Compact bench profiler - Metro.Lab

Metro.Lab -
緊湊型白光干涉儀

這款高性價比的白光干涉儀,能進行簡易、快速且可追溯的形狀與輪廓測量——即使在孔洞內部亦能勝任。其體積如此緊湊,即使最狹小的工作檯面也能容納。

釋放您在效能與品質方面的潛能

我們的Metro.Lab白光干涉儀是一款緊湊型光學測量系統,能以奈米級垂直精度(<2.85μm)捕捉平面三維形貌。

遠心光學系統確保放大倍率恆定且具備安全工作距離。憑藉此技術,Metro.Lab量測系統能精準測量大型表面與結構的平面度、台階高度及平行度,即使在柔軟脆弱的材料表面或孔洞內部亦能適用。

配方驅動軟體支援可重複的品質保證流程與報告生成。

3D surface profile lenses
37 x 28
mm
單一視野(Field of View)
70
mm
靈活,大Z範圍
< 2.85
nm
垂直解析度
重點

白光干涉儀用於高效品質檢測

應用程式

計量任務與視覺化呈現

以下為常見工程材料在標準任務中的實際測試結果。這些範例由我們的應用中心彙整,該中心負責可行性研究並提供合約測量服務。

大面積可視化
Optical Profilometer measurement: Flatness parallelism
測量平面度與平行度
Optical Profilometer: MEMS pressure topography
MEMS壓力感測器地形圖
Optical Profilometer measurement: Hard drive disk waviness
硬碟片的波浪狀變形

選擇合適的表面處理方案,請放心選擇轮廓仪 ——立即體驗我們的專業能力。

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功能

配備遠心鏡頭與寬廣視野(FoW)的WLI工作台

Metro.Lab平台整合大面積光學系統、長Z軸範圍及ISO對準軟體,實現精確且可重複的測量——即使針對凹陷或精密結構亦然。

  • 寬廣視野(37 × 28 mm,拼接後達87 × 78 mm)實現批量或大尺寸樣本分析
  • 遠心物鏡WLI/CSI(麥克爾遜)技術消除陰影干擾,實現孔徑/側邊精準測量
  • 70毫米Z軸範圍具備奈米級解析度
  • 操作員支援功能包含製程配方與條碼掃描器連接介面
技術數據

Metro.Lab 能力數據一覽

垂直範圍70毫米
階高重現性(5微米 – 5000微米)8% - 0.005%
垂直解析度2.83 奈米
視野 (FoV)37 x 28 毫米
拼接後視野87 x 78 毫米
XY 像素1284 x 966
數位 XY 採樣29.3 微米
重現性20 奈米
平面度<0.375 微米
替代方案

若您需要更多?Pro.Surf 是您的選擇。

Metro.Lab 與 Pro.Surf 皆為具 70 毫米 Z 軸範圍的巨觀同軸透視式 WLI/CSI 輪廓儀。在以下情況下,Pro.Surf 系列可能是更佳選擇:

  • 測量物件與批次尺寸較大
  • 需更高解析度與重複性
  • 需測量形狀與粗糙度參數
  • 需提升產能並實現更緊密的生產整合

在上述情況下,Pro.Surf 可能是更佳的選擇。

與我們的專家討論您的需求

讓我們先簡短討論您的零件、公差要求與工作流程——若您認為有幫助,後續可選擇性追加可行性研究、PolyMeasure(合約量測服務)或PolyRent試用方案作為後續步驟。

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