Topografie und Dynamik von MEMS & Mikrosystemen

Mit den vielseitig einsetzbaren Oberflächenmesssystemen von Polytec lösen Sie Ihre Aufgaben in der Micro- & Nanotechnologie zuverlässig, hochgenau und schnell. So können Sie Kanaltiefen auf Ihrem Lab-on-a-Chip auswerfen lassen, die Stufenhöhe beim MEMS-Packaging bestimmen, Ebenheiten von Drucksensoren ermitteln und MEMS anhand von Oberflächenparametern analysieren. Selbst dynamische Out-of-plane- und In-plane-Messungen auf RF-Filtern zur Bestimmung von Resonanzfrequenzen im MHz-Bereich sind für Sie jetzt ein Leichtes – dank der Polytec MSA Micro System Analyzer Serie.

Ihr PolyXpert für Oberflächenmesstechnik