エンジニア・技術者のための実践ガイド
マイクロプロファイラーもマクロプロファイラーも、高精度で非接触の面的な3Dデータを提供します — そのため、選択が精度を問題にすることはほとんどありません。問題は測定スケールです：品質判断が微細な表面の詳細に左右される場合はマイクロプロファイラーを、より広い領域の形状、スループット、または生産規模の検査に左右される場合はマクロプロファイラーを使用します。
本ガイドが扱うのはスケール — 視野、横方向の詳細、ワークフロー — であり、どの光学技術を使うかではありません。白色光干渉計、共焦点、フォーカスバリエーションの比較については、当社の技術選定ガイドをご覧ください。
マイクロかマクロのプロファイリングか？ タスクに決めさせる。
要求が表面の詳細を測定することである場合
代表的なタスク
粗さ、テクスチャ、うねり、傷や欠陥、微細構造、薄膜やコーティング、小さな段差やエッジ、MEMS、半導体・光学面。品質判断が次の点に左右されるあらゆる場合に： 微細な高分解能の詳細.
知っておくと便利
部品が大きくてもこの判断は変わりません。対象がマイクロ分解能を必要とするなら、マイクロプロファイラーを使い続け、低倍率対物レンズやスティッチングで領域をカバーしてください — それはマイクロのタスクのままです。
要求が機能的形状を測定することである場合
代表的なタスク
形状や平面度、平行度、部品全体にわたるうねりや反り、シール面、ボアや凹状形状、トレイやより大きな精密部品。品質判断が次の点に左右されるあらゆる場合に： より広い領域にわたる形状.
知っておくと便利
マクロプロファイラーは、大きな段差や広い視野を一度に捉え、生産規模の検査に必要なスループットと部品ハンドリングを備えています。
中間領域：主に一方、ときどきもう一方
ほとんどの部品は厳密にどちらか一方というわけではなく、予算が限られている場合は2台目のシステムが選択肢にならないこともあります。そのとき有用な問いは、どの能力が主で、どの能力が時折必要かということです — Polytec の両ファミリーは現在、互いにもう一方のスケール領域へと能力を広げているからです。以下から出発点を選んでください。
Micro.View with the 0.6× objective
When this fits
Your work is primarily high-resolution roughness and texture, but you sometimes need a larger view. The 0.6× objective extends the single field of view to 15.53 × 11.71 mm² without giving up the sub-nm core — so an occasional flatness or form check becomes an option even with our micro profiler.
In short
A micro system as the basis — building the bridge toward macroscopic topography.
Pro.Surf+ with the chromatic-confocal line sensor
When this fits
Your work is primarily form, flatness and parallelism over wide areas, but you periodically need a roughness value. Pro.Surf+ adds a chromatic-confocal line sensor to the large-area system — so a roughness check no longer means moving the part to a second instrument.
In short
A macro system as the basis — with nm-resolved roughness added where it is needed.
また、限定的なプロジェクトやトラブルシューティングのために特定のシステムが一時的に必要なだけであれば、PolyRent を利用すれば、投資なしで定められた期間だけ適切なプロファイラーを使用できます。
マイクロ vs. マクロ 3Dプロファイリングの一覧
| 評価項目 | マイクロプロファイラー | マクロプロファイラー |
|---|---|---|
| 主な強み | 微細な表面の詳細 | 大面積の形状 |
| 代表的な測定対象 | 粗さ、テクスチャ、微細構造、傷、小さな段差 | 形状、平面度、平行度、うねり、反り、シール面 |
| 視野 | 小～中、倍率選択可能 | 大きな単一視野、True Stitching でさらに拡張 |
| 垂直方向のレンジ | 最も微細な詳細のためのサブnm Z分解能 | 大きな段差や凹状形状のための広いZレンジ |
