MEMS和微系统的三维振动测量
实物振动通常是三维的。虽然确实可以显示主要振动方向，但制造公差和其他因素也会导致其他空间方向上的振动分量。您可以使用MSA-100-3D显微式激光测振仪，以综合方式、在宽带宽范围内实时分析样品的动态行为。三个空间方向上的振动分量均以高分辨率同时记录，并作为集成数据记录进行分析。 无论振动方向如何，您都能获得激光振动计典型的亚皮米级振幅分辨率。
亮点
//- 实时振动测量，带宽高达 25 MHz
- 对面外和平面内位移均具有亚皮米级振幅分辨率
- 单点测量和全场测量
- 小于 4 μm 的微小激光光斑可实现最高的横向分辨率
- 38 毫米的大间距
- 与常见的MEMS探针台兼容
因为现实生活是三维的
凭借微米级激光光斑带来的高横向分辨率以及高达 25 MHz 的频率带宽，Polytec （MSA-100-3D ）是表征微机电传感器和执行器（MEMS）、其他微结构以及生物样本的理想测量设备。
为了实现全场表征，MSA-100-3D 通过软件扫描样品，随后以图形方式呈现挠曲形状，从而对样品的整个表面进行分析。
配件和组件
A-STD-TST-01 测试台
该测试台提供宽敞的工作空间。配备电动Z轴，行程范围为200毫米。
A-STD-BAS-02 底座支架
传感器头的刚性支撑。包含一个行程范围为100毫米、带粗调和微调机构的手动对焦块。可与市售光学平台对接。
A-STD-F50 聚焦块
行程Range 50 mm。配备粗调和微调机构，用于手动调节传感器头Z轴位置。可与市售的晶圆探针台对接。
A-TAB-AIR-01 主动减振台
带主动高度调节功能的空气阻尼减振台。兼容型号：A-STD-TST-01 测试台、A-STD-BAS-02 底座。
A-TAB-ELC-01 主动减震台
电子控制音圈稳定系统，可实现最佳隔离性能。兼容型号：A-STD-TST-01 测试架、A-STD-BAS-02 底座。
A-WST-001 工作站
适用于Polytec 公司A-TAB-AIR-01和A-TAB-ELC-01有源减震台的工作站。
A-BBO-ME02 面包板
采用公制孔距的面包板。占地面积为 900 毫米 × 600 毫米。兼容型号：A-STD-BAS-02 底座支架。
A-AVI-MELA 主动减振面包板
采用电子控制，实现最佳的振动隔离性能。配备公制孔位布局。占地面积 600 x 800 毫米。兼容型号：A-STD-BAS-02 底座。
A-SPK-0008 晶圆测试模块
该晶圆测试模块与 A-PST-200P XY 定位台配合使用，可构成一个电动平台，用于直径最大为 200 毫米的晶圆和基板进行电气接触及高精度测量。
A-SPK-0010 真空探针模块
真空和吹扫管路。用于操作四个电极探针的微操作器。
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