性能と品質における潜在能力を解き放つ
当社のMetro.Lab白色光干渉計は、ナノメートルレベルの垂直精度(<2.85μm)で平面3D形状を計測するコンパクト光学測定システムです。
テレセントリック光学系により、一定の倍率と安全な作動距離が維持されます。この技術により、Metro.Lab測定システムは、柔らかく繊細な材料上でも、さらには穴内においても、大型表面や構造物の平坦度、段差高さ、平行度の測定に最適です。
レシピ駆動型ソフトウェアにより、再現性のある品質保証ルーチンとレポート作成をサポートします。

高効率品質検査用白色光干渉計
収量と潜在的な欠陥を簡単に特定する
単一視野 37 × 28 mm(約1.24 Mpts)、拡張横方向視野は最大87 × 78 mmまで対応。複数部品の検査や簡易な合否判定に適しています。
垂直方向(Z軸)では、試料の高さは0~70 mmの範囲で対応可能です。

深く、到達困難な表面プロファイリング
テレセントリック光学系と長い作動距離により、Metro.Labは急峻なエッジ付近やドリル穴などの細部への測定を可能にしつつ、部品との安全な間隔を保ちます。
これは、従来の光学系では測定が困難な、穴や窪みを持つ巨視的な部品において特に有用です。

必要な精度と信頼できる再現性
70 mmの垂直測定範囲は大きな段差や形状偏差に対応し、ナノメートル単位の性能は厳しい公差をサポートします:<2.85 nmの垂直分解能(位相評価)。
可動部のない堅牢な設計により、極めて低い測定ノイズと高い再現性を実現。さらに振動吸収システムを統合し、過酷な環境下でも安定動作を保証します。

ISO準拠の測定(レシピと文書化を含む)
TMSは再現性のあるルーチン作業向けにレシピベースの測定を実現します。オペレーターはバーコードスキャンで事前定義されたシーケンスを開始でき、サンプル/レシピIDが自動的に記録されます。
評価はDIN/ISO規格(例:ISO 25178、ISO 4287/4288)に準拠します。結果は明確な合格/不合格で可視化され、レポートはアーカイブ化またはQS-STAT™へエクスポートして統計的工程管理(SPC)に活用可能—これにより、実験室や生産現場における効率性、再現性、トレーサビリティを支援します。

計測業務と可視化
以下に、一般的なエンジニアリング材料における標準的な試験の実際の結果を示します。これらの事例は、実現可能性調査を実施し契約測定サービスを提供する当社のアプリケーションセンターによって収集されたものです。



自信を持って最適な表面プロファイラーをお選びください——当社の性能を実演でご覧ください。

ベンチWLI(広視野角(FoW)とテレセントリックレンズ付き)
Metro.Labプラットフォームは、大面積光学系、長いZ方向測定範囲、ISO準拠ソフトウェアを統合し、精密で再現性の高い測定を実現します。窪んだ構造や繊細な特徴部においても測定が可能です。
- 広視野(37×28mm、スティッチング時87×78mm)により、バッチ処理や大型サンプルの分析が可能
- テレセントリックWLI/CSI(マイケルソン)は影の影響を排除し、内径/側面測定を可能にします
- 70 mm Z軸範囲の垂直測定域とナノメートルレベルの分解能
- レシピとバーコードスキャナー接続によるオペレーター支援

テレセントリック光学系
影の影響を受けずに、低い位置にある測定位置も捉えます。
スマートスキャン技術
SSTは反射面またはつや消し面の測定をサポートします
分離計測
過酷な環境下での堅牢な測定のための統合振動減衰機構。
広視野角(FoV)
ワンショット測定領域:37×28 mm。ステッチングによる最大領域:87×78 mm。
検体配置
最大87×78mmの大型部品の複数測定と接合を自動化
柔軟な垂直範囲
試料の高さが0~70mmの場合
Metro.Labの能力を数値で示す
| 垂直範囲 | 70mm |
| 段差高さ再現性(5µ – 5000µ) | 8%~0.005% |
| 垂直解像度 | 2.83 nm |
| 視野 (FoV) | 37 x 28 mm |
| ステッチング時の視野 | 87 x 78 mm |
| XYピクセル | 1284 x 966 |
| デジタルXYサンプリング | 29.3 µm |
| 再現性 | 20 nm |
| 平坦度 | <0.375 µm |
もっと必要ですか? Pro.Surfがあなたの選択肢です。
Metro.LabとPro.Surfはいずれも、70 mmのZ範囲を持つ巨視的テレセントリックWLI/CSIプロファイラーです。以下の場合にはPro.Surfシリーズがより適した選択肢となる可能性があります:
- 測定対象部品やバッチサイズが大きい場合
- より高い解像度と再現性が要求される場合
- 形状および粗さパラメータの測定が必要な場合
- より高いスループットと生産工程への緊密な統合が必要な場合
このような場合には、Pro.Surfがより適した選択肢となる可能性があります。

関連情報とダウンロード

平坦度、厚さ、平行度
Flatness, thickness and parallelism (FTP) measurement combines top & bottom topography measurement in a single shot.

表面粗さ測定
Surface texture analysis in 3D. From Sa/Sq to Str/Sal for validating specifications and surface features.

「購入前に試す」キャンペーン
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