Mesurer en 3D et en temps réel des vibrations sur des microstructures et MEMS
Les vibrations d'objets sont généralement tridimensionnelles. Elles peuvent présenter des directions préférentielles mais les tolérances de fabrication et d'autres influences entraînent des composantes de mouvement dans d'autres directions spatiales. L'analyseur de microstructures 3D MSA-100 permet d'analyser le comportement dynamique de vos objets intégralement, à large bande et en temps réel. Les composantes de vibrations dans les trois directions spatiales sont saisies simultanément et en haute résolution pour ensuite être analysées comme un ensemble de données intégrées. Vous obtenez la résolution d'amplitude de l'ordre du sous-picomètre classique, indépendamment de la direction vibratoires.
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Highlights
//- Mesure vibratoire en temps réel avec large bande passante allant jusqu'à 25 MHz
- Résolution d'amplitude de l'ordre du sous-picomètre pour des mouvements hors plan et dans le plan
- Mesures monopoint sur surface complète
- Un petit point laser < 4 μm permet une haute résolution latérale
- Grandes distances de travail allant jusqu'à 38 mm
- Compatible avec des stations de diagnostic MEMS courantes
Parce que la vie réelle se déplace en 3D
Avec une haute résolution latérale obtenue par un petit spot laser microscopique et la largeur de bande de fréquence allant jusqu'à 25 MHz, le MSA-100-3D de Polytec constitue le système de mesure idéal pour la caractérisation de capteurs et d'activateurs micro électromécaniques (MEMS), d'autres micro structures ou des spécimens biologiques. Le MSA-100-3D analyse des objets sur la surface complète de l’échantillon par balayage, commandé par ordinateur, puis représente graphiquement des modes de vibrations.
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