MEMS 和微系统的3D 振动测量
在实际工况下，物体的振动普遍呈现三维特性。虽然振动往往存在主导方向，但由于生产过程中不可避免的公差以及其他各类因素的影响，物体在其它空间维度同样会产生运动分量。 MSA-100-3D 显微式激光测振仪为您提供一体化的分析手段，能够在大带宽范围内对样品的动态特性进行实时、全面的剖析。
MSA-100-3D 具备卓越的性能，可同时以高分辨率记录三个空间方向的振动分量，并将这些数据整合为一个完整的记录进行深度分析。无论振动方向如何复杂多变， MSA-100-3D 都能精准实现激光测振仪特有的亚 pm 级的振幅分辨率，为您的研究与测试工作提供高精度的数据支持 。
亮点
//- 实时振动测量，高达 25 MHz 的大带宽
- 用于面外和面内振动测量，振幅分辨率达亚皮米级
- 单点式和全场扫描式振动测量
- 激光光斑小于 4光斑，横向分辨率极高
- 测试距离大，可达38 mm
- 可与普通 MEMS 探针测试台兼容
在真实世界中，一切皆呈三维形态
Polytec公司的 MSA-100-3D 光斑极小，可实现高横向分辨率，频率带宽高达 25 MHz，堪称对微机电传感器与执行器（MEMS）、其它各类微结构以及生物样本进行特性分析的不二之选。为达成全场特性分析， MSA-100-3D 借助软件对样品进行全场扫描，进而以直观的图形形式呈现样品的振型，实现对样品整个表面的精准剖析 。
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Solutions for MEMS testing using Laser Vibrometry
March 24, 2026 at 11 AM PST
附件和选配件
A-STD-TST-01 Test Stand
Test stand providing ample workspace. With motorized z-axis, travel range 200 mm.
A-STD-BAS-02 Base Stand
Rigid support for the sensor head. Includes manual focus block with 100 mm travel range with coarse and fine drive. Interfaces to commercially available optical tables.
A-STD-F50 Focus Block
Travel Range 50 mm. With coarse and fine drive for manual z-axis adjustment of the sensor head. Interfaces with commercially available wafer probe stations.
A-TAB-AIR-01 Active Vibration Isolation Table
Air-damped vibration isolation table with active level adjustment. Compatibility: A-STD-TST-01 Test Stand, A-STD-BAS-02 Base Stand.
A-TAB-ELC-01 Active Vibration Isolation Table
Electronically controlled voice coil stabilization for highest isolation performance. Compatibility: A-STD-TST-01 Test Stand, A-STD-BAS-02 Base Stand.
A-WST-001 Workstation
Workstation for use with Polytec's A-TAB-AIR-01 and A-TAB-ELC-01 Active Vibration Isolation Tables.
A-BBO-ME02 Breadboard
Breadboard with metric hole pattern. Footprint 900 mm x 600 mm. Compatibility: A-STD-BAS-02 Base Stand.
A-AVI-MELA Active Vibration Isolation Breadboard
Electronically controlled for highest vibration isolation performance. With metric hole pattern. Footprint 600 x 800 mm. Compatibility: A-STD-BAS-02 Base Stand.
A-SPK-0008 Wafer Prober Module
Together with the A-PST-200P XY Positioning Stage, the wafer prober module forms a motorized platform for electrical contacting and high-precision measurement of wafers and substrates up to 200 mm in diameter.
A-SPK-0010 Vacuum Prober Module
Vacuum and purge lines. Micro manipulator for handling of four electrical probes.
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