| 代表的な使用環境 | ラボ、開発、精密QA、柔軟な解析 | 生産QA、製造現場での検査、自動化 |
| 代表的なサンプル | MEMS、光学素子、ウェハ、コーティング、マイクロエレクトロニクス | 機械部品、トレイ、ボア、シール面 |
| 境界的なケース | 局所的な詳細が重要な場合はマイクロ寄りに — 大きな部品であっても（スティッチングや低倍率対物レンズで領域をカバー） | 対象が大きな形状、平面度、またはスループットのタスクに属する場合はマクロ寄りに |
Polytec ソリューションの当てはめ方
本ガイドは判断の過程を通じて製品中立を保っています。ここでは、その選択が Polytec のシステムにどう対応するかを示します。
- Micro.View — 詳細な粗さ、テクスチャ、微細構造の解析向けの顕微鏡ベースの白色光干渉計。サブナノメートル分解能と、0.6× の広視野対物レンズまでをカバーする幅広い対物レンズレンジを備えます。
- Pro.Surf — 生産に関連する形状、平面度、平行度、凹状形状向けの大面積テレセントリックプロファイラー。大きな単一視野、70 mm の Z レンジ、そして大型または多数個サンプル向けの True Stitching を備えます。
- Pro.Surf+ — 中間領域向けのマルチセンサーオプション。追加のクロマティック共焦点ラインセンサーにより、大面積の形状に加えて nm レベルの粗さを1つのステーションで測定します。
自らを縛らずに決める — PolyRent。マイクロ/マクロの選択は恒久的である必要はありません。生産現場の形状検査のためにラインに Pro.Surf を導入していて、R&D やトラブルシューティングのプロジェクトで突然高分解能の粗さ測定が必要になった場合でも、その期間だけ Micro.View をレンタルできます。両者は同じ TopMap ソフトウェアで動作するため、データ、レシピ、解析がそのまま引き継がれ、再トレーニングは不要です。
まだ迷っていますか？ お客様の部品、図面、または測定要件をお送りください。Polytec の専門家が、マイクロとマクロのどちらのプロファイラーがより適しているかを定義し、実際のサンプルでの実現可能性測定によって検証します。測定し、レンタルし、決める — お客様の条件で。
よくあるご質問
マイクロとマクロの3Dプロファイリングの違いは何ですか？
どちらも非接触の面的な3D光学プロファイラーです。マイクロプロファイラーは顕微鏡ベースの光学系を用い、小さな視野で高い横方向分解能とサブナノメートルの垂直分解能を実現します — 微細な詳細に最適です。マクロプロファイラーはテレセントリック光学系とはるかに大きな視野を用い、形状、平面度、より大きな機能領域を測定します。違いは測定スケールであり、粗さにおけるサブnm精度の違いではありません。
マイクロプロファイラーで大きな領域を測定できますか？
ある程度は可能です。低倍率の対物レンズ — Micro.View 上の Polytec の 0.6× など — は単一視野を 15.53 × 11.71 mm² まで広げ、スティッチングによりさらに拡張できます。ただし、本当に大きな機能領域を効率的に測定する場合は、マクロプロファイラーのほうが実用的な選択肢であり続けます。
マクロプロファイラーで粗さを測定できますか？
はい。大面積システムでも粗さを取得でき、Pro.Surf+ は専用のクロマティック共焦点ラインセンサーを追加することで、同じステーションで nm レベルの粗さを測定します。ただし、粗さが主要な高分解能要件である場合は、マイクロプロファイラーのほうが適しています。
ボアや凹状形状の測定にはどちらが必要ですか？
マクロプロファイラーです。テレセントリック（平行）な光路と広い Z スキャンレンジの組み合わせにより、スケールの正確さを保ちながらボアや凹状形状の内部に到達できます — これは高倍率の顕微鏡対物レンズにはできないことです。
マイクロシステムとマクロシステムは同じソフトウェアを使いますか？
はい。TopMap Micro.View と TopMap Pro.Surf のファミリーは同じ TopMap ソフトウェアを共有しているため、測定レシピ、データ、解析がシステム間で移行できます — これにより、一時的な PolyRent システムを既存のワークフローに簡単に組み込むこともできます。
3D表面プロファイリングを素早く始めるには
私たちは Measure what matters という理念を真剣に受け止め、お客様の状況に最も適した形でサポートします。たとえご要望が一時的なものであっても、あるいはまだフルシステムの予算がない場合でも、選択肢があります：PolyRent でシステムをレンタルする、または PolyMeasure で当社のスペシャリストに測定を代行してもらうことができます。ご購入をお考えの場合は、まず実現可能性調査やレンタルから始めることをお勧めします — レンタル料金は後に購入価格に充当されます。当社の専門家にご相談いただければ、お客様の計測課題に最適なアプローチをご提案します。