精密表面計測用顕微鏡ベース3D表面プロファイラー - 4年間保証付き
顕微鏡ベースの表面プロファイラーは、微細なディテールが重要な高解像度・非接触3D表面計測に用いられます。このカテゴリーにおいて、Micro.View シリーズは、反射性・暗色・透明・複合表面といった困難な素材においても、堅牢性・柔軟性・精度を兼ね備えている点が際立っています。
Micro.View ファミリー は、光学干渉法と顕微鏡光学系を組み合わせ、幅広い表面計測タスクに対応します：
- TrueStitchingおよびコヒーレンス走査（CSI）技術による超高精度・高解像度表面粗さ・テクスチャ解析
- Focus Finder、Focus Tracker、レシピ管理による再現性・信頼性の高い品質管理
- 相関走査技術（CST）、TrueStitching、および幅広いレンズ群により、様々なサンプルサイズや材質に柔軟に対応
- 環境補償技術（ECT）による実験室環境から生産現場まで対応
その結果得られる精度、堅牢性、柔軟性により、Micro.View は精密工学、光学および光学部品、半導体およびマイクロエレクトロニクス、MEMSおよびマイクロシステム、材料研究、トライボロジーといった分野のアプリケーションに最適な選択肢となります。実験室環境から生産指向環境まで幅広く対応します。
いくつかの重要な事実
Micro.View において最適な表面プロファイラーはどれですか？
Micro.View
最高精度を実現するコンパクト顕微鏡ベースの3D表面プロファイラー。
- コスト効率に優れたシステム
- 特定のタスクに対応する幅広いレンズラインナップ
- 小さな卓上設置面積
- 安定した結果のためのオプションECT
精密製造、研究開発ラボ、開発業務、およびエンジニアリング分野における高精度表面検査に最適。
Micro.View+
Micro.Viewプロファイラーにカラーイメージング機能を追加。より深い知見と、自動化されたオペレーター非依存ワークフローの実行を可能にします。
- フォーカストラッカー搭載の完全電動ステージ
- 無人運転のためのQCレシピ管理
- 大型/高背サンプル対応（最大370mm）
- 可視化強化のためのカラー情報追加
- インラインおよびアットライン測定機能
カラーイメージングが必要で自動化機能が重要な場合の最適な選択肢。
表面プロファイラー - 事実に基づく比較
| 機能 | Micro.View | Micro.View+ |
|---|---|---|
| 解像度 | サブナノメートル | サブナノメートル |
| 真のステッチング | はい | はい |
| サンプル高さ | 最大100 mm | 最大 370 mm (スタンド付き) |
| ステージ | 手動および電動ステージ（20、75、100 mm） 手動および電動のティップ/ティルト | 電動 200 x 200 mm 自動ティップ/ティルト |
| 可視化 | 3D高さデータ（逆レインボー） | 3D 高さデータ（逆レインボー） ハードウェアオプションとしてのカラー情報モード |
| 対物レンズ | 0.6x～111x（長作動距離を含む） | 0.6x ..111x 長作動距離を含む |
| オートメーション | 測定レシピ 位置決め 高度なフォーカスファインダー （手動タレット） | 測定レシピ 位置決め アドバンストフォーカスファインダー 電動（＆手動）タレット クローズドループ /w フォーストラッカー ヘッドのみのライン統合 |
| 詳細を見る | 詳細情報Micro.View | 詳細情報Micro.View+ |
表面プロファイリング — 精密工学、光学、マイクロシステム向け
以下は、標準的な3D表面プロファイリング作業（粗さ、平坦度、段差高さ、テクスチャ、トライボロジー）における、代表的なエンジニアリング材料の実測結果です。これらの事例は、お客様の実現可能性調査や受託測定を実施する当社のアプリケーションセンターから提供されています。
自信を持って最適な表面プロファイラーをお選びください——当社の性能を実演でご覧ください。
過酷な環境下でも高精度かつ効率的なワークフローを実現する組み込み機能
当社の顕微鏡ベース3D光学式表面プロファイラーの機能セットは、精密部品や微細な表面形状を測定するために設計されています。実験室でも生産現場でも：
- 最高精度を実現するCSIコヒーレンス走査干渉計
- Smart Scanning Technologyによる各種材料のサブナノメートル精度での信頼性の高い表面粗さ分析
- 柔軟な粗さ分析を実現する広範囲かつ可変視野 （0.07mm～15.5×11.7mm）
- 広い部品の比類なき精度を実現するトゥルー・スティッチング
- 連続走査技術（CST）による100mmの広範囲Z測定と フル解像度
- 反復作業のためのフォーカスファインダーによるレシピ駆動型測定
- 最新の規格（ISO 21920 など）に準拠
- 電動X/Y/Z軸、ティップ/ティルト、エンコーダ付きタレット、フォーカストラッカーによるオペレーター非依存ワークフロー
- モジュラー設計とインターフェースによる緊密な統合で完全自動化に対応
その結果得られる精度、堅牢性、柔軟性により、Micro.View は複雑なセットアップや環境制約なしに、トレーサブルで再現性のある3D表面データを必要とするチームに最適です。
Some customer cases using the features of Micro.View
Wear analysis on ceramic and metal implants
Ceramic and metal parts are central to hip and knee implants, where surface finish drives wear and lifetime. See how non-contact roughness analysis on the Micro.View supports better materials and tighter q…
Ensuring highest quality of micro-optical components with WLI inspection
事例：微小で鏡面のように平坦な薄膜フィルターは、標準的な顕微鏡を限界まで追い込みます。HUBER+SUHNER が Micro.View 上の白色光干渉法で最高の光学品質を確保する方法をご紹介します。
実現可能性の確認？
サンプルをお送りいただければ、当社のプロファイラーで実現可能性調査を実施し、結果についてご説明いたします。
これにより、実際のサンプルにおける光学プロファイラーの性能を正確に把握いただけます。
関連情報
Micro.View とPro.Surf+の粗さプロファイラーの違い
Micro.View も形状、平坦度、段差高さの測定をサポートしますが、その中核的な強みは高解像度の3D表面粗さおよびテクスチャ解析にあります。
Pro.Surf+は逆のアプローチを採用しています。強みは平坦度、平行度、形状検査ですが、横方向分解能2.6µmでの表面粗さ分析も実行可能です。
測定タスク
With a WLI optical profiler you can handle all the surface measurement tasks - from surface form parameters, roughness and specific tasks as thickness of layers and coatings.
白色光干渉計
Introduction of the white light interferometry technology and the benefits for non-contact areal surface measurement.
「購入前に試す」キャンペーン
Measure, rent, decide - on your terms. Make a confident decision about which surface profiler fits to your metrology strategy and safeguard your capital investment
