Largest FoV, longest Z range, most XY measurable area
Optical profilometers for a wide range of metrology tasks—from microscope-based systems for microstructures to macro and bench-top optical profilers for large-area form and quality inspection.
- True Stitch extends measurement field to ~230 × 220 mm while achieving the highest accuracy
- Outstanding measurement precision reveals surface details down to 0.01 nm Z-resolution.
- SST (Smart Scan Technology) makes any surface measurable.
- Easy operation and automation-ready features & interfaces.
- Modular concept enables custom configurations and upgrades, expanding your capabilities.
- Long-term reliability due to rugged design and a 4-year warranty.

Feasibility study?
Send us your sample. We’ll run a feasibility study and review the results with you—so you gain a precise understanding of performance on your actual parts.

Micro.View+
Highest repeatability and reproducibility in sub-nm resolved inspection of texture, roughness, finish and structural details with automated workflows.
Micro.View
Our easy to use, table-top optical profiler. Texture, roughness and microstructure analysis as an affordable yet modular package.
Metro.Lab
Complete and compact test bench for large area form characterization - even with a smaller budget! For QA labs and case-by-case quality inspections in manufacturing.
Pro.Surf+
Multi-sensor profiler for fast large area topography scanning, repeatable measurements and combined form & roughness characterization resolved in the nm range.
Pro.Surf
For fast, large-area topography, form and flatness measurement. Telecentric optics with large Z range reaches holes, largest FoV and true stitching accuracy allow efficient multi-sample measurements.
The portfolio—from macro to micro topography

Micro Profilometer
Micro.View Profilometer messen Rauheit, Textur, Mikrostrukturen und Finish mit sub-nm Auflösung. Mit fokussierter Optik und hoher vertikaler Auflösung ermöglichen sie eine detaillierte Analyse der Oberflächenbeschaffenheit und Materialverteilung und dort, wo kleinste Details den Unterschied ausmachen.

Macro Profilometer
Pro.Surf scannen großflächig und bestimmen Form und Ebenheit schneller. Die telezentrische Optik mit großem Z-Bereich meistert selbst hohe Stufen und tiefliegende Bereiche wie Bohrungen. Mit größtem Bildfeld und True Stitching misst es große Prüflinge, Trays oder mehrere Bauteile in einem Schuss. Pro.Surf+ erweitert die Möglichkeiten um eine zusätzliche Rauheitsauswertung.

Metro.Lab
Metro.Lab ist ein kompakter Tisch-Oberflächenprofiler für schnelle, großflächige 3D-Messungen. Hohe Messleistung bei geringer Stellfläche – ideal, wenn Platz oder Budget begrenzt sind, aber zuverlässige 3D-Oberflächendaten gebraucht werden.
Überzeugen Sie sich vor dem Kauf von der Leistung eines Profilers – nutzen Sie unseren „Try before buy“ Ansatz.

Surface measurement tasks

Messung der Flächenrauheit
3D-Analyse der Oberflächenrauheit zur Bewertung funktionaler und prozessrelevanter Eigenschaften. Von Sa und Sq bis zu Str und Sal.

Form- und Lagetoleranzen einhalten
Form- und Positionstoleranzen wie Ebenheit, Welligkeit, Parallelität und Neigung zuverlässig prüfen – mit optischer 3D-Oberflächenmesstechnik, auch bei anspruchsvollen Geometrien.

Ebenheit, Dicke und Parallelität
Kombinierte Messung von Ebenheit, Dicke und Parallelität in einem Messvorgang. Flächige Topografie von Ober- und Unterseite für präzise Form- und Lagetoleranzen.

Beschichten und Schichtdicke
3D-Qualitätskontrolle von Beschichtungen – vor und nach dem Prozess. Bewertung von Oberflächentextur, Defekten und Schichtdicken für funktionale und optische Anforderungen.

Tribologische Analyse
Analyse von Reibung, Verschleiß und Schmierzuständen auf Basis flächiger 3D-Oberflächendaten. Charakterisierung tribologischer Effekte für belastete Bauteile und Kontaktflächen.

