MEMS auf Zuverlässigkeit und Lebensdauer testen
MEMS-Sensoren und Aktoren sind zentrale Funktionselemente in vielen Geräten und Systemen und übernehmen immer öfter auch sicherheitsrelevante Funktionen. Diese müssen zuverlässig, über die gesamte Lebensdauer des Systems und unter herausfordernden Einsatzbedingungen gewährleistet sein. Dazu wird ein MEMS-Bauteil bei mechanischer Anregung, Strahlungs-, Temperatur- und Luftfeuchtigkeitseinflüssen sowie Druckbelastung durch Umweltsimulation und beschleunigtes Altern in Vakuum- bzw. Klimakammern verifiziert. Gegenüber herkömmlichen Halbleiterbauelementen verfügen MEMS über bewegliche, mikromechanische Komponenten als zentrales Funktionselement. Das dynamische, mechanische Systemverhalten messen zu können, ist daher eine wichtige Aufgabe bei Zuverlässigkeits- und Lebensdauertests.
Schwingung an MEMS in der Vakuumkammer messen
Die MSA Micro System Analyzer Serie von Polytec bietet hierfür sämtliche relevanten Messmodi. Die hochspezialisierten Geräte verfügen über Spezialobjektive mit komfortablem Arbeitsabstand, um sowohl das statische als auch dynamische Bauteilverhalten von außerhalb der Testkammer zu messen. Die MSA Micro System Analyzer überzeugen mit präzisen Schwingungsmessungen an MEMS in Vakuumkammern. Der Einfluss des Umgebungsdruck auf die dynamischen Eigenschaften eines MEMS-Bausteins wird mit dem Polytec MSA in Verbindung mit einer Vakuumkammer gemessen, bzw. in Kombination mit einer Vakuum-Probestation für Messungen auf Waferebene.
Microstructure characterization
Zugehörige Produkte und Service
MSA-600 Micro System Analyzer
Das komplette optische Messsystem für die statische und dynamische 3D-Charakterisierung von MEMS-Bausteinen in der Mikrosystemtechnik - neu bis zu 8 GHz! Das MSA-600 beschleunigt die Entwicklung und Qualitätskontrolle in der Mikrosystemtechnik - auch für Tests auf Wafer-Level dank Kompatibilität zu kommerziell verfügbaren Probe-Stations.
MSA-100-3D Micro System Analyzer
Der 3D Micro System Analyzer erfasst Schwingungskomponenten in allen 3 Raumrichtungen gleichzeitig. Das Messsystem ermöglicht damit hochaufgelöste 3D-Schwingungsanalysen von DC bis zu 25 MHz mit Amplitudenauflösungen im sub-Pikometer Bereich sowohl für In-Plane als auch für Out-of-Plane Schwingungskomponenten.
MSA-060 Micro System Analyzer
Das MSA-060 bietet den Einstieg in die Welt der Mikrosystemanalyse. Erfassen und visualisieren Sie das Schwingverhalten und die Bauteildynamik kleiner Komponenten und Mikrosysteme vollflächig und mit Laserpräzision von DC bis zu 24 MHz. Micro System Analyzer verwenden Laserlicht, um die unverfälschte Dynamik berührungslos und rückwirkungsfrei zu charakterisieren.
MSA-650 IRIS Micro System Analyzer
Der innovative und patentierte MSA-650 IRIS Micro System Analyzer ist dank spezieller IR-Kamera und kurzkohärenter SLD-Lichtquelle das erste optische Messgerät zur hochpräzisen und flächenhaften Erfassung der Bauteildynamik an MEMS und Mikrostrukturen durch die intakte Siliziumverkapselung hindurch – berührungsfrei und ohne Beeinträchtigung der realen Dynamik von DC bis zu 25 MHz.
MSA IRIS Messdienstleistung
Diese brandneue, patentierte Messtechnik erlaubt die umfassende Charakterisierung verkapselter MEMS durch die Silizium Kappe hindurch. Unsere PolyXperts freuen sich auf Ihre Proben verkapselter Mikrostrukturen und MEMS: für verlässliche experimentelle Modalanalysen, Machbarkeitsstudien und Beratung über alle Projektphasen hinweg von Entwicklung über Prototyping bis Fertigung.
Unsere Experten befragen
Unsere Experten unterstützen Ihre Projekte mit maßgeschneiderten Messlösungen – oder helfen Ihnen dabei, das zu messen, was wirklich zählt. Kontaktieren Sie uns noch heute!