ガイド：表面プロファイリング技術の比較
この独占技術ガイドでは、表面プロファイリング手法の長所と短所について解説します：垂直解像度と横方向解像度の比較、代表的な応用例、平滑面・粗面でのプロファイリング、視野範囲など、以下のような内容です：
- 白色光干渉法
- 共焦点顕微鏡法
- 焦点変動法
- 色分散型共焦点センサー
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