Form- und Rauheitsmessung in einem durchgängigen, produktionsreifen Messablauf
Pro.Surf+ ist ein optischer Multisensor-Profilometer, der großflächige 3D-Formmessungen mit hochauflösender Rauheitsmessung in einem einzigen System vereint. Ebenheit, Stufenhöhe und Parallelität werden flächig erfasst, während die integrierte Rauheitsmessung detaillierte Oberflächenkennwerte liefert – ohne Umrüsten oder zusätzliche Messstationen.
Die Kombination aus telezentrischer Weißlichtinterferometrie und chromatisch-konfokaler Rauheitsmessung reduziert Messzeit, Handhabungsaufwand und Fehlerquellen. Das Ergebnis sind rückverfolgbare, reproduzierbare Messdaten für Qualitätskontrolle und produktionsnahe Prüfprozesse.
Multisensor-Oberflächenprofilmessgerät für schnelle Form- und kombinierte Rauheitsmessung
Großflächige Messungen mit hohem Durchsatz
Mit einem Single-Shot-Sichtfeld von 44 × 33 mm erfasst Pro.Surf+ bis zu 2 Millionen 3D-Messpunkte in einer einzigen Aufnahme. Für größere Bauteile oder Trays erweitert True Stitching den Messbereich auf bis zu ~230 × 220 mm.
So lassen sich Ebenheit, Parallelität und Stufenhöhen schnell und zuverlässig auf großen Flächen prüfen – ideal für Mehrfach-, Serien- und Tablettmessungen in der Präzisionsfertigung.

Formprüfung in Bohrungen und bei großen Stufen - machbar!
Dank telezentrischer Optik und einem vertikalen Messbereich von 70 mm ermöglicht Pro.Surf+ die sichere Messung tiefer Bohrungen, Vertiefungen und hoher Stufen – ohne Kollisionsrisiko und mit konstanter Abbildungsgeometrie.
Das große XYZ-Messvolumen erlaubt die Prüfung hoher oder komplexer Bauteile, bei denen mikroskopische Profiler an ihre Grenzen stoßen.

Hohe Messgenauigkeit und reproduzierbare Ergebnisse
Pro.Surf+ kombiniert einen vertikalen Messbereich von 70 mm mit einer vertikalen Auflösung von < 1,45 nm und einem sehr geringen Messrauschen von < 0,5 nm auf glatten Oberflächen.
Die integrierte Environmental Compensation Technology (ECT) kompensiert Umwelteinflüsse wie Vibrationen und Temperaturschwankungen. Dadurch liefert Pro.Surf+ stabile und reproduzierbare Messergebnisse – auch in produktionsnahen Umgebungen.

Form- und Rauheitsmessung in einem Messsystem
Pro.Surf+ integriert einen chromatisch-konfokalen Rauheitssensor direkt in das großflächige Profilometer. Während die Formmessung Ebenheit, Stufenhöhe und Parallelität flächig erfasst, ermöglicht der Rauheitssensor eine hochauflösende Analyse der Oberflächenrauheit.
Typische Rauheitsmessungen erfolgen über einen Bereich von 400 µm mit einer lateralen Auflösung von ~2,6 µm und einem Arbeitsabstand von 10,8 mm. Ideal für Dichtflächen, Einspritzkomponenten, Präzisionsteile und funktionale Oberflächen.

Wiederholbare und geführte Messungen mit Rückverfolgbarkeit
Mit rezeptbasierten Messabläufen, automatischer Probenerkennung und Barcode-Start unterstützt Pro.Surf+ reproduzierbare Qualitätskontrolle mit minimalem Bedienereinfluss.
Die Auswertung erfolgt normkonform gemäß DIN/ISO (z. B. ISO 25178, ISO 4287/4288). Ergebnisse werden übersichtlich visualisiert, als Berichte exportiert oder direkt an SPC-Systeme wie QS-STAT™ übergeben – für transparente und nachvollziehbare Prüfprozesse.

Überzeugen Sie sich vor dem Kauf von der Leistung eines Profilers – nutzen Sie unseren „Try before buy“ Ansatz.

Beispiele für Form- und Rauheitsmessungen
Nachfolgend finden Sie einige reale Ergebnisse aus Standardaufgaben mit gängigen technischen Werkstoffen. Diese Beispiele wurden von unseren Anwendungszentren zusammengestellt, die Machbarkeitsstudien durchführen und vertragliche Messdienstleistungen anbieten.





Wählen Sie mit Zuversicht den passenden Oberflächenprofiler – lassen Sie sich die Leistungsfähigkeit unserer Systeme live demonstrieren.

