微細構造上の振動を3Dおよびリアルタイムで測定

実際の物体の振動は通常3次元です。3つの空間方向のうち最も支配的な振動方向はありますが、他の方向の微小な振動成分が製品の公差やその他に影響することがあります。 MSA-100-3Dマイクロシステムアナライザを使用すると、広い周波数帯域幅におけるサンプルの動的動作をリアルタイムに分析できます。 3つの空間方向すべての振動成分が、サブピコメートルの高い変位分解能で同時に測定され、統合データとして記録、分析されます。

特長

  • 最大25MHzの高周波数帯域におけるリアルタイム振動測定
  • サブピコメートルの変位分解能を実現する面外および面内振動測定
  • シングルポイント測定とスキャニング測定の両方が可能
  • 高い平面分解能を実現する4μm以下の小さなレーザースポット
  • 38 mmの長い測定距離
  • 一般的なMEMSプローブステーションとの互換性

ポリテックの 顕微鏡型レーザドップラ振動計 MSA-100-3D は、微小なレーザスポットによる高い水平方向の空間分解能と、最大 25 MHz の測定周波数帯域を備えており、微小電気機械式センサ(MEMS)やアクチュエータ 、その他の微小構造物、生体試料の特性評価に最適な測定システムです。MSA-100-3D では、ソフトウェアがサンプルをスキャンし、その振動モードをグラフィカルに表示することで、サンプルの全面的な特性評価を行うことができます。

アクセサリーとコンポーネント

三脚、テストスタンド、ポジショニングステージ

A-STD-TST-01 Test Stand

広々とした作業スペースを確保できるテストスタンド。電動Z軸付き、移動範囲200mm。

A-STD-BAS-02 Base Stand

センサヘッドを強固にサポートします。移動距離100mm、粗動・微動付きのマニュアルフォーカスブロックを装備。市販の光学台と接続可能。

Focus block for microscopic observations and measurements of MEMS with a MSA Micro System Analyzer from Polytec
Focus block for microscopic observations and measurements of MEMS with a MSA Micro System Analyzer from Polytec

A-STD-F50 Focus Block

移動範囲50mm。センサヘッドを手動でZ軸方向に調整するための粗動・微動ドライブ付き。市販のウェハプローバとの接続が可能。

除振台

A-TAB-AIR-01 Active Vibration Isolation Table

アクティブなレベル調整が可能なエアダンピング除振台。A-STD-TST-01テストスタンド、A-STD-BAS-02ベーススタンドを取り付けることができます。

A-TAB-ELC-01 Active Vibration Isolation Table

電子制御によるボイスコイルの安定化により、最高のアイソレーション性能を実現。A-STD-TST-01テストスタンド、A-STD-BAS-02ベーススタンドを取り付けることができます。

Breadboard for optical testing of MEMS and microstructures with MSA Micro System Analyzers from Polytec
Breadboard for optical testing of MEMS and microstructures with MSA Micro System Analyzers from Polytec

A-BBO-ME02 Breadboard

台の大きさは900mm x 600mmで穴が開いています。A-STD-BAS-02ベーススタンドを取り付けることができます。

Breadboard for optical MEMS testing with a MSA Micro System Analyzer from Polytec
Breadboard for optical MEMS testing with a MSA Micro System Analyzer from Polytec

A-AVI-MELA Active Vibration Isolation Breadboard

電子制御で最高の防振性能を発揮します。メートル単位での穴あけが可能です。台の大きさは600×800mm。A-STD-BAS-02ベーススタンドを取り付けることができます。

その他

Probe station for wafer level testing of MEMS and microstructures with a Polytec MSA Micro System Analyzer
Probe station for wafer level testing of MEMS and microstructures with a Polytec MSA Micro System Analyzer

A-SPK-0008 Wafer Prober Module

ウェーハプローバモジュールは、A-PST-200P XYポジショニングステージと合わせて、直径200mmまでのウェーハや基板を電気的に接触させ、高精度に測定するための電動プラットフォームを形成します。

Vaccuum chamber for microstructure analysis with Polytec MSA Micro System Analyzers
Vaccuum chamber for microstructure analysis with Polytec MSA Micro System Analyzers

A-SPK-0010 Vacuum Prober Module

真空・パージライン。4つの電気プローブを扱うためのマイクロマニピュレータ。


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