29.05.2026

WLI検査でマイクロ光学部品の最高品質を確保 // 事例

HUBER+SUHNER は、薄膜フィルターなどの高精度なマイクロ光学部品を製造しており、一貫した品質が重要な目標となっています。顧客が信頼を寄せる高い基準を維持するため、同社チームは Polytec Micro.View 上で白色光干渉法を用い、これらの要求の厳しい部品を — 非接触かつナノメートルスケールの分解能で — 評価しています。

課題と背景

HUBER+SUHNER が製造するマイクロ光学部品は、非常に小さく、反射率が高く、公称上は平坦です — この組み合わせは従来の光学顕微鏡を限界まで追い込み、標準的なツールでは真の表面形状を捉えることを困難にします。顧客が信頼する品質を守るため、HUBER+SUHNER はこうした難しい部品の形状と高さを確実に分解できる測定手法を必要としていました。

Sealing components
Flatness of pump sealing ring

解決策:Micro.View による白色光干渉法

HUBER+SUHNER は、Polytec Micro.View 上で白色光干渉法を用い、これらの部品を非接触で評価しています。ピエゾ駆動の測定ヘッドが垂直方向に走査し、各高さステップで干渉パターンを取得します。これらのスライスから、ソフトウェアが表面を再構成し、高さ情報を色分けされたトポグラフィマップへと変換します。その分解能は数百ナノメートルにまで達し — 顕微鏡では見逃してしまう傷や実際の表面ディテールを明らかにするのに十分です。

Pro.Surf macro profiler for flatness, step height and other production parameters

成果

Micro.View 上での非接触白色光干渉法により、HUBER+SUHNER は、従来手法では小さすぎ・平坦すぎ・反射しすぎて測定できない部品の高速かつ高分解能な3Dビューを得ています。これは同社の最高品質へのこだわりを支え、信頼できる表面・形状データを提供することで、マイクロ光学製造における確かな品質管理とより深い工程理解を可能にします。

HUBER+SUHNER が語る WLI の利点

表面計測へのクイックスタート

私たちは「本質を測る(Measure what matters)」という理念を真剣に掲げ、お客様の状況に合ったあらゆる方法でサポートします。ニーズが一時的なものであっても、まだフルシステムの予算が確保できていなくても、選択肢があります — PolyRent でシステムをレンタルする、あるいは PolyMeasure で当社のスペシャリストが測定を代行します。購入をご検討の場合は、まずフィージビリティスタディかレンタルから始めることをお勧めします — レンタル料は後日、購入価格に充当されます。当社の専門家にご相談いただければ、お客様の計測タスクに最適なアプローチをご提案します。

Discuss your demands with our experts

Let’s start with a short discussion about your parts, tolerances, and workflow
—and, if useful, we can add a feasibility study, PolyMeasure, or a PolyRent trial as optional next steps.

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