表面検査における特定の測定作業に深く取り組む
機能要件とプロセス要件は、地形と質感を定量化する標準化された表面パラメータを通じて表現される。以下のコレクションでは、各パラメータの詳細、評価のための推奨手法、および互換性のある測定システムについて説明する。
表面粗さ測定
Surface texture analysis in 3D. From Sa/Sq to Str/Sal for validating specifications and surface features.
Maintain form and position tolerances
Verify form and position tolerances such as waviness, flatness, parallelism and tilt. Optical 3D surface metrology delivers reliable results—even in bores.
微細構造の表面計測
Topography & dynamics of microstructures and for nanotech. 3D geometry, roughness, and time-resolved motion.
平坦度、厚さ、平行度
Flatness, thickness and parallelism (FTP) measurement combines top & bottom topography measurement in a single shot.
コーティングと層厚
Coating quality control in 3D. Assessing pre-coat texture, post-coat defects, and film thickness.
トライボロジー解析
Tribology analysis with 3D surface profiler. Inspecting friction, wear and lubrication performance.
合格/不合格分析
WLIs deliver fast, objective and easy to use pass/fail feedback from areal 3D data. Sub-nanometer Z and recipe-driven workflows support inline SPC.
