Mesurer en 3D et en temps réel des vibrations sur des microstructures et MEMS
Les vibrations d'objets sont généralement tridimensionnelles. Elles peuvent présenter des directions préférentielles mais les tolérances de fabrication et d'autres influences entraînent des composantes de mouvement dans d'autres directions spatiales. L'analyseur de microstructures 3D MSA-100 permet d'analyser le comportement dynamique de vos objets intégralement, à large bande et en temps réel. Les composantes de vibrations dans les trois directions spatiales sont saisies simultanément et en haute résolution pour ensuite être analysées comme un ensemble de données intégrées. Vous obtenez la résolution d'amplitude de l'ordre du sous-picomètre classique, indépendamment de la direction vibratoires.
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Highlights
//- Mesure vibratoire en temps réel avec large bande passante allant jusqu'à 25 MHz
- Résolution d'amplitude de l'ordre du sous-picomètre pour des mouvements hors plan et dans le plan
- Mesures monopoint sur surface complète
- Un petit point laser < 4 μm permet une haute résolution latérale
- Grandes distances de travail allant jusqu'à 38 mm
- Compatible avec des stations de diagnostic MEMS courantes
Parce que la vie réelle se déplace en 3D
Avec une haute résolution latérale obtenue par un petit spot laser microscopique et la largeur de bande de fréquence allant jusqu'à 25 MHz, le MSA-100-3D de Polytec constitue le système de mesure idéal pour la caractérisation de capteurs et d'activateurs micro électromécaniques (MEMS), d'autres micro structures ou des spécimens biologiques. Le MSA-100-3D analyse des objets sur la surface complète de l’échantillon par balayage, commandé par ordinateur, puis représente graphiquement des modes de vibrations.
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Accessoires et composants
A-STD-TST-01 : Banc d'essai
Banc d'essai offrant un grand espace de travail. Avec axe z motorisé, course 200 mm.
A-STD-BAS-02 : Banc d'essai
Support rigide pour la tête du capteur. Comprend un bloc de mise au point manuelle avec une plage de déplacement de 100 mm avec un entraînement grossier et fin. Interfaces avec les tables optiques disponibles dans le commerce.
A-STD-F50 : Bloc de mise au point
Plage de déplacement 50 mm. Avec entraînement grossier et fin pour le réglage manuel de l'axe z de la tête du capteur. Interfaces avec les stations de sonde de wafer disponibles dans le commerce.
A-TAB-AIR-01 : Table anti vibration active
Table anti vibration à amortissement pneumatique avec réglage actif du niveau. Compatibilité : banc d'essai A-STD-TST-01, support de base A-STD-BAS-02.
A-TAB-ELC-01 : Table anti vibration active
Stabilisation de la bobine acoustique à commande électronique pour des performances d'isolation maximales. Compatibilité : banc d'essai A-STD-TST-01, support de base A-STD-BAS-02.
A-Station de travail A-WST-001
Poste de travail pour une utilisation avec les tables d'isolation des vibrations actives A-TAB-AIR-01 et A-TAB-ELC-01 de Polytec.
A-BBO-ME02 Breadboard
Breadboard avec motif de trous métrique. Empreinte 900 mm x 600 mm. Compatibilité : support de base A-STD-BAS-02.
A-AVI-MELA : Breadboard d'isolation active des vibrations
Contrôlé électroniquement des performances d'isolation vibratoire les plus élevées. Avec motif de trous métrique. Empreinte 600 x 800 mm. Compatibilité : support de base A-STD-BAS-02.
A-SPK-0008 Wafer Prober Module
Together with the A-PST-200P XY Positioning Stage, the wafer prober module forms a motorized platform for electrical contacting and high-precision measurement of wafers and substrates up to 200 mm in diameter.
A-SPK-0010 Vacuum Prober Module
Vacuum and purge lines. Micro manipulator for handling of four electrical probes.
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Logiciel PSV
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