Integrierte Funktionen unterstützen hochpräzise und effiziente Arbeitsabläufe – selbst in rauen Umgebungen.
Das Hauptmerkmal des ProSurf+ ist der zusätzliche chromatisch-konfokale Sensor mit einem vertikalen Bereich von 400 µm, einer lateralen Auflösung von ~2,6 µm, einem Arbeitsabstand von 10,8 mm und einer Verwendbarkeit bis zu einem typischen Ra-Wert von ≥ 100 nm (anwendungsabhängig). Die Rauheit wird innerhalb desselben Rezepts wie die Form erfasst.
Wie beim Pro.Surf erhalten Sie auch hier ein großes Sichtfeld von bis zu 44,9 × 33,8 mm (erweiterbar auf ~228 × 221 mm durch Stitching), automatisierungsfähigen Betrieb mit motorisierten Tischen, Rezeptsteuerung und Barcode-Start sowie telezentrisches WLI/CSI und einen Z-Bereich von 70 mm für vertikale Leistung im Nanometerbereich.
Kombinierte Form- und Rauheitsmessung in einem Vorgang
→ Messen Sie großflächige Form und Oberflächenrauheit mit dem Pro.Surf+
Der integrierte chromatisch-konfokale Sensor (400 µm Messbereich, ~2,6 µm laterale Auflösung, 10,8 mm Arbeitsabstand) ermöglicht Rauheitsmessungen in derselben Messstation. Typische Anwendungen beginnen ab Ra ≥ 100 nm.
- Kombinieren Sie Form + Rauheit in einem Durchgang
- Langer Arbeitsabstand für sichere Handhabung der Probe
True Stitching – Höhere Genauigkeit für breitere Muster
→ True Stitching liefert unübertroffene Präzision beim Scannen großer Flächen
Da größere Oberflächen das Sichtfeld eines einzelnen Aufnahmegeräts überschreiten, werden die einzelnen Kacheln zu einem präzisen Datensatz zusammengefügt. Die messtechnische Qualität solcher großflächigen Messungen hängt von der Optik und der Sensortechnologie, der Anzahl der Kacheln und den Stitching-Algorithmen ab.
True Stitching liefert hochpräzise großflächige Messungen, indem es Stitching-Artefakte minimiert und die Geometrie beibehält.
Ein unabhängiger Vergleichstest an einer führenden deutschen technischen Universität untersuchte sechs optische Profilometer verschiedener Hersteller. Dabei zeigte das Polytec Profilometer die höchste Stitching- und Messqualität.
- Großes Single-Shot-Sichtfeld → weniger Kacheln und Nähte, weniger kumulativer Fehler
- Ausgefeilte Stitching-Algorithmen → kontrollierte Überlappung, robuste Registrierung und messtechnisch sichere Überblendung, die Stufen und Kanten beibehält
- Für Pro.Surf: Telezentrische/CSI-Optik mit Korrelogramm-Auswertung → stabile Geometrie und Höhenwiedergabe über alle Kacheln hinweg
Das Ergebnis ist eine hochpräzise, großflächige Topografie mit weniger Artefakten und auditfähigen Restwerten – was wir als „True Stitching” bezeichnen.
WLI mit telezentrischer Optik
→ Gewährleistet präzise Geometrie - selbst in Bohrungen
Das rückverfolgbar kalibrierte WLI/CSI liefert berührungslose, flächige 3D-Daten mit einer vertikalen Auflösung im Nanometerbereich. Der telezentrische optische Ansatz hält die Strahlen parallel zur optischen Achse und sorgt so für eine konstante Vergrößerung und gleichmäßige Ausleuchtung über die gesamte Höhe – sogar Messungen in Bohrlöchern sind möglich.
- Berührungslose, wiederholbare, schnelle Flächenscans
- Phasen-/Hüllkurvenauswertung für glatte und raue Oberflächen
- Intelligentes Oberflächen-/adaptives Scannen für unterschiedliche Reflektivitäten
- Langlebige 525-nm-LED
Optik mit großem Sichtfeld (FoV)
→ Reduziert die Messzeit bei Komponenten und Fehler beim Stitching
Pro.Surf bietet ein breites Single-Shot-Sichtfeld von bis zu 44,9 × 33,8 mm (mit ~1,91 Millionen Punkten), sodass breitere Proben oder mehrere Teile in einer einzigen Erfassung gemessen werden können. Mit der integrierten Stitching-Funktion erweitert sich die Abdeckung auf bis zu ~228 × 221 mm und durch das große FoV reduziert sich die Anzahl der Shots pro Stitching-Prozess (schnellere und stabilere Messung).
- Mehrere Proben gleichzeitig messen; automatische Probenerkennung verfügbar
- Kurze Zykluszeiten; reduzierter Aufwand, weniger Fehler beim Stitching
ECT – Environmental Compensation Technology
→ Stabilisiert die Ergebnisse in der Fertigung
Lärm, Vibrationen und Temperaturschwankungen können Messungen beeinträchtigen. ECT gleicht solche Störungen aus und sorgt für konsistente Daten – auch in der Fertigungsumgebung.
- Verbessert die Zuverlässigkeit in lauten oder instabilen Umgebungen
- Ermöglicht Automatisierung und Inline-Qualitätskontrolle ohne vollständige Isolierung
- Besonders hilfreich für empfindliche Komponenten (z. B. Präzisionsbauteile, MEMS, ...)
Automatisierbare Messung für höheren Durchsatz und Wiederholgenauigkeit
→ Ermöglicht unbeaufsichtigte, wiederholbare Messungen
Dank seines modularen Aufbaus und seiner Motorisierungsoptionen lässt sich das Profilometer Pro.Surf leicht automatisieren und in bestehende Prozesse und Maschinen integrieren. Eine Reihe von Funktionen und Fähigkeiten ermöglicht hocheffiziente und unbeaufsichtigte Messabläufe:
- Pattern Matching und Smart Scanning Technology für Erkennung von Bauteilen
- Motorisierte X-, Y-, Z- und Neigungs-/Kipptische
- Großes Sichtfeld und True Stitching für hochauflösende Scans über große Flächen
- Rezepte-Management in der TopMap Software ermöglichen das Abstreichern und Aufrufen von Messabläufen
- Robustes Design mit wenig bis keine bewegliche Teile und
- Kompensation durch ECT von Vibrationen und Temperatur-Effekten
"Pattern Matching" - Erkennung von Bauteilen
Maschinelles Bildverarbeitungsprogramm, das Teile anhand einer Vorlage findet und registriert, sodass die Rezepte an den richtigen Stellen angewendet werden (auch wenn Teile verschoben oder gedreht sind). Ideal für Tabletts und Mehrfachprobenläufe; lässt sich gut mit der automatischen Probenerkennung kombinieren, um den Befestigungsaufwand zu reduzieren.
Smart Scan-Technologie zur Erfassung unterschiedlicher Oberflächen
Erfassungsmodus, der sich an unterschiedliche Reflektivität/Kontraste anpasst, sodass Sie fast jede Oberfläche zuverlässig in einer einzigen Konfiguration messen können; enthalten in der TopMap Software.

