微纳米技术

精确、可靠、快速的器件质量表征和监测技术对MEMS系统的开发和生产具有决定性意义。尤其是微型传感器被越来越多地应用于与安全相关的领域，人们对其可靠性和功能安全性等提出了更高的要求。从这方面而言，坚固的设计和高生产精度都起着关键作用。主动微机电结构元件，如MEMS执行器或传感器，仅仅知道电气特性是不够的，它需要使用合适的光学测试方法。

Polytec的显微式激光测振仪则是这方面测试的理想选择。一方面，它们能够以高分辨率确定表面形貌；另一方面，它们也可以精确描述动态特性。激光多普勒测振技术的动态测量的特点是具有大范围测试带宽和极好的位移分辨率。这种测试技术的带宽可以测量高达数MHz(甚至GHz)的振动，这正是越来越多的微技术应用所需要的。