釋放您在效能與品質方面的潛能
我們的Metro.Lab白光干涉儀是一款緊湊型光學測量系統,能以奈米級垂直精度(<2.85μm)捕捉平面三維形貌。
遠心光學系統確保放大倍率恆定且具備安全工作距離。憑藉此技術,Metro.Lab量測系統能精準測量大型表面與結構的平面度、台階高度及平行度,即使在柔軟脆弱的材料表面或孔洞內部亦能適用。
配方驅動軟體支援可重複的品質保證流程與報告生成。

白光干涉儀用於高效品質檢測
輕鬆辨識您的產量與潛在缺陷
單一視野 37 × 28 毫米(約 124 萬像素),橫向覆蓋範圍可擴展至 87 × 78 毫米;適用於多部件檢測及快速合格/不合格判定。
在垂直方向(Z 軸),樣品高度範圍為 0 至 70 毫米。

深層且難以觸及的表面輪廓分析
憑藉遠心光學系統與長工作距離,Metro.Lab 能在陡峭邊緣附近及鑽孔等細微結構內進行測量,同時與工件保持安全間距。
此特性對於帶有孔洞或凹槽的巨觀組件尤為實用,因傳統光學系統在此類結構上往往難以勝任。

您所需的精準度,搭配值得信賴的重現性
70毫米的垂直量測範圍可處理大階差與形狀偏差,而奈米級性能則支援嚴格公差:垂直解析度低於2.85奈米(相位評估)。
無活動部件的堅固設計展現極低測量噪聲與高重複性。此外更整合振動阻尼系統,適用於更嚴苛的環境。

符合ISO標準的測量,包含配方與文件記錄
TMS 支援基於配方進行可重複的例行測量。操作員可透過掃描條碼啟動預先定義的序列,樣品/配方 ID 將自動記錄。
評估遵循 DIN/ISO 標準(例如 ISO 25178、ISO 4287/4288)。結果以清晰的合格/不合格狀態視覺化呈現,報告可歸檔或匯出至 QS-STAT™ 進行 SPC 分析——在實驗室或生產環境中支援效率、重複性與可追溯性。

計量任務與視覺化呈現
以下為常見工程材料在標準任務中的實際測試結果。這些範例由我們的應用中心彙整,該中心負責可行性研究並提供合約測量服務。




選擇合適的表面處理方案,請放心選擇轮廓仪 ——立即體驗我們的專業能力。

配備遠心鏡頭與寬廣視野(FoW)的WLI工作台
Metro.Lab平台整合大面積光學系統、長Z軸範圍及ISO對準軟體,實現精確且可重複的測量——即使針對凹陷或精密結構亦然。
- 寬廣視野(37 × 28 mm,拼接後達87 × 78 mm)實現批量或大尺寸樣本分析
- 遠心物鏡WLI/CSI(麥克爾遜)技術消除陰影干擾,實現孔徑/側邊精準測量
- 70毫米Z軸範圍具備奈米級解析度
- 操作員支援功能包含製程配方與條碼掃描器連接介面

遠心光學系統
即使在低矮的測量位置,也能捕捉到無遮蔽的影像。
智能掃描技術
SST支援反射性或霧面表面的測量
解耦量測技術
整合式振動阻尼系統,適用於惡劣環境中的堅固測量作業。
大視野(FoV)
單次拍攝測量範圍為37x28毫米。透過拼接可達87x78毫米。
樣本定位
自動化執行大型元件(尺寸達87 x 78毫米)的多重測量與拼接作業
靈活的垂直範圍
適用於樣品高度為0至70毫米
Metro.Lab 能力數據一覽
| 垂直範圍 | 70毫米 |
| 階高重現性(5微米 – 5000微米) | 8% - 0.005% |
| 垂直解析度 | 2.83 奈米 |
| 視野 (FoV) | 37 x 28 毫米 |
| 拼接後視野 | 87 x 78 毫米 |
| XY 像素 | 1284 x 966 |
| 數位 XY 採樣 | 29.3 微米 |
| 重現性 | 20 奈米 |
| 平面度 | <0.375 微米 |
若您需要更多?Pro.Surf 是您的選擇。
Metro.Lab 與 Pro.Surf 皆為具 70 毫米 Z 軸範圍的巨觀同軸透視式 WLI/CSI 輪廓儀。在以下情況下,Pro.Surf 系列可能是更佳選擇:
- 測量物件與批次尺寸較大
- 需更高解析度與重複性
- 需測量形狀與粗糙度參數
- 需提升產能並實現更緊密的生產整合
在上述情況下,Pro.Surf 可能是更佳的選擇。