Rauheitssensor
Chromatisch-konfokaler Sensor mit ≈400 µm vertikalem Bereich, ~2,6 µm lateraler Auflösung, 10,8 mm Arbeitsabstand
Telezentrische Optik
Parallele Strahlen zur optischen Achse für konstante Vergrößerung – ermöglicht Messungen in Randbereichen und Bohrungen.
Automatisierung mit Rezepten
Probenerkennung und Musterabgleich für Tablett-Scans; Barcode-Start mit automatischer Protokollierung der Proben-/Rezept-ID
Großes Sichtfeld (FoV)
Einzelaufnahme-Sichtfeld bis zu 44,9 × 33,8 mm (1,91 Mpts). Die integrierte Stitching-Funktion erweitert die Abdeckung auf ~228 × 221 mm für Trays und größere Komponenten.
Großes Probenvolumen
Positionierungsvolumen bis zu 200 × 200 × 70 mm. Motorisierte XY- und Neigungs-/Kippoptionen
Modularer Aufbau, Spezifikationen und Optionen
| Kleines Sichtfeld | Großes Sichtfeld | |
| Rauheitsmessbereich | 400 µm | |
| Lateralauflösung der Rauheit | 2,6 µm | |
| Typische Rauheitsmessung | >= 100 nm | |
| Positioniervolumen | 200 x 200 x 70 mm³ = 0,028 m | |
| Max. Anzahl von Punkten in einer einzelnen Messung | X: 1.592, Y: 1.200 | |
| Vertikaler Bereich | 70 mm | |
| Messbereich | X: 22,8 mm Y: 17,2 mm X·Y: 392,2 mm² | X: 44,9 mm Y: 33,8 mm X·Y: 1.517,6 mm² |
| Messpunktabstand | X: 14,3 µm Y: 14,3 µm | X: 28,2 µm Y: 28,2 µm |
| Berechnete laterale optische Auflösung | 8,4 µm | 16 µm |
| Messrauschen | < 0,5 nm (Phasenauswertung, glatte Oberflächen) | |
| Vertikale Auflösung | < 1,45 nm (Phasenauswertung, glatte Oberflächen) | |
Weitere Einzelheiten und Details finden Sie im Datenblatt (siehe Abschnitt „Download“ unten).

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So erhalten Sie ein genaues Verständnis der Leistung des optischen Profilers an Ihren tatsächlichen Proben.
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