Mikrosysteme hochpräzise charakterisieren

Zur Charakterisierung einer Vielzahl unterschiedlicher Micro-Electro-Mechanical Systems, kurz MEMS, wie Beschleunigungsaufnehmer, Drucksensoren, RF-Filter, Lab-on-a-Chip, Gyroskope und viele mehr, bieten Ihnen Polytec eine ganze Reihe geeigneter Produkte. Sie kombinieren Schnelligkeit und Präzison mit einfacher Bedienbarkeit. Damit werten Sie zum Beispiel die Stufenhöhe, Parallelität, Ebenheit, Form zuverlässig aus. Prüfen Sie Strukturdetails im µm-Bereich mit den mikroskopbasierten Systemen der TopMap Produktreihe dank exzellenter lateraler. Profitieren Sie von der hervorragenden vertikalen Auflösung bei der Charakterisierung von MEMS und Sensor-Packaging. Sollten Ihnen statische Messergebnisse nicht ausreichen, erlaubt Ihnen die Polytec MSA Micro System Analyzer Serie Messungen der Bauteildynamik. Neben der Verwendung für Oberflächenmessoperationen können Sie ihn auch zur Charakterisierung mechanischer in-plane und out-of-plane Resonanzen verwenden.

Ihr PolyXpert für Oberflächenmesstechnik