Effizient Entwickeln in der Mikro- und Nanotechnologie
Um Mikrosysteme zu entwickeln und zu produzieren, ist eine präzise, zuverlässige und schnelle Messtechnik zur Charakterisierung und Qualitätsüberwachung der Bauelemente entscheidend. Das ist umso wichtiger, da Mikrosensoren verstärkt auch sicherheitsrelevante Aufgaben übernehmen – mit hohen Anforderungen an die Zuverlässigkeit und Funktionssicherheit. Robustes Design und hohe Fertigungspräzision spielen dabei eine Schlüsselrolle. Aktive mikro-elektromechanische Bauelemente wie MEMS Aktuatoren oder Sensoren benötigen geeignete optische Messverfahren, da eine rein elektrische Charakterisierung nicht ausreicht.
Hierfür sind Micro-System-Analyzer von Polytec optimal, sie ermöglichen einerseits die Oberflächentopographie mit einer hohen Auflösung zu bestimmen und andererseits auch das dynamische Bewegungsverhalten präzise zu charakterisieren. Die dynamische Messung mittels Laser-Doppler-Vibrometrie zeichnet sich dabei durch eine große Frequenzbandbreite und hohe Auflösung der Bewegungsamplitude aus. Selbst Schwingungsmessungen im hohen MHz- und bis in den GHz-Bereich hinein, wie sie für immer mehr mikrotechnische Anwendungen erforderlich sind, ermöglicht Ihnen diese Messtechnik.
Anwendungen
- Wafer-level
![Deflection shape after modal testing microacoustic device on wafer level]( "Deflection shape after modal testing microacoustic device on wafer level")
Deflection shape after modal testing microacoustic device on wafer level - Prototypentest
![MEMS prototype testing, here a CMOS / MEMS co-integrated flow microsensor, (C) University of Louvain, Belgium]( "MEMS prototype testing, here a CMOS / MEMS co-integrated flow microsensor, (C) University of Louvain, Belgium")
MEMS prototype testing, here a CMOS / MEMS co-integrated flow microsensor, (C) University of Louvain, Belgium - cMUTs und pMUTs
![Laser Doppler vibrometer measurements of several leaking CMUT cells visualizing dynamic displacement]( "Laser Doppler vibrometer measurement of leaking CMUT transducer cells")
Laser Doppler vibrometer measurements of several leaking CMUT cells, visible with a much lower dynamic displacement when operating the device - SAWs und BAWs
![Dynamic measurement of a SAW surface acoustic wave filter]( "Dynamic measurement of a SAW surface acoustic wave filter")
Dynamic measurement of a SAW surface acoustic wave filter - Mikromechanik
![Laser vibration measurement for testing micro-mechanical MEMS]( "Laser vibration measurement for testing micro-mechanical MEMS")
Laser vibration measurement for testing micro-mechanical MEMS - MEMS Zuverlässigkeit
![Vibration measurements for reliability testing on MEMS in a vacuum chamber]( "Vibration measurements for reliability testing on MEMS in a vacuum chamber")
Vibration measurements for reliability testing on MEMS in a vacuum chamber - Bio MEMS
![Deflection shape of cMUT transducer array, University of Alberta]( "Deflection shape of cMUT transducer array, University of Alberta")
Deflection shape of cMUT transducer array, University of Alberta - MEMS Drucksensoren
![Mikroskopaufnahmen eines MEMS Drucksensors mit 2,5x Vergrößerung (CIS)]( "Mikroskopaufnahmen eines MEMS Drucksensors mit 2,5x Vergrößerung (CIS)")
Mikroskopaufnahmen eines MEMS Drucksensors mit 2,5x Vergrößerung (CIS) - FE Modell Validierung
![FE model validation based on laser vibration measurement and test data]( "FE model validation based on laser vibration measurement and test data")
FE model validation based on laser vibration measurement and test data
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