微技术与纳米技术

用于表征和监测器件质量的精确、可靠且快速的测量技术，在微系统的开发和生产中起着决定性作用。鉴于微传感器也越来越多地承担起与安全相关的任务——这对可靠性和功能安全提出了很高要求——这一点显得尤为重要。 在此方面，坚固的设计和高生产精度起着关键作用。对于MEMS致动器或传感器等有源微机电结构元件，仅靠纯电气表征是不够的，因此需要采用合适的光学测量方法。

Polytec的微系统分析仪正是为此而生的理想工具。 一方面，它们能够以高分辨率测定表面形貌；另一方面，也能对动态运动行为进行精确表征。基于激光多普勒振动测量的动态测量具有高频带宽和极佳的位移振幅分辨率。该测量技术可实现高达数兆赫兹（甚至吉赫兹）范围的振动测量——这正是日益增多的微技术应用所必需的。