表面検査における特定の測定作業に深く取り組む
機能要件とプロセス要件は、地形と質感を定量化する標準化された表面パラメータを通じて表現される。以下のコレクションでは、各パラメータの詳細、評価のための推奨手法、および互換性のある測定システムについて説明する。
表面粗さ測定
表面粗さ測定の実践ガイド：適用されるパラメータと規格、よくある測定ミス、用途に最適な光学式プロファイロメーターの選び方を解説します。
Maintain form and position tolerances
Verify form and position tolerances such as waviness, flatness, parallelism and tilt. Optical 3D surface metrology delivers reliable results—even in bores.
微細構造の表面計測
Topography & dynamics of microstructures and for nanotech. 3D geometry, roughness, and time-resolved motion.
平坦度、厚さ、平行度
Flatness, thickness and parallelism (FTP) measurement combines top & bottom topography measurement in a single shot.
コーティングと層厚
Coating quality control in 3D. Assessing pre-coat texture, post-coat defects, and film thickness.
トライボロジー解析
Tribology analysis with 3D surface profiler. Inspecting friction, wear and lubrication performance.
合格/不合格分析
WLIs deliver fast, objective and easy to use pass/fail feedback from areal 3D data. Sub-nanometer Z and recipe-driven workflows support inline SPC.