白色光干渉計

白色光干渉計は、測定物からの反射光と参照光が重ね合わされたときに発生する干渉縞を利用しています。

測定原理は、マイクロレンジのコヒーレンス長を有する光源を含む光学系(画像)をもつマイケルソン干渉計の原理に基づいています。

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クロマティック共焦技術

クロマティック共焦点センサTopSensはクロマティック共焦原理を用いて距離と厚さを非接触で測定するセンサです。

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Surface parameters

Evaluating form parameters like flatness, parallelism and waviness and characterizing a surface structure based on its texture, roughness profile and more are the fundamental values prodvided by surface metrology for a reliable quality control in the lab and in production environments. See some examples of what TopMap surface metrology can measure for you.

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3次元表面形状に関するお問い合わせ