释放性能与质量的潜力
Metro.Lab 白光干涉仪是一款紧凑型光学测量系统,能以纳米级垂直精度(< 2.85 nm)捕捉面阵三维形貌。
远心光学系统确保放大倍率恒定并提供安全工作距离。凭借这一技术,Metro.Lab 测量系统可精准测量大型表面与结构的平面度、台阶高度及平行度,即使在柔软脆弱的材料表面或孔洞内部也能适用。
配方驱动软件支持可重复的质量保证流程与报告生成。

白光干涉仪:用于高效质量检测
轻松掌握产量与潜在缺陷
单次视场 37 × 28 毫米(约 124 万像素),横向覆盖范围可扩展至 87 × 78 毫米;适用于多部件检测及快速合格/不合格判定。在垂直方向(Z 轴),样品高度范围为 0 至 70 毫米。

深层、难以触及区域的表面轮廓分析
凭借远心光学系统与长工作距离,Metro.Lab 可在陡峭边缘附近及钻孔等细微结构内进行测量,同时与工件保持安全间距。
该特性对带有孔洞或凹槽的宏观组件尤为实用,因为传统光学系统在此类结构上往往难以胜任。

您所需的精准,搭配值得信赖的重复性
70 毫米垂直测量范围可处理大台阶与形状偏差,纳米级性能支持严格公差:垂直分辨率低于 2.85 纳米(相位评估)。
无运动部件的坚固设计带来很低的测量噪声与高重复性;并集成振动阻尼系统,适用于更严苛的环境。

符合 ISO 标准的测量,含配方与文档记录
TMS 支持基于配方的可重复例行测量。操作员可通过扫描条码启动预定义序列,样品/配方 ID 将自动记录。
评估遵循 DIN/ISO 标准(如 ISO 25178、ISO 4287/4288)。结果以清晰的合格/不合格状态可视化呈现,报告可归档或导出至 QS-STAT™ 进行 SPC 分析,在实验室或生产环境中兼顾效率、重复性与可追溯性。

计量任务与可视化呈现
以下为常见工程材料在标准任务中的实际测试结果。这些示例由我们的应用中心整理,该中心负责可行性研究并提供合约测量服务。




放心选用合适的三维光学轮廓仪,即刻体验我们的专业实力。

配备远心镜头与宽广视场(FoV)的 WLI 工作台
Metro.Lab 平台整合大面积光学系统、长 Z 轴范围及符合 ISO 标准的软件,实现精确、可重复的测量,即使针对凹陷或精密结构亦然。
- 宽广视场(37 × 28 mm,拼接后达 87 × 78 mm),实现批量或大尺寸样品分析
- 远心物镜 WLI/CSI(迈克尔逊)技术消除阴影干扰,实现孔径/侧壁的精准测量
- 70 毫米 Z 轴范围具备纳米级分辨率
- 操作辅助功能含工艺配方与条码扫描器连接接口

同心光学系统
即使在凹陷区域也能进行测量,且在孔内测量时不会产生阴影。
智能扫描技术
SST 支持对反射性或哑光表面的测量
集成式减震
适用于在更恶劣的环境中进行坚固耐用的测量。
大视场(FoV)
单个测量区域为37×28毫米。使用True Stitching 时,最大可达87×78毫米。
Sa简单定位
自动图案识别功能支持多样本测量,拼接技术将视场(FoV)扩展至 87 × 78 毫米。
灵活的垂直范围
适用于高度为0至70毫米的试样
Metro.Lab 能力数据一览
| 垂直范围 | 70mm |
| 垂直分辨率 | 2.83 nm |
| 视场(FoV) | 37 × 28 mm |
| True Stitching 拼接视场 | 87 × 78 mm |
| XY 像素数 | 1,284 × 966 |
| 数字 XY 采样间距 | 29.3 µm |
欢迎下载
需要更多能力?Pro.Surf 是您的选择。
Metro.Lab 与 Pro.Surf 均为具备 70 毫米 Z 轴范围的宏观远心 WLI/CSI 轮廓仪。在以下情况下,Pro.Surf 系列可能更为合适:
- 测量对象与批次尺寸较大
- 需要更高分辨率与重复性
- 需测量形状与粗糙度参数
- 需提升产能并实现更紧密的产线集成





