非接触表面粗さ・形状測定機

ポリテックの表面形状測定機 TopMap は、ワークや微細構造物の表面形状を 3D で測定できる、革新的な高精度非接触センサシステムです。TopMap シリーズは、白色光干渉法 （コヒーレント干渉法、垂直走査干渉法、コヒーレンスレーダーとも呼ばれる） を原理としています。垂直方向の測定範囲が広く、ナノメートルの分解能を持ち、大きなサンプルの面測定や複数のサンプルの測定をワンショットで行うことができるため、これらの光学式プロファイラを測定ラボや製造テストのニーズに最適です。TopMap表面形状測定機は、大型サンプルの平坦度、段差、平行度などの表面パラメータを非接触で高速かつ確実に測定できます。