters in Waldbronn.
Explore the event topics, register your interest, and discover highlights, presentations and impressions from the successful 2026 meeting.
配件和组件
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