Topografie- und Dynamikmessung von Mikrosystemen und MEMS
Mikro- und nanotechnologische Anwendungen erfordern Messtechnik, die sowohl höchste geometrische Auflösung als auch maximale Flexibilität bietet. Je nach Strukturgröße, Messaufgabe und Bauteilgeometrie kommen dabei unterschiedliche optische Messprinzipien zum Einsatz.
Optische 3D-Oberflächen-Profiler ermöglichen die flächenhafte Erfassung von Mikro- und Nanostrukturen mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie liefern präzise Topografiedaten zur Bewertung von Stufenhöhen, Strukturtiefen, Ebenheit und relevanten Oberflächenparametern. Ergänzend erlauben mikroskopbasierte Vibrometer die zeitaufgelöste Analyse dynamischer Effekte wie Schwingungen, Resonanzen oder Verformungen von MEMS – vollständig berührungslos und mit hoher Messsicherheit.
Die Kombination aus statischer Topografie- und dynamischer Messung schafft ein umfassendes Verständnis von Struktur und Funktion mikro- und nanotechnologischer Systeme und unterstützt Forschung, Entwicklung sowie die qualitätsgesicherte Fertigung.
Optische Oberflächen-Profiler und Vibrometer für die Mikro- und Nanotechnologie
Macro Profilometer
Pro.Surf prüft Ebenheit, Stufenhöhe und Parallelität an großen Bauteilen und Mehrfach-Trays – berührungslos, in Sekunden. Die kollisionsfreie telezentrische Optik misst selbst in Bohrungen, mit der Präzision und Wiederholgenauigkeit, die die Produktion verlangt.
Micro Profilometer
Micro.View Profilometer messen Rauheit, Textur, Mikrostrukturen und Finish mit sub-nm Auflösung. Mit fokussierter Optik und hoher vertikaler Auflösung ermöglichen sie eine detaillierte Analyse der Oberflächenbeschaffenheit und Materialverteilung und dort, wo kleinste Details den Unterschied ausmachen.
MSA-600 Micro System Analyzer
Das komplette optische Messsystem für die statische und dynamische 3D-Charakterisierung von MEMS-Bausteinen in der Mikrosystemtechnik - neu bis zu 8 GHz! Das MSA-600 beschleunigt die Entwicklung und Qualitätskontrolle in der Mikrosystemtechnik - auch für Tests auf Wafer-Level dank Kompatibilität zu kommerziell verfügbaren Probe-Stations.