微纳米技术
用于表征和监测器件质量的精确、可靠且快速的测量技术，对微系统的开发和生产至关重要。鉴于微传感器也越来越多地承担起与安全相关的任务——这对可靠性和功能安全提出了极高要求——这一点显得尤为重要。在此方面，坚固的设计和高生产精度起着关键作用。
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