白色干渉計による非接触式の形状測定技術
白色干渉計は、測定物からの反射光と参照光が重ね合わされたときに発生する干渉縞を利用しています。
測定原理は、マイクロレンジのコヒーレンス長を有する光源を含む光学系（画像）をもつマイケルソン干渉計の原理に基づいています。まず白色光ビームは、ビームスプリッタで測定ビームと参照ビームに分割されます。測定ビームは、測定物に照射され、参照ビームは参照用ミラーに照射されます。それぞれの反射光はカメラにおいて再結像ます。
測定アーム上の測定ポイントへの光路長が、参照アーム上の光路長と同じとき、光源のスペクトルのすべての波長に干渉による強め合いが起こり、その測定ポイントのカメラピクセルの明暗度は高くなります。2つの光路長が異なるときは、カメラピクセルの明暗度は大幅に低下します。 その結果、カメラは2つの光路長が等しい測定ポイントのみを記録します。
テレセントリック光学系を有する測定機器を使用すると、単一のパスで迅速に広い範囲の表面形状を測定することができます。マイケルソン干渉計がベースの顕微鏡システムは高い横分解能を必要とする測定に適しています。
白色光干渉計（コヒーレンススキャニング干渉計）の基本原理ビデオ
白色光干渉法が表面計測にもたらす利点
接触式／スタイラス法と比較して、白色光干渉計（WLI）はISO 25178に準拠した真の面全体（3D）粗さを測定し、単一スキャンで数百万点に及ぶ異方性と複雑なテクスチャを捕捉します。これにより、ラインベースのスタイラストレースよりも高い空間サンプリングと、生産タクトタイムにおける強力な統計情報を得られます。
非接触式であるため、WLIは先端のコンボリューションや摩耗を回避し（軟質・コーティング光学素子へのマーキングリスクなし）、再現性のあるナノメートルクラスの垂直精度を実現します。とはいえ、プロファイルのみが要求される仕様や、生産工程の品質管理におけるRaやRzなどのパラメータを迅速かつコスト効率良くチェックする場面では、スタイラスプロファイル計の価値は依然として高いです。しかし他の非接触技術と比較しても、WLIには様々な利点があります。
視野に依存しない垂直解像度
白色光干渉法（コヒーレンススキャニング干渉法）の面測定法では、垂直分解能は選択した対物レンズに依存しません。白色光干渉法は、分解能が視野に依存しない唯一の測定方法です。
当社の白色光干渉計製品群
マイクロプロファイラー
Micro.View systems are optimized for ultra-high-resolution measurements in the sub-nanometer range. With focused optics and high vertical resolution they enable detailed analysis of microstructures, surface finish and material distribution where even the smallest deviations matter.
マクロプロファイラ
Pro.Surf systems enable fast, area-based 3D topography measurements with telecentric optics. They support reliable inspection of flatness, shape, parallelism and step heights across wide fields of view and in-bore features.
Metro.Lab
Metro.Lab is a compact, wide-area bench-top surface profiler. It combines high measurement performance with a small footprint — ideal for space- or budget-conscious applications that still require reliable 3D surface data.
自信を持って最適な表面プロファイラーをお選びください——「購入前に試用」という当社のアプローチのメリットを享受いただけます。
技術ガイド：光学表面形状測定アプローチの長所と短所を比較する
これら4つの一般的な表面測定法の長所と限界について、垂直方向と横方向の分解能、平滑面のスイートスポット、粗さ測定、スティッチングの有無など、技術比較で詳しくご覧ください。
- 白色光干渉法
- 共焦点顕微鏡
- 焦点変動
- クロマチック共焦点センサー
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ご要望について専門家とご相談ください
まずは部品仕様、公差、ワークフローについて簡単に話し合いましょう。必要に応じて、実現可能性調査、PolyMeasure（契約測定）、またはPolyRentトライアルをオプションの次のステップとして追加することも可能です。
