Caracterización de MEMS para la biología y la medicina
Los MEMS y las microestructuras son tecnologías básicas y transversales fundamentales para una gama extremadamente amplia de aplicaciones médicas y biológicas. Su ámbito de aplicación abarca desde aplicaciones Lab on a chip con ondas superficiales de alta frecuencia para el diagnóstico médico rápido, hasta micrófonos MEMS para su uso en audífonos y transductores ultrasónicos para el diagnóstico por imagen médico basados en la tecnología de microsistemas.
Puede confiar en la tecnología de medición óptica sin contacto basada en microscopios de Polytec para determinar la topografía superficial y las propiedades dinámicas de los sensores y actuadores MEMS médicos. La medición de vibraciones basada en microscopios también se utiliza en la «transferencia tecnológica» de inspiración biónica de los sistemas naturales a los técnicos para medir, por ejemplo, la biomecánica de la audición de los insectos.
Aplicaciones de las técnicas de imagen médica, la ecografía y la ecografía intravascular
Los transductores ultrasónicos micromecanizados (pMUT y cMUT) están ampliando los límites de la obtención de imágenes médicas en 3D en tiempo real (ecografía) en aplicaciones como la IVUS (ecografía intravascular) y la ecocardiografía. Para caracterizar la micromecánica de estos elementos transductores, es necesario realizar mediciones a altas frecuencias (~10 MHz) y con una alta resolución espacial (<1 μm). Las diversas posibilidades que ofrece el sistema « Micro System Analyzer » de Polytecproporcionan esta información para el desarrollo de pMUT y cMUT con la máxima precisión y sin contacto alguno.

Desarrollo de dispositivos fonónicos de ondas acústicas superficiales (SAW)
Los dispositivos de ondas acústicas superficiales fonónicas han demostrado un gran potencial para hacer posible el diagnóstico integrado en el punto de atención, utilizando la energía mecánica transportada por el sonido para manipular muestras líquidas de pacientes en microchips de bajo coste. Los investigadores han demostrado la detección de la malaria [Reboud J. et al., PNAS, 2012, 15162-7] a partir del volumen de una gota de sangre obtenida mediante un pinchazo en el dedo, utilizando un filtro acústico. La vibrometría láser es una herramienta esencial del proceso de desarrollo que permite visualizar las vibraciones reales en la superficie de todo el microchip, validando así nuestros diseños. En el futuro, se integrarán en la plataforma ensayos más complejos para detectar enfermedades como la tuberculosis.

Caracterización de la microestructura
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La solución integral de medición óptica para la caracterización 3D estática y dinámica de MEMS y microestructuras: ¡ahora con una frecuencia de hasta 8 GHz! El sistema de medición de microestructuras « MSA-600 » mejora el desarrollo de microsistemas y los controles de calidad, y permite además realizar pruebas a nivel de oblea cuando se integra en estaciones de sonda disponibles en el mercado.

MSA-100-3D Micro System Analyzer
El sistema « Micro System Analyzer » 3D registra simultáneamente los componentes de vibración en las tres direcciones espaciales. El sistema de medición óptica permite realizar análisis de vibración en 3D de alta resolución, desde CC hasta 25 MHz, con resoluciones de amplitud en el rango subpicométrico, tanto para los componentes de vibración en el plano como fuera de él.

MSA-060 Micro System Analyzer
Utiliza el sistema de medición de vibraciones « MSA-060 » para adentrarte en el mundo del análisis de microsistemas. Registra y visualiza las vibraciones y la dinámica de componentes pequeños y microsistemas con precisión láser en toda la superficie, desde CC hasta 24 MHz. Los sistemas « Micro System Analyzer» utilizan láseres de medición, lo que permite revelar la verdadera dinámica de los componentes pequeños de una forma totalmente sin contacto y no invasiva.

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El innovador y patentado sistema « MSA-650 IRIS » ( Micro System Analyzer ), con capacidad de infrarrojos, permite medir la dinámica real de los MEMS hasta 25 MHz mediante la caracterización de los movimientos tanto en el plano como fuera del plano a través de la encapsulación de silicio sin contacto, sin necesidad de preparar ni descapsular el dispositivo.

Servicio de medición MSA IRIS
Esta tecnología de medición totalmente nueva y patentada permite realizar un análisis exhaustivo y representativo de los MEMS encapsulados en silicio, midiendo la dinámica a través de las cubiertas de silicio. Nuestros PolyXperts están deseando recibir sus muestras de MEMS encapsulados para realizar pruebas modales, estudios de viabilidad y asesoramiento en todas las fases, desde el desarrollo y la creación de prototipos hasta la fabricación de sus microestructuras encapsuladas.

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