Mesurer en 3D et en temps réel des vibrations sur des microstructures et MEMS

Les vibrations d'objets sont généralement tridimensionnelles. Elles peuvent présenter des directions préférentielles mais les tolérances de fabrication et d'autres influences entraînent des composantes de mouvement dans d'autres directions spatiales. L'analyseur de microstructures 3D MSA-100 permet d'analyser le comportement dynamique de vos objets intégralement, à large bande et en temps réel. Les composantes de vibrations dans les trois directions spatiales sont saisies simultanément et en haute résolution pour ensuite être analysées comme un ensemble de données intégrées. Vous obtenez la résolution d'amplitude de l'ordre du sous-picomètre classique, indépendamment de la direction vibratoires.

Points forts

  • Mesure vibratoire en temps réel avec large bande passante allant jusqu'à 25 MHz
  • Résolution d'amplitude de l'ordre du sous-picomètre pour des mouvements hors plan et dans le plan
  • Mesures monopoint sur surface complète
  • Un petit point laser < 4 μm permet une haute résolution latérale
  • Grandes distances de travail allant jusqu'à 38 mm
  • Compatible avec des stations de diagnostic MEMS courantes

Parce que la vie réelle se déplace en 3D

Avec une haute résolution latérale obtenue par un petit spot laser microscopique et la largeur de bande de fréquence allant jusqu'à 25 MHz, le MSA-100-3D de Polytec constitue le système de mesure idéal pour la caractérisation de capteurs et d'activateurs micro électromécaniques (MEMS), d'autres micro structures ou des spécimens biologiques. Le MSA-100-3D analyse des objets sur la surface complète de l’échantillon par balayage, commandé par ordinateur, puis représente graphiquement des modes de vibrations.

Accessoires et composants

Trépieds, bancs d'essai, platines de positionnement

A-STD-TST-01 : Banc d'essai

Banc d'essai offrant un grand espace de travail. Avec axe z motorisé, course 200 mm.

A-STD-BAS-02 : Banc d'essai

Support rigide pour la tête du capteur. Comprend un bloc de mise au point manuelle avec une plage de déplacement de 100 mm avec un entraînement grossier et fin. Interfaces avec les tables optiques disponibles dans le commerce.

Focus block for microscopic observations and measurements of MEMS with a MSA Micro System Analyzer from Polytec
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A-STD-F50 : Bloc de mise au point

Plage de déplacement 50 mm. Avec entraînement grossier et fin pour le réglage manuel de l'axe z de la tête du capteur. Interfaces avec les stations de sonde de wafer disponibles dans le commerce.

Table anti vibration, platine

A-TAB-AIR-01 : Table anti vibration active

Table anti vibration à amortissement pneumatique avec réglage actif du niveau. Compatibilité : banc d'essai A-STD-TST-01, support de base A-STD-BAS-02.

A-TAB-ELC-01 : Table anti vibration active

Stabilisation de la bobine acoustique à commande électronique pour des performances d'isolation maximales. Compatibilité : banc d'essai A-STD-TST-01, support de base A-STD-BAS-02.

Breadboard for optical testing of MEMS and microstructures with MSA Micro System Analyzers from Polytec
Breadboard for optical testing of MEMS and microstructures with MSA Micro System Analyzers from Polytec

A-BBO-ME02 Breadboard

Breadboard avec motif de trous métrique. Empreinte 900 mm x 600 mm. Compatibilité : support de base A-STD-BAS-02.

Breadboard for optical MEMS testing with a MSA Micro System Analyzer from Polytec
Breadboard for optical MEMS testing with a MSA Micro System Analyzer from Polytec

A-AVI-MELA : Breadboard d'isolation active des vibrations

Contrôlé électroniquement des performances d'isolation vibratoire les plus élevées. Avec motif de trous métrique. Empreinte 600 x 800 mm. Compatibilité : support de base A-STD-BAS-02.

Autres

Probe station for wafer level testing of MEMS and microstructures with a Polytec MSA Micro System Analyzer
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A-SPK-0008 : Module de sonde de Wafer

Avec l'étage de positionnement XY A-PST-200P, le module sondeur de wafer forme une plate-forme motorisée pour la mise en contact électrique et la mesure de haute précision de plaquettes et de substrats jusqu'à 200 mm de diamètre.

Vaccuum chamber for microstructure analysis with Polytec MSA Micro System Analyzers
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A-SPK-0010 : Module de sonde à vide

Accessoire sous vide et ligne de purge. Micro-manipulateur pour la manipulation de quatre sondes électriques.


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