クロマティック共焦点センサ
距離や厚さを測定する非接触クロマティック共焦点センサは、産業界や研究機関で多く利用されています。入射した白色光をクロマティックレンズで結像し、z軸方向に単色光の連続体を得ることで、光軸を「色分け」します。このカラーフィールド内に物体が存在すると、その表面に単一の波長が固定され、光学系に反射されます。反射されたビームは、フィルター用のピンホールを通過し、分光器で取得されます。ビームの特定波長が計算され、測定フィールド内の表面の位置が正確に決定されます。クロマティック共焦点センサは、信頼性が高く、正確で再現性のある寸法測定を高解像度で実現します。
技術比較において、垂直解像度と横方向解像度、平滑表面または粗さ測定における最適な適用範囲、スティッチングの有無など、各種一般的な表面測定手法の長所と限界について詳しくご覧ください。
- 白色光干渉法
- 共焦点顕微鏡
- 焦点変動
- 色差共焦点センサー
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マイクロプロファイラー
Micro.View systems are optimized for ultra-high-resolution measurements in the sub-nanometer range. With focused optics and high vertical resolution they enable detailed analysis of microstructures, surface finish and material distribution where even the smallest deviations matter.
マクロプロファイラ
Pro.Surf systems enable fast, area-based 3D topography measurements with telecentric optics. They support reliable inspection of flatness, shape, parallelism and step heights across wide fields of view and in-bore features.
Metro.Lab
Metro.Lab is a compact, wide-area bench-top surface profiler. It combines high measurement performance with a small footprint — ideal for space- or budget-conscious applications that still require reliable 3D surface data.
自信を持って最適な表面プロファイラーをお選びください——「購入前に試用」という当社のアプローチのメリットを享受いただけます。
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