Mesurer en 3D et en temps réel des vibrations sur des microstructures et MEMS

Les vibrations d'objets sont généralement tridimensionnelles. Elles peuvent présenter des directions préférentielles mais les tolérances de fabrication et d'autres influences entraînent des composantes de mouvement dans d'autres directions spatiales. L'analyseur de microstructures 3D MSA-100 permet d'analyser le comportement dynamique de vos objets intégralement, à large bande et en temps réel. Les composantes de vibrations dans les trois directions spatiales sont saisies simultanément et en haute résolution pour ensuite être analysées comme un ensemble de données intégrées. Vous obtenez la résolution d'amplitude de l'ordre du sous-picomètre classique, indépendamment de la direction vibratoires.

Points forts

  • Mesure vibratoire en temps réel avec large bande passante allant jusqu'à 25 MHz
  • Résolution d'amplitude de l'ordre du sous-picomètre pour des mouvements hors plan et dans le plan
  • Mesures monopoint sur surface complète
  • Un petit point laser < 4 μm permet une haute résolution latérale
  • Grandes distances de travail allant jusqu'à 38 mm
  • Compatible avec des stations de diagnostic MEMS courantes

Parce que la vie réelle se déplace en 3D

Avec une haute résolution latérale obtenue par un petit spot laser microscopique et la largeur de bande de fréquence allant jusqu'à 25 MHz, le MSA-100-3D de Polytec constitue le système de mesure idéal pour la caractérisation de capteurs et d'activateurs micro électromécaniques (MEMS), d'autres micro structures ou des spécimens biologiques. Le MSA-100-3D analyse des objets sur la surface complète de l’échantillon par balayage, commandé par ordinateur, puis représente graphiquement des modes de vibrations.

Accessories and components

Tripods, test stands, positioning stages

A-STD-TST-01 Test Stand

Test stand providing ample workspace. With motorized z-axis, travel range 200 mm.

A-STD-BAS-02 Base Stand

Rigid support for the sensor head. Includes manual focus block with 100 mm travel range with coarse and fine drive. Interfaces to commercially available optical tables.

A-STD-F50 Focus Block

Travel Range 50 mm. With coarse and fine drive for manual z-axis adjustment of the sensor head. Interfaces with commercially available wafer probe stations.

Vibration isolation, breadboards

A-TAB-AIR-01 Active Vibration Isolation Table

Air-damped vibration isolation table with active level adjustment. Compatibility: A-STD-TST-01 Test Stand, A-STD-BAS-02 Base Stand.

A-TAB-ELC-01 Active Vibration Isolation Table

Electronically controlled voice coil stabilization for highest isolation performance. Compatibility: A-STD-TST-01 Test Stand, A-STD-BAS-02 Base Stand.

A-WST-001 Workstation

Workstation for use with Polytec's A-TAB-AIR-01 and A-TAB-ELC-01 Active Vibration Isolation Tables.

A-BBO-ME02 Breadboard

Breadboard with metric hole pattern. Footprint 900 mm x 600 mm. Compatibility: A-STD-BAS-02 Base Stand.

A-AVI-MELA Active Vibration Isolation Breadboard

Electronically controlled for highest vibration isolation performance. With metric hole pattern. Footprint 600 x 800 mm. Compatibility: A-STD-BAS-02 Base Stand.


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