SAWs berührungslos charakterisieren
Als elektronische Bauelemente, die durch akustische Oberflächenwellen funktionieren, gehören Surface Acoustic Wave-Filter (SAW) zu den mechanischen Filtern. Sie sind aus Hochfrequenzanwendungen wie dem Mobilfunk heutzutage nicht mehr wegzudenken. Die mikroakustischen Eigenschaften der SAW-Oberfläche zu optimieren, ist einer der zentralen Aufgaben bei der Entwicklung neuer SAW-Bauelemente.
Oberflächenwellen zu messen und grafisch darzustellen, stellt wegen der hohen Frequenzen, der kleinen akustischen Weglängen sowie der kleinen Schwingungsamplituden besondere Anforderungen an die Messtechnik. Eine der wenigen verfügbaren Lösungen für die Schwingungsmessung an solchen Systemen ist der Einsatz eines Laservibrometers.
Die Laser-Doppler-Vibrometer von Polytec erlauben Ihnen dabei die berührungslose Charakterisierung über alle Frequenzen und auch bei breitbandiger Anregung. Die Schwingformen werden dabei eindrucksvoll visualisiert. Auch Transienten und Relaxationsverhalten können Sie untersuchen. Wichtige Ergebnisse sind dabei Eigenschaften wie die Filtercharakteristik und Leistungsverluste (Leakage).
Hochfrequenz-Test von SAW Sensoren im Entwicklungsprozess
Neben dem Einsatz als elektronische Filter spielen SAWs auch eine wichtige Rolle in mikrofluidischen Anwendungen. SAWs werden hierbei zur gezielten Tröpfchenmanipulation von Biomaterialien eingesetzt. Bei der Entwicklung derartiger Lab-on-a-Chip-Bauelemente wird die Untersuchung der Oberflächendynamik wegen der berührungslosen optischen Messung, der Frequenzbandbreite und der hohen Auflösung mit Hochfrequenz-Vibrometern durchgeführt.
Microstructure characterization
Zugehörige Produkte und Service
MSA-600 Micro System Analyzer
Das komplette optische Messsystem für die statische und dynamische 3D-Charakterisierung von MEMS-Bausteinen in der Mikrosystemtechnik - neu bis zu 8 GHz! Das MSA-600 beschleunigt die Entwicklung und Qualitätskontrolle in der Mikrosystemtechnik - auch für Tests auf Wafer-Level dank Kompatibilität zu kommerziell verfügbaren Probe-Stations.
MSA-100-3D Micro System Analyzer
Der 3D Micro System Analyzer erfasst Schwingungskomponenten in allen 3 Raumrichtungen gleichzeitig. Das Messsystem ermöglicht damit hochaufgelöste 3D-Schwingungsanalysen von DC bis zu 25 MHz mit Amplitudenauflösungen im sub-Pikometer Bereich sowohl für In-Plane als auch für Out-of-Plane Schwingungskomponenten.
MSA-060 Micro System Analyzer
Das MSA-060 bietet den Einstieg in die Welt der Mikrosystemanalyse. Erfassen und visualisieren Sie das Schwingverhalten und die Bauteildynamik kleiner Komponenten und Mikrosysteme vollflächig und mit Laserpräzision von DC bis zu 24 MHz. Micro System Analyzer verwenden Laserlicht, um die unverfälschte Dynamik berührungslos und rückwirkungsfrei zu charakterisieren.
MSA-650 IRIS Micro System Analyzer
Der innovative und patentierte MSA-650 IRIS Micro System Analyzer ist dank spezieller IR-Kamera und kurzkohärenter SLD-Lichtquelle das erste optische Messgerät zur hochpräzisen und flächenhaften Erfassung der Bauteildynamik an MEMS und Mikrostrukturen durch die intakte Siliziumverkapselung hindurch – berührungsfrei und ohne Beeinträchtigung der realen Dynamik von DC bis zu 25 MHz.
MSA IRIS Messdienstleistung
Diese brandneue, patentierte Messtechnik erlaubt die umfassende Charakterisierung verkapselter MEMS durch die Silizium Kappe hindurch. Unsere PolyXperts freuen sich auf Ihre Proben verkapselter Mikrostrukturen und MEMS: für verlässliche experimentelle Modalanalysen, Machbarkeitsstudien und Beratung über alle Projektphasen hinweg von Entwicklung über Prototyping bis Fertigung.
Unsere Experten befragen
Unsere Experten unterstützen Ihre Projekte mit maßgeschneiderten Messlösungen – oder helfen Ihnen dabei, das zu messen, was wirklich zählt. Kontaktieren Sie uns noch heute!