Gut/Schlecht-Bewertung
Schnelle und objektive Gut/Schlecht-Bewertung auf Basis flächiger 3D-Messdaten. Automatisierte Workflows und hohe Z-Auflösung unterstützen reproduzierbare Entscheidungen und statistische Prozesskontrolle.

Messung von Mikro- und Nanostrukturen
Präzise 3D-Topografie von Mikro- und Nanostrukturen. Erfassung von Geometrie, Rauheit und dynamischem Verhalten für MEMS, Mikrooptik und nanotechnologische Anwendungen.
Differences between micro & macro optical profilers
| Profiler type | Field of view | Strengths | Measurement tasks | Best suited for |
| Micro Profiler | From 0.07 up to 3.7 mm | Highest lateral resolution, sub-nm vertical accuracy. | Surface texture, roughness analysis, focused tribology | MEMS, micro-optics, microfluidics, precision parts. |
| Macro Profiler | Single FoV 44 × 33 mm, with True Stitching up to 230 × 220 mm and more | Large-area form measurement, telecentric optics, stable geometry. | Flatness, parallelism, step height, thickness, form measurement deviation. Roughness with Pro.Surf+ | Quality inspection in precision manufacturing, small to large parts and trays. |
| Bench Profiler | 37 × 28 mm | Compact, cost-effective wide-area metrology. | Form deviation, step height, case-by-case quality inspection. | Sample inspection in manufacturing. |
3D optical profilometers in depth
Below you’ll find descriptions of each CSI optical profilometer type to help you compare capabilities and select the right system for your measurement task. In case you are not sure what fits best to your metrology strategy, use the contact form at the end to talk to our experts.
TopMap micro profiler
Microscopic, high-resolution 3D optical profiler for surface topography measurement with high lateral resolution—best for analysis of microstructures, precision components and optics, MEMS, and high precision tribology.
- Variable FoV with spot sizes from 0.07 to 3.7 mm.
- Ideal for sub-nm resolution.
- True Stitching enables highest precision on wider areas.
Choose Micro.View white-light interferometers when maximum lateral resolution and high repeatability is key for your microstructure analysis and ultra-precision machined surfaces.

Macro profiler—Pro.Surf and Metro.Lab
Super efficient macro surface profilometer best for large-area surface form measurement and trays. Pro.Surf is the preferred profiler in manufacturing due to the reliability, efficiency and flexibility.
- Captures up to 2M data points within just seconds
- Outstanding single FoV up to 44 × 33 mm—expandable to 230 × 220 mm with True Stitching.
- Measures flatness, shape, parallelism faster—even inside bores.
- Pro.Surf+ adds a chromatic confocal sensor for combined 2D roughness examination.
- Ideal for precision mechanics, sealing surfaces, watchmaking, and optics
Choose Pro.Surf when you need large-area, high-throughput form deviation measurement with maximum stability.

Turn profilometer operation into standardized, repeatable workflows.
Get the most from your 3D optical profiler: accelerate quick quality checks, support in-depth research, and enable your team to measure with confidence.
- Intuitive 2D & 3D visualization
- Recipe-based workflows (SOPs)
- Full automation readiness (MES/PLC)
- Advanced analysis tools
- Export formats for metrology & QA systems

Operate your metrology task—easy, precise, repeatable
Here are some surface measurement examples—from roughness, tribology measurement to analyzing microstructures.






Besprechen Sie Ihre Anforderungen mit unseren Experten
Gerne erfahren wir mehr über Ihre Bauteile, Toleranzen und Herausforderungen. Basierend darauf können wir Empfehlungen zu Technologien und Systemen geben. Oder wir zeigen Ihnen in einer kurzen Demo, wie einfach und effizient Messungen mit dem passenden Polytec Profilometer durchgeführt werden – entweder an unseren Komponenten oder direkt an Ihrem Bauteil.

