精密表面計測用顕微鏡ベース3D表面プロファイラー - 4年間保証付き
顕微鏡ベースの表面プロファイラーは、微細なディテールが重要な高解像度・非接触3D表面計測に用いられます。このカテゴリーにおいて、Micro.View シリーズは、反射性・暗色・透明・複合表面といった困難な素材においても、堅牢性・柔軟性・精度を兼ね備えている点が際立っています。
Micro.View ファミリー は、光学干渉法と顕微鏡光学系を組み合わせ、幅広い表面計測タスクに対応します：
- TrueStitchingおよびコヒーレンス走査（CSI）技術による超高精度・高解像度表面粗さ・テクスチャ解析
- Focus Finder、Focus Tracker、レシピ管理による再現性・信頼性の高い品質管理
- 相関走査技術（CST）、TrueStitching、および幅広いレンズ群により、様々なサンプルサイズや材質に柔軟に対応
- 環境補償技術（ECT）による実験室環境から生産現場まで対応
その結果得られる精度、堅牢性、柔軟性により、Micro.View は精密工学、光学および光学部品、半導体およびマイクロエレクトロニクス、MEMSおよびマイクロシステム、材料研究、トライボロジーといった分野のアプリケーションに最適な選択肢となります。実験室環境から生産指向環境まで幅広く対応します。
いくつかの重要な事実
Micro.View において最適な表面プロファイラーはどれですか？
Micro.View
最高精度を実現するコンパクト顕微鏡ベースの3D表面プロファイラー。
- コスト効率に優れたシステム
- 特定のタスクに対応する幅広いレンズラインナップ
- 小さな卓上設置面積
- 安定した結果のためのオプションECT
精密製造、研究開発ラボ、開発業務、およびエンジニアリング分野における高精度表面検査に最適。
Micro.View+
Micro.Viewプロファイラーにカラーイメージング機能を追加。より深い知見と、自動化されたオペレーター非依存ワークフローの実行を可能にします。
- フォーカストラッカー搭載の完全電動ステージ
- 無人運転のためのQCレシピ管理
- 大型/高背サンプル対応（最大370mm）
- 可視化強化のためのカラー情報追加
- インラインおよびアットライン測定機能
カラーイメージングが必要で自動化機能が重要な場合の最適な選択肢。
表面プロファイラー - 事実に基づく比較
| 機能 | Micro.View | Micro.View+ |
|---|---|---|
| 解像度 | サブナノメートル | サブナノメートル |
| 真のステッチング | はい | はい |
| サンプル高さ | 最大100 mm | 最大 370 mm (スタンド付き) |
| ステージ | 手動および電動ステージ（20、75、100 mm） 手動および電動のティップ/ティルト | 電動 200 x 200 mm 自動ティップ/ティルト |
| 可視化 | 3D高さデータ（逆レインボー） | 3D 高さデータ（逆レインボー） ハードウェアオプションとしてのカラー情報モード |
| 対物レンズ | 0.6x～111x（長作動距離を含む） | 0.6x ..111x 長作動距離を含む |
| オートメーション | 測定レシピ 位置決め 高度なフォーカスファインダー （手動タレット） | 測定レシピ 位置決め アドバンストフォーカスファインダー 電動（＆手動）タレット クローズドループ /w フォーストラッカー ヘッドのみのライン統合 |
| 詳細を見る | 詳細情報Micro.View | 詳細情報Micro.View+ |
表面プロファイリング — 精密工学、光学、マイクロシステム向け
以下は、標準的な3D表面プロファイリング作業（粗さ、平坦度、段差高さ、テクスチャ、トライボロジー）における、代表的なエンジニアリング材料の実測結果です。これらの事例は、お客様の実現可能性調査や受託測定を実施する当社のアプリケーションセンターから提供されています。
自信を持って最適な表面プロファイラーをお選びください——当社の性能を実演でご覧ください。
過酷な環境下でも高精度かつ効率的なワークフローを実現する組み込み機能
当社の顕微鏡ベース3D光学式表面プロファイラーの機能セットは、精密部品や微細な表面形状を測定するために設計されています。実験室でも生産現場でも：
- 最高精度を実現するCSIコヒーレンス走査干渉計
- Smart Scanning Technologyによる各種材料のサブナノメートル精度での信頼性の高い表面粗さ分析
- 柔軟な粗さ分析を実現する広範囲かつ可変視野 （0.07mm～15.5×11.7mm）
- 広い部品の比類なき精度を実現するトゥルー・スティッチング
- 連続走査技術（CST）による100mmの広範囲Z測定と フル解像度
- 反復作業のためのフォーカスファインダーによるレシピ駆動型測定
- 最新の規格（ISO 21920 など）に準拠
- 電動X/Y/Z軸、ティップ/ティルト、エンコーダ付きタレット、フォーカストラッカーによるオペレーター非依存ワークフロー
- モジュラー設計とインターフェースによる緊密な統合で完全自動化に対応
その結果得られる精度、堅牢性、柔軟性により、Micro.View は複雑なセットアップや環境制約なしに、トレーサブルで再現性のある3D表面データを必要とするチームに最適です。
実現可能性の確認？
サンプルをお送りいただければ、当社のプロファイラーで実現可能性調査を実施し、結果についてご説明いたします。
これにより、実際のサンプルにおける光学プロファイラーの性能を正確に把握いただけます。
関連情報
Micro.View とPro.Surf+の粗さプロファイラーの違い
Micro.View も形状、平坦度、段差高さの測定をサポートしますが、その中核的な強みは高解像度の3D表面粗さおよびテクスチャ解析にあります。
Pro.Surf+は逆のアプローチを採用しています。強みは平坦度、平行度、形状検査ですが、横方向分解能2.6µmでの表面粗さ分析も実行可能です。
測定タスク
With a WLI optical profiler you can handle all the surface measurement tasks - from surface form parameters, roughness and specific tasks as thickness of layers and coatings.
白色光干渉計
Introduction of the white light interferometry technology and the benefits for non-contact areal surface measurement.
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