表面弾性波（SAW）フィルタの非接触測定
表面弾性波（SAW）フィルタは、表面弾性波を応用した電子フィルタ素子で、携帯電話などの高周波アプリケーションにおいて必要不可欠です。 SAWの特性の最適化は、新しいSAWコンポーネントを開発する際に重要な課題の1つです。
SAWは高い周波数、短い伝播経路長、および微小な振動振幅のため、その測定および可視化は、容易ではありません。しかしレーザドップラ振動計は、そのような測定も実現することができます。
ポリテックのレーザドップラ振動計は、広い周波数帯域の測定を非接触で測定し、振動形状を可視化することができます。さらに過渡現象や緩和現象を測定することも可能です。SAWフィルタの特性や性能損失（リーク）を検証するのに役立ちます。
開発段階のSAWを高周波でテスト
SAWは、電子フィルタとしての用途に加えて、ラボオンチップなどマイクロ流体アプリケーションにおいても重要な役割を果たしています。チップ上に滴下された血液などの生体材料がチップ上の流路を流れるために表面弾性波が利用されており、その伝播ダイナミクスを検査することはラボオンチップの品質管理に繋がります。高い周波数帯域と分解能で、非接触振動測定を実現するポリテックの顕微鏡型レーザドップラ振動計MSA マイクロシステムアナライザ シリーズはこのアプリケーションに最適です。
マイクロシステムの特性評価
関連製品とサービス
マイクロシステムアナライザ MSA-600
MSA-600 は、MEMS や微細構造の静的・動的な 3D 特性を測定するオールインワン光学測定ソリュー ションで、最大 8GHz まで対応します。MSA-600は、マイクロシステム開発および品質検査を強化し、市販のプローブステーションに組み込むことにより、ウェーハレベルでのテストも可能にします。
マイクロシステムアナライザ MSA-100-3D
The 3D Micro System Analyzer records vibration components in all three spatial directions at once. The optical measurement system enables high-resolution 3D vibration analysis from DC up to 25 MHz with amplitude resolutions in the sub-picometer range, for both in-plane and out-of-plane vibration components.
マイクロシステムアナライザ MSA-060
顕微鏡型レーザドップラ振動計のエントリモデルです。他のモデルはレーザが測定物表面をスキャンするのに対し、MSA-060は電動ステージによる多点計測で、DCから24 MHzの小さな部品の表面全体の振動を非接触で測定、可視化することができます。
マイクロシステムアナライザ MSA-650 IRIS
MSA-650 IRIS マイクロシステムアナライザ は、赤外線レーザを採用した特許取得済みの革新的な顕微鏡型レーザドップラ振動計で、測定周波数帯域は最大25 MHzで、シリコンキャップ越しにマイクロシステムを測定することができ、デバイスに接触したりデキャップすることなく、真のMEMSダイナミクスを明らかにします。
MSA IRIS 測定サービス
この特許取得済みの新しい測定技術は、シリコン封止されたMEMSを、シリコンキャップ越しに測定することができます。ポリテックでは、MSA IRIS を使用して、シリコンキャップ付きMEMSのモーダルテスト等の測定サービスを行っています。
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