MEMS和微系统的三维振动测量
实物振动通常是三维的。虽然确实可以显示主要振动方向，但制造公差和其他因素也会导致其他空间方向上的振动分量。您可以使用MSA-100-3D显微式激光测振仪，以综合方式、在宽带宽范围内实时分析样品的动态行为。三个空间方向上的振动分量均以高分辨率同时记录，并作为集成数据记录进行分析。 无论振动方向如何，您都能获得激光振动计典型的亚皮米级振幅分辨率。
亮点
//- 实时振动测量，带宽高达 25 MHz
- 对面外和平面内位移均具有亚皮米级振幅分辨率
- 单点测量和全场测量
- 小于 4 μm 的微小激光光斑可实现最高的横向分辨率
- 38 毫米的大间距
- 与常见的MEMS探针台兼容
因为现实生活是三维的
凭借微米级激光光斑带来的高横向分辨率以及高达 25 MHz 的频率带宽，Polytec （MSA-100-3D ）是表征微机电传感器和执行器（MEMS）、其他微结构以及生物样本的理想测量设备。
为了实现全场表征，MSA-100-3D 通过软件扫描样品，随后以图形方式呈现挠曲形状，从而对样品的整个表面进行分析。
配件和组